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3. Öffnen Sie den Reiter Main des Fensters Instrument.
4. Klicken Sie auf die Taste Vacuum Stop. Die Turbomolekularpumpe stoppt und
füllt sich mit Argon. Die Drehschieberpumpe wird ebenfalls ausgeschaltet.
5. Warten Sie 15 Minuten ab.
6. Schalten Sie am Gerät dessen Netzschalter (CB1) und den Netzschalter des
HF-Generators (CB2) aus.