Agilent Technologies MSD 5975 Benutzerhandbuch Seite 71

Tabelle 13 Messwerte der Mikro-Ionen-Vakuummessvorrichtung
Säulenflussrate, Messwert an der
mL/Min Messvorrichtung,
Torr
Leistungs-
Turbopumpe
0.5 3.18E–06
0.7 4.42E–06
1 6.26E–06
1.2 7.33E–06
2 1.24E–05
3 1.86E–05
4 2.48E–05
6 3.75E–05
Wenn der Druck konstant über den aufgelisteten Werten liegt, lesen Sie die
Online- Hilfe in der MSD ChemStation- Software für Informationen zur
Fehlerbehebung bei Luftlecks und anderen Vakuumproblemen.
5975 MSD Benutzerhandbuch
Betrieb im Elektronenstoß- (EI) Modus
Messwert an der Messwert an der
Messvorrichtung, Messvorrichtung, Torr
Torr Diffusions-Pumpe
Standard-
Turbopumpe
1.3E–05 2.18E–05
1.83E–05 2.59E–05
2.61E–05 3.66E–05
3.11E–05 4.46E–05
5.25E–05 7.33E–05
8.01E–05 1.13E–04
3
Messwert an der
Vorpumpe, Torr
Diffusions-Pumpe
34.7
39.4
52.86
60.866
91.784
125.76
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