Hardwarehandbuch
Zubehörsystem
Das Zubehör-System umfasst Komponenten und deren Parameter, die über eine Schnitt-
stelle mit dem Grundgerät verbunden, jedoch nicht Bauteil des ICP-MS-Kernsystems sind.
Zubehör-Untersysteme
Plasmasystem
Gas Plasmasystem umfasst die Steuerungen und Rückmeldungen der Parameter mit Bezug
die Erzeugung und den Betrieb der Plasmafackel.
Plasma-Untersysteme
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Netzteile-Untersystem: Überwacht die Netzteile für Gleich- und Niedrigspan-
nung.
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Vakuum-Untersystem: Steuert und überwacht alle Parameter mit Bezug auf
das Vakuum, wie die Drehschieberpumpe, Turbopumpe, Spülparameter, usw.
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XYZ-Untersystem: Steuert und überwacht alle Parameter mit Bezug auf den
XYZ-Mechanismus, wie Fackelausrichtung und Schrittmotorbewegung.
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Kühlungs-Untersystem: Steuert und überwacht die Strömung des Glykolkühlmit-
tels und die Luftkühlung des Systems.
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Interlocks-Untersystem: Überwacht die System-Interlocks, die das Gerät vor
unzweckmäßigen und potenziell schädlichen Anwendungen schützt.
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Plasmasteuerungs-Untersystem: Verwaltet die Erzeugung und den Unterhalt des
Plasmas.
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Gas-Untersystem: Steuert und überwacht alle Gasströmungen des Plasmas, ein-
schließlich Hilfsgas, Zerstäubergas, Makeup-Gas und Sauerstoff.
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Interface-Untersystem: Steuert und überwacht den Status des Interface-Absperr-
ventils.
Plasmainterlocks-Untersystem: Steuert und überwacht alle Interlocks des Plasma-
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systems.
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Peristaltik-Untersystem: Steuert und überwacht die peristaltische Pumpe.
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HF-Generator-Untersystem: Steuert und überwacht die Spannungen und Umge-
bungsbedingungen des HF-Generators.