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MP125D
N­470 Linearaktor
Benutzerhandbuch
Version: 1.2.0
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 27.02.2019
Dieses Dokument beschreibt die folgenden
Produkte:
N­470.x10/.x10Y, N­470.x1V/.x1VY,
N­470.x1U/.x1UY
PiezoMike Linearaktor, M10×1 Gewinde
N­470.x20/.x20Y, N­470.x2V/.x2VY,
N­470.x2U/.x2UY
PiezoMike Linearaktor, 9,5 mm (0,375")
Klemmschaft
Modelle:
x steht für den Stellweg:
1 = 7,5 mm
2 = 13 mm
4 = 26 mm
Y: gedrehter Kabelabgang
0: nicht geeignet für den Einsatz im Vakuum
V: vakuumkompatibel bis 10
U: vakuumkompatibel bis 10
-6
hPa
-9
hPa

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für PI N-470 MP125D

  • Seite 1 0: nicht geeignet für den Einsatz im Vakuum V: vakuumkompatibel bis 10 U: vakuumkompatibel bis 10 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
  • Seite 2 Die von PI gehaltenen Patente finden Sie in unserer Patentliste: http://www.physikinstrumente.de/de/ueber-pi/patente © 2019 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 2 Handbücher herunterladen ..................2 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 2.2.1 Organisatorische Maßnahmen ..............6 2.2.2 Maßnahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten ..
  • Seite 4 Wartung Störungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10.1 Spezifikationen ......................35 10.1.1 Datentabelle ....................35 10.1.2 Bemessungsdaten ..................37 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ......... 38 10.2 Schrittweite und axiale Kraft ..................39 10.3 Lebensdauer ......................40 10.4 Betriebs- und Einschaltdauer ................... 40 10.5 Abmessungen ......................
  • Seite 5: Über Dieses Dokument

    1 Über dieses Dokument Über dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ................1 Symbole und Kennzeichnungen ..................... 1 Abbildungen ........................... 2 Mitgeltende Dokumente ....................... 2 Handbücher herunterladen ......................2 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des N-470.
  • Seite 6: Abbildungen

    Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tatsächlichen Gegebenheiten abweichen. Auch fotografische Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Produkt Dokument E-872.401 Q-Motion® Piezomotor / PiezoMike...
  • Seite 7  Wechseln Sie über die Links im Browser-Fenster direkt zu den Inhalten für Ihr Produkt, und melden Sie sich dort mit den erhaltenen Zugangsdaten an. Generelles Vorgehen: 1. Öffnen Sie die Website www.pi.de. 2. Wenn der Zugang zu den Handbüchern durch ein Kennwort geschützt ist: a) Klicken Sie auf Login.
  • Seite 9: Sicherheit

    2 Sicherheit Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgemäße Verwendung ....................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ....................5 Bestimmungsgemäße Verwendung Der N-470 ist ein Laborgerät im Sinne der DIN EN 61010-1. Er ist für die Verwendung in Innenräumen und in einer Umgebung vorgesehen, die frei von Schmutz, Öl und Schmiermitteln ist.
  • Seite 10: Organisatorische Maßnahmen

    Maßnahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten Beim Umgang mit der Vakuumversion des Linearaktors muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Linearaktor noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in...
  • Seite 11: Produktbeschreibung

    3 Produktbeschreibung Produktbeschreibung In diesem Kapitel Modellübersicht ..........................7 Produktansicht ..........................10 Produktbeschriftung ........................12 Lieferumfang ..........................13 Geeignete Elektronik ........................14 Optionales Zubehör ........................14 Modellübersicht Die Modelle unterscheiden sich bezüglich folgender Merkmale: Stellweg  Art des Einbaus  Eignung für den Einsatz im Vakuum ...
  • Seite 12 3 Produktbeschreibung PiezoMike Linearaktoren mit M10×1 Gewinde Modell Beschreibung N-470.110 PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, M10×1 Gewinde N-470.110Y PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, M10×1 Gewinde, gedrehter Kabelabgang N-470.210 PiezoMike Linearaktor, 13 mm, M10×1 Gewinde N-470.210Y PiezoMike Linearaktor, 13 mm, M10×1 Gewinde, gedrehter Kabelabgang N-470.410 PiezoMike Linearaktor, 26 mm, M10×1 Gewinde N-470.410Y...
  • Seite 13 3 Produktbeschreibung PiezoMike Linearaktoren mit Klemmschaft Modell Beschreibung N-470.120 PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft N-470.120Y PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft, gedrehter Kabelabgang N-470.220 PiezoMike Linearaktor, 13 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft N-470.220Y PiezoMike Linearaktor, 13 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft, gedrehter Kabelabgang N-470.420 PiezoMike Linearaktor, 26 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft...
  • Seite 14: Produktansicht

