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Hardwarehandbuch
94
4. Setzen Sie das Werkzeug zur Fackelausrichtung so auf das Ende der Quarz-
fackel, dass der Flansch die erste Windung der HF-Induktionsspule berührt.
Abb. 3-40. Werkzeug zur Fackelausrichtung an der Induktionsspule
Nr.
1
HF-Induktionsspule
2
Werkzeug zur Fackelausrichtung
5. Lässt sich das Justagewerkzeug leicht drehen und ist sein Rand bündig mit
dem Ende der Quarzfackel, ist diese korrekt ausgerichtet. Entfernen Sie das
Werkzeug und setzen Sie die Fackelhalterung zurück in den
S.
Zurücksetzen der Fackelhalterung in den Fackelraum, Seite
6. Falls eine Ausrichtung erforderlich ist, nehmen Sie die Halterung aus dem Gerät.
7. Lockern Sie die interne Z-Justagemutter und drehen Sie die externe Z-Justage-
mutter im Uhrzeigersinn fest. Dies schiebt die Fackel etwas vor, in Richtung
Interface.
1
2
Beschreibung
Fackelraum.
99.
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