3
Temperatur-Soll- oder Grenzwerte können nicht geändert werden, bis der
Vorvakuumdruck weniger als 300 mTorr beträgt, oder die Turbopumpe mit
mindestens 80 % Geschwindigkeit läuft. Die MSD-Heizungen bleiben solange
ausgeschaltet, wie die Diffusionspumpe kalt ist oder sich die Turbopumpe mit
weniger als 80 % ihrer normalen Geschwindigkeit dreht. Normalerweise liegt
der Vordruck unter 100 mTorr, oder die Geschwindigkeit der Turbopumpe
liegt bei 100 %.
Die MSD-Heizungen schalten am Ende des Abpumpzyklus ein und zu Beginn
des Entlüftungszyklus aus. Die angegebenen Sollwerte ändern sich nicht
durch das Entlüften oder Abpumpen, selbst wenn beide MSD-Zonen
ausgeschaltet sind.
Benutzerhandbuch für den MSD der Serie 5977B
Um einen Temperatur-Sollwert oder Grenzwert zu ändern, erfassen Sie die
neuen Parameter und klicken Sie auf Übernehmen.
Betrieb im Elektronenstoß-Ionisationsmodus (EI)
3
73