    3 Produktbeschreibung Produktansicht N­470 Modelle mit Gewinde M10×1 Die Beschreibung der Produktbestandteile gilt auch für Modelle mit gedrehtem Kabelabgang. Abbildung 1: Modelle mit Gewinde und Standardkabelabgang (links: N-470.x10; rechts: N-470.x1V) Schraubenkopf Feingewindeschraube (drehend) Grundkörper Befestigungsmutter M10×1 Befestigungsgewinde M10×1 Kugelkopfstück zur Ankoppelung an den bewegten Teil der mechanischen Aufnahme Ausdrehsicherung (Halbmondring) für Feingewindeschraube Produktbeschriftung Kabel für Anschluss an Elektronik...
  • Seite 15 3 Produktbeschreibung N­470 Modelle mit Klemmschaft Die Beschreibung der Produktbestandteile gilt auch für Modelle mit gedrehtem Kabelabgang. Abbildung 2: Modelle mit Klemmschaft und Standardkabelabgang (links: N-470.x20; rechts: N-470.x2V) Schraubenkopf Feingewindeschraube (drehend) Grundkörper Klemmschaft (Durchmesser 9,5 mm, Klemmbreite 6 mm) Befestigungsmutter M9×1 Kugelkopfstück zur Ankoppelung an den bewegten Teil der mechanischen Aufnahme Ausdrehsicherung (Halbmondring) für Feingewindeschraube Produktbeschriftung...
  • Seite 16: Produktbeschriftung

    3 Produktbeschreibung Produktbeschriftung Abbildung 4: N-470: Produktbeschriftung Abbildung 5: Typenschild (N-470.410 als Beispiel) Abbildung 6: Laserbeschriftung (bei vakuumkompatiblen Modellen, N-470.41U als Beispiel) Version: 1.2.0 MP125D N­470 Linearaktor...
  • Seite 17: Lieferumfang

    3 Produktbeschreibung Position Beschriftung Beschreibung Herstellerlogo WWW.PI.WS Herstelleradresse (Website) Konformitätszeichen CE Warnzeichen "Handbuch beachten!" Altgeräteentsorgung (S. 47) Schutzleitersymbol (S. 19) Country of Origin: Germany Herkunftsland N-470.410 Produktnummer (Beispiel), die Stellen nach dem Punkt kennzeichnen das Modell 123456789 Seriennummer (Beispiel), individuell für jeden N-470 Bedeutung der Stellen (Zählung von links):...
  • Seite 18: Geeignete Elektronik

    3 Produktbeschreibung Geeignete Elektronik Für den Betrieb des N-470 benötigen Sie eine geeignete Elektronik (nicht im Lieferumfang). Folgende Elektroniken sind verfügbar: Produktnummer Beschreibung E-872.401 Q-Motion® Piezomotor / PiezoMike Treiberelektronik, Tischgerät, Antrieb von bis zu 4 Linearaktoren über einen Verstärkerkanal, TCP/IP, USB, USB für Joystick, Digital-I/O ...
  • Seite 19: Auspacken

    INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Linearaktors muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Linearaktor noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschweißt.
  • Seite 21: Installation

    5 Installation Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation ................... 17 Linearaktor in mechanische Aufnahme einbauen und an Schutzleiter anschließen ....19 Vakuumkompatiblen N-470 für Anschluss an Elektronik vorbereiten ........22 Allgemeine Hinweise zur Installation HINWEIS Reibung durch Querkräfte! Querkräfte, die auf die Feingewindeschraube und das Kugelkopfstück des Linearaktors einwirken, erhöhen die Reibung an den internen Antriebskomponenten.
  • Seite 22 HINWEIS Schäden durch ungeeignete Kabel! Ungeeignete Kabel können Schäden an der Elektronik verursachen.  Verwenden Sie für den Anschluss des N-470 an die Elektronik nur Kabel von PI. HINWEIS Schmutz, Kondenswasser, Schmiermittel! Schmutz, Kondenswasser und falsch angebrachtes Schmiermittel machen den Antrieb funktionsunfähig.
  • Seite 23: Linearaktor In Mechanische Aufnahme Einbauen Und An Schutzleiter Anschließen

    5 Installation Linearaktor in mechanische Aufnahme einbauen und an Schutzleiter anschließen INFORMATION Der Kontakt des N-470 zum Schutