PI M-122.2DD1 Benutzerhandbuch Seite 38

MP61DE ‒ 28.01.2025
Spezifikationen
Vor Auslieferung werden die Leistungsspezifikationen geprüft. Die Leistungsspezifikationen
gelten bei Raumtemperatur (22 ±3 °C), Systeme im geregelten Betrieb werden bei dieser
Temperatur kalibriert. Beim Betrieb bei deutlich niedrigerer oder höherer Temperatur ist
eventuell eine Neueinstellung der Betriebsparameter erforderlich.
Umkehrspiel
Positionierfehler, der bei einer Richtungsänderung auftritt. Er wird durch mechanisches Spiel
im Antriebsstrang, z. B. in Lagern oder Getrieben, und durch Reibung der Führungen
verursacht. Im Gegensatz zur Hysterese kann Umkehrspiel in positionsgeregelten Systemen
zur Instabilität führen, da es für eine Totzeit im Regelkreis sorgt. Das Umkehrspiel hängt ab
von Temperatur, Beschleunigung, Belastung, Spindelposition, Stellrichtung, Abnutzung usw.
Umkehrspiel wird unterdrückt durch Vorspannung des Antriebsstrangs. Ein
Positionsmessverfahren, das die Position der Plattform direkt misst, eliminiert sämtliche
Fehler aus dem Antriebsstrang (Direktmetrologie).
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