Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Überwachen Des Hochvakuumdrucks - Agilent Technologies MSD 5975 Benutzerhandbuch

Inhaltsverzeichnis

Werbung

4
Betrieb im chemischen Ionisations- (CI) Modus
Überwachen des Hochvakuumdrucks
Wenn Sie Wasserstoff als Trägergas verwenden, schalten Sie die
WARNUNG
Mikro-Ionen-Vakuummessvorrichtung nicht aus, wenn sich in der Kammer
möglicherweise Wasserstoff angesammelt hat. Lesen Sie den Abschnitt
"Wasserstoff-Sicherheit" auf Seite 20, bevor Sie den MSD in Verbindung mit
Wasserstoff als Trägergas einsetzen.
Vorgehensweise
1 Starten Sie den MSD, und pumpen Sie den MSD ab. Siehe Seite 103.
2 In der Ansicht "Tune and Vacuum Control" wählen Sie Turn Vacuum Gauge
3 In der Ansicht "Instrument Control" können Sie eine MS- Überwachung für
Die Messeinrichtung schaltet nicht ein, wenn der Druck im MSD oberhalb von
ca. 8 × 10
gelten die in diesem Handbuch aufgelisteten Drücke für Helium.
Den größten Einfluss auf den Betriebsdruck hat der Trägergasfluss
(Säulenfluss). Tabelle 20 listet die typischen Drücke für verschiedene
Gasflüsse mit Helium als Trägergas auf. Diese Drücke sind ungefähre Werte
und variieren von Gerät zu Gerät.
124
on/off im Menü "Vacuum" aus.
Messwerte einrichten. Das Vakuum kann auch am lokalen Bedienfeld oder
im Bildschirm "Manual Tune" abgelesen werden.
- 3
Torr liegt. Die Messeinrichtung ist für Stickstoff kalibriert, jedoch
5975 MSD Benutzerhandbuch

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis