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Hardwarehandbuch
Wartungsverfahren der ICP-Fackel
Der Abschnitt liefert die notwendigen Informationen zur Wartung von ICP-Fackel,
Zündvorrichtung und HF-Induktionsspule.
Ausbauen und Ersetzen von ICP-Fackel, Injektor und O-Ringen
Entfernen und ersetzen Sie die ICP-fackel und andere Komponenten, wenn diese
beschädigt sind oder gereinigt werden müssen. Zuerst wird die Fackelhalterung aus
dem Fackelraum entnommen, danach wird die Fackel von der Halterung entfernt.
Hinweis: Informieren Sie sich bei Ihrem Servicebetreuer über die Zuordnung und die
Bestellung von Ersatz- und Verbrauchsteilen.
WARNUNG! Verbrennungsgefahr: Die Oberfläche der Quarzfackel kann sehr heiß sein und
starke Verbrennungen verursachen. Warten Sie mindestens zwei Minuten nach dem Aus-
schalten ab, bevor Sie die Fackel anfassen.
Erforderliche Hilfsmittel:
Entnehmen der Fackelhalterung aus dem Fackelraum
82
•
Puderfreie Schutzhandschuhe
•
Entionisiertes Wasser
•
Maulschlüssel von 9/16" oder verstellbarer Schraubenschlüssel
•
Justagewerkzeug (im Lieferumfang)
VORSICHT! Kontaminationsrisiko bei direkter Berührung: Tragen Sie immer puder-
freie Handschuhe bei der Handhabung von Komponenten der Fackelhalterung.
1. Schalten Sie das Plasma aus. S.
Seite
33.
Überführen des Geräts in den Ruhezustand,
Quicklinks ausblenden:
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Fehlerbehebung
