5
Allgemeine Wartung
Tabelle 19
Teileliste der Ionenquelle mit Extraktor
Teilenummer
Teilebeschreibung
7
Federring
7
Unterlegscheibe
8
Linsenisolator
9
Eingangslinse
10
Ionenfokussierlinse
11
Repeller-Isolator
12
Repeller
13
Unterlegscheibe
14
Tellerfeder
15
Repeller-Mutter
16
Heizblockeinheit der Quelle
17
Isolator
158
(Abbildung
23) (Fortsetzung)
Bestellnummer
3050-1301
3050-0982
G3870-20530
G3170-20126
05971-20143
G3870-20133
G3870-60171
3050-0891
3050-1301
0535-0071
G3870-60177
G1099-20133
Benutzerhandbuch für den MSD der Serie 5977B