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Wartungsvorbereitungen
Dieser Abschnitt beschreibt den Zugang, das Herunterfahren und das Einschalten
der Geräte zum Vorbereiten von Wartungsverfahren.
Die Themen dieses Kapitels beziehen sich auf:
Überführung des Geräts in einen Ruhezustand
Im Ruhezustand ist das Plasma ausgeschaltet und das Absperrventil des Interface ver-
schlossen, die Vakuumkammer jedoch evakuiert. In diesem Zustand können die Inter-
facekonen ausgetauscht werden. Wird das Gerät über Nacht oder einige Tage nicht
benutzt, setzen Sie es immer in den Ruhezustand, um die Lebensdauer der Turbomo-
lekularpumpe zu verlängern.
Überführen des Geräts in den Ruhezustand:
33
Hinweis: Informieren Sie sich bei Ihrem regionalen Servicebetreuer über die
Zuordnung und Bestellung von Ersatz- und Verbrauchsteilen.
•
Überführen des Geräts in einen Ruhezustand, Seite 33
•
Starten des Geräts aus einem Ruhezustand, Seite 34
•
Herunterfahren und Hochfahren des Geräts, Seite 35
•
Zugang zu den Konen, Seite 41
1. Spülen Sie bei gezündetem Plasma die Schläuche der peristaltischen Pumpe mit
entionisiertem Wasser; dabei sind folgende Schritte einzuhalten:
Öffnen Sie in der Software den Reiter Peristaltic des Fensters Device Control.
2
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Fehlerbehebung
