Hardwarehandbuch
Statusanzeigen und Fehlermeldungen
Bei der NexION
des aktuellen Gerätestatus. Die dargestellten Messgeräte erlauben es, den Vakuumdruck
zu verfolgen, die eingestellte ICP-Leistung, sowie die Rückmeldungen der Zerstäubergas-
Strömungsrate, der Detektorspannungen beider Stufen und der Deflektorspannung.
Anzeigen von Meldungen und Diagnosen
160
-Software dient der Reiter Main des Fensters Instrument zur Anzeige
™
1. Öffnen Sie den Reiter Main des Softwarefensters Instrument. Sie sehen hier
eine Reihe von Statusanzeigen des Systems:
Abb. 9-1. Reiter Main des Softwarefensters Instrument
2. Prüfen Sie die Statusanzeigebalken Vacuum, Plasma und Cone Access, um
festzustellen, ob eine davon rot ist und einen Fehlerzustand signalisiert.
Neben diesen Statusanzeigebalken sehen Sie eine Reihe von Anzeigefeldern,
die Meldungen zum Status einzelner Komponenten enthalten. Die unterlegten
Farben signalisieren auf einen Blick den Zustand der betreffenden Hauptkom-
ponente. Grün bedeutet betriebsbereit, rot einen Fehlerzustand, grau einen
Ausfall der Kommunikation mit dem Hauptgerät oder einen Stromausfall.
Plasma Start/Stop: Schaltfläche zum Starten und Stoppen des Plasma-
systems. Ein Starten ist nur möglich, wenn der Statusanzeigebalken auf
grünem Hintergrund Ready anzeigt. Während der Plasmazündung ist
der Statusbalken blau.