Systemkomponenten - PerkinElmer NexION 300 Hardwarehandbuch

Hardwarehandbuch

Systemkomponenten

Abb. 1-2. Ansicht der Systemkomponenten des NexION™
Nr.
1
2
3
4
5
6
7
14
15
14
Bezeichnung
Turbomolkularpumpen-
einheit
Argongassteuerung
Vakuumkammer
Abzug
Entlüftungslasche
DRC™-Netzteil
Fackelbox
5
3
4
2
12
10
13
11
Beschreibung
Erzeugt ein Vakuum innerhalb der Vakuumkammer
und zwischen den Konen des Interface. Enthält eine
Antikorrosionsspüleinheit, welche den Schmierstoff
des Lagers der Turbomolekularpumpe vor der
Zersetzung durch gasförmiges Ammoniak
bewahrt.
Regelt die Strömungen von Plasmagas, Hilfsgas und
Zerstäubergas.
Enthält das Untersystem der Ionenoptik und die
Turbomolekularpumpe. Die Vakuumkammer ist
aus Aluminium gefertigt und hat zwei Zugangs-
deckel die von unverlierbaren Schrauben
festgehalten werden.
Abzugsleitung für HF-Generator und Fackelbox.
(Nur UCT™-Geräte). Stellantrieb zum schnellen
Gaseinlass und Entlüften der DRC-Einheit. Sorgt für
kurze Umschaltdauer des Betriebsmodus bei
UCT-Geräten.
(Nur UCT™-Geräte).
Strom.
Als Teil des Probeneinführungssystems enthält die
Fackelbox die Fackel mit ihrer Halterung.
6
Versorgt die DRC-Einheit mit
1
7
8
9