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Türen, Deckel und Paneele
Die NexION-Geräte sind mit mehreren beweglichen Türen, Deckeln und Paneelen
verschlossen, die einen einfachen Zugriff für Wartungen und Service erlauben.
Abb. 1-6. NexION-Gerät mit Abdeckungen
Nr.
25
WARNUNG! Gefahr von Stromschlag durch lebensgefährliche Spannungen. Ver-
suchen Sie nicht Türen, Deckel oder Paneele anders als nach expliziten Anleitungen
des vorliegenden Handbuchs zu öffnen.
8
Bezeichnung
1
Hauptdeckelklappe
2
Deckelklappe des
HF-Generatorraums
3
Abzugsstutzen des
HF-Generators
4
Abzugsstutzen des
Fackelraums
5
Rechtsseitiges Paneel
6
Unterplatte
7
Fackelraum-Zugangs-
tür
8
Frontpaneel
3
2
1
7
Beschreibung
Verschließt Platinenrahmen und Massenflussregler.
Deckt den HF-Generator und die Vakuumkammer
ab.
Externer Austrittsstutzen für Dämpfe und Wärme
vom HF-Generator.
Externer Austrittsstutzen für Dämpfe und Wärme
von der ICP-Fackel.
Verschließt die Turbomolekularpumeneinheit.
Trägt die Gerätegrundplatte und die XYZ-Plattform.
Schwingt bei Entriegelung nach außen und legt den
Zugang zu Interface, Fackel und Konen frei.
Enthält Steuerpaneel und Kontrollanzeigen-LEDs.
4
6
5
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Fehlerbehebung
