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Prüfen Sie nach dem Reinigen oder Austausch der Quarzfackel ihre Ausrichtung in der
HF-Induktionsspule.
91
10. Schieben Sie an der Quarzfackel den Gasadapter A (Hilfsgas) auf den unteren
Eintrittsstutzen. Ziehen Sie die Überwurfmutter fingerfest gegen den Uhrzeiger-
sinn an (von oben gesehen). Wiederholen Sie das Gleiche bei dem mit P mar-
kierten Gasadapter. Ziehen Sie auch die externe Z-Justagemutter an.
3
1
Abb. 3-36 Eintrittsstutzen für Hilfsgas (A) und Plasma (P) an der Quarzfackel
Nr.
Beschreibung
1
Überwurfmutter am Plasmagas-
adapter
2
Gaseintrittsstutzen
3
Plasmagasadapter
2
Nr.
4
5
5
4
Beschreibung
Überwurfmutter am Hilfsgas-
adapter
Hilfsgasadapter
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