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Hardwarehandbuch
90
8. Ziehen Sie die interne Z-Justagemutter fest. Achten Sie darauf, dass die Gas-
eintrittsstutzen der ICP-Fackel nach oben zeigen.
2
1
Abb. 3-35. Ausrichtung der Gaseintrittsstutzen
Nr.
Beschreibung
1
ICP-Fackel
2
Plasma- und Hilfsgasanschlüsse
3
Interne Z-Justagemutter
9. Ziehen Sie vorsichtig an der ICP-Fackel, um sich zu überzeugen, dass sie fest
an ihrer Stelle sitzt. Lässt sie sich bewegen, lockern Sie die interne Z-Justage-
mutter und prüfen Sie, ob der blaue O-Ring richtig sitzt
VORSICHT! Die ICP-Fackel ist spröde und kann zerbrechen. Vermeiden Sie es, gegen
die HF-Induktionsspule zu stoßen.
4
3
Nr.
Beschreibung
4
Fackelhalterung
5
Externe Z-Justagemutter
5
.
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Fehlerbehebung
