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Hardwarehandbuch
Spülen der Gasleitung
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WARNUNG! Gefahr durch toxische Gase; betätigen Sie niemals die Spül/Entlüftungs-
Schalter der UCT-Gaseinheit, ohne vorher zu überprüfen, ob der Abzug des Fackel-
raums angeschlossen und dessen Strömungsrate ausreichend ist (70 l/s ±10 %). Prü-
fen Sie außerdem nach, ob die örtlichen Vorschriften zum Umweltschutz es erlauben,
die betreffenden Gase und Volumina innerhalb von 30 Sekunden in die Atmosphäre
abzugeben.
Hinweis: Die Dauer von 30 Sekunden reichen Durchspülen von 1 m Gasanschluss-
leitung. Bei längeren Leitungen ist eine entsprechend längere Spüldauer erforderlich.
1. Entscheiden Sie, welche Gasanschlussleitung Sie spülen möchten, A oder B.
2. Stellen Sie sicher, dass der Abzug des Fackelraums angeschlossen ist und der
Ventilator läuft.
3. Stellen Sie sicher, dass das Plasma eingeschaltet ist und das Gerät auf Stan-
dardmodus eingestellt ist. Der Steuer-PC muss eingeschaltet und die NexION-
Software hochgefahren sein.
4. Öffnen Sie die Deckelklappe des HF-Generatorraums.
5. Orten Sie die Spül/Entlüftungs-Ventile an der rechten Geräteseite.
6. Klicken Sie auf dem Reiter Diagnostics des Softwarefensters Instrument in
der Liste Filter auf Gas Flow Control.
7. Klicken Sie auf Cell Gas A oder Gas B Flow und geben Sie im Feld Value 0 ein..
8. Drücken Sie die Eingabetaste und warten Sie, bis der Druck auf Null fällt.
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