Agilent Technologies MSD 5975 Benutzerhandbuch Seite 125

Typische Druckmesswerte
Verwenden Sie die Mikro- Ionen- Vakuummessvorrichtung G3397A. Beachten
Sie, dass die Massenflusssteuerung für Methan und die
Vakuummessvorrichtung für Stickstoff kalibriert ist, so dass diese Messungen
nicht exakt sind, jedoch als Orientierung für typisch festgestellte Messwerte
dienen (Tabelle 20). Sie werden unter den folgenden Bedingungen erfasst.
Beachten Sie, dass es sich um typische PCI- Temperaturen handelt:
Quellentemperatur
Quadtemperatur
Verbindungstemperatur
Helium-Trägergasfluss
Tabelle 20 Fluss- und Druckmesswerte
MFC
(%)
10
15
20
25
30
35
40
Machen Sie sich selbst mit den Messungen speziell an Ihrem System unter
Betriebsbedingungen vertraut, und achten Sie auf Veränderungen, die auf ein
Vakuum- oder Gasflussproblem hinweisen könnten. Messungen können von
einem MSD zum anderen oder von einer Messvorrichtung zu einer anderen um
bis zu 30% abweichen.
5975 MSD Benutzerhandbuch
Druck (Torr)
Methan
EI/PCI/NCI-MSD
(Leistungs-Turbopumpe)
5.5 × 10
–5
8.0 × 10
–5
1.0 × 10
–4
1.2 × 10
–4
1.5 × 10
–4
2.0 × 10
–4
2.5 × 10
–4
Betrieb im chemischen Ionisations- (CI) Modus
250 °C
150 °C
280 °C
1 mL/Min
Ammoniak
EI/PCI/NCI-MSD
(Leistungs-Turbopumpe)
×
–5
5.0 10
×
–5
7.0 10
×
–5
8.5 10
×
–4
1.0 10
×
–4
1.2 10
×
–4
1.5 10
×
–4
2.0 10
4
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