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Überwachen von hohem Vakuumdruck in CI-Modus
Wenn Sie Wasserstoff als Trägergas verwenden, schalten Sie die
WARNUNG
Mikro-Ionen-Vakuummessvorrichtung nicht aus, wenn sich in der Kammer
möglicherweise Wasserstoff angesammelt hat. Lesen Sie den Abschnitt
„Wasserstoff-Sicherheit"
Trägergas einsetzen.
Vorgehensweise
1
2
3
Die Messvorrichtung lässt sich nicht einschalten, wenn der Druck im MSD
mehr als ca. 8 x 10
kalibriert, jedoch gelten die in diesem Handbuch aufgelisteten Drücke für
Helium.
Den größten Einfluss auf den Betriebsdruck hat der Trägergasfluss
(Säulenfluss).
Helium-Trägergasflüsse auf. Diese Drücke sind ungefähre Werte und variieren
von Gerät zu Gerät.
Typische Druckanzeigen
Verwenden Sie die Mikro-Ionen-Vakuummessvorrichtung G3397B.
Beachten Sie, dass der Massenfluss-Controller für Methan und die
Vakuummessvorrichtung für Stickstoff kalibriert ist, sodass diese Messungen
nicht exakt sind, jedoch als Orientierung für typische festgestellte Messwerte
dienen
Bedingungen erfasst. Beachten Sie, dass es sich um typische
PCI-Temperaturen handelt:
Benutzerhandbuch für den MSD der Serie 5977B
Starten Sie den MSD, und pumpen Sie den MSD ab. Siehe
MSD in CI-Modus"
auf Seite 116.
Wählen Sie in der Ansicht Tune- und Vakuum-Steuerung im Menü Vakuum die
Option Vakuummessgerät ein-/ausschalten aus.
In der Ansicht Instrument Control können Sie eine MS-Überwachung für
Messwerte einrichten. Das Vakuum kann auch am lokalen Bedienfeld oder
im Bildschirm Manual Tune abgelesen werden.
-3
Torr beträgt. Die Messvorrichtung ist für Stickstoff
Table 14
(Tabelle 14
auf Seite 136). Diese wurden unter den folgenden
Betrieb im chemischen Ionisationsmodus (CI)
auf Seite 22, bevor Sie den MSD mit Wasserstoff als
on page 136 listet typische Drücke für verschiedene
4
„Abpumpen des
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Kapitel
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