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INFICON VGC501 Gebrauchsanleitung Seite 40

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Degas
Parameter
ändern und
speichern
40
Ablagerungen a
A
auf dem Elekt
st
tabilitäten des
s Messwertes
Deg
as ist nur bei
BPG
G402-Messröh
Filam
ment wirksam
Verfügbar für fo
V
olgende Mess
 Pirani
 Pirani / Kap
pazitiv
 Kaltkathode
e
 Kaltkathode
e / Pirani
 Heißioni / P
Pirani
 Heißioni / P
Pirani
 Kapazitiv
 Heißioni / P
Pirani / Kapazi
I
DEGAS
D
DEGAS
S AUS
DEGAS
S EIN
 D
 Ä
trodensystem
von Heißioni-
zur Folge hab
ben. Degas erm
Drücken unte
rhalb 7.2×10
hre: Die Degas
s-Funktion ist
.
sröhren:
(PSG)
(PCG)
(PEG, MA
G)
(MPG)
(BPG)
(HPG)
(CDG)
tiv
(BCG)
Wert
I
 Nor
rmalbetrieb (D
I
 Deg
gas: Erhitzung
auff
fängergitters d
sch
uss auf ≈700
gun
ng des Elektro
Dau
uer = 180 s.
egas einscha
lten. Degasda
vo
orzeitig aussc
haltbar).
D
egas vorzeitig
g ausschalten.
nderung speic
chern und zurü
-Messröhren k
können In-
möglicht eine
Reinigung.
-6
6
mbar durchfü
ührbar.
nur auf dem je
eweils aktiven
Degas gesperr
rt)
g des Elektron
nen-
durch Elektron
nenbe-
°C und damit
Reini-
odensystems.
auer 180 Seku
unden (auch
.
ück in den Les
se-Modus.
tina96d1
(2015-05)
VGC501_VGC502_VGC503.g
n
ga

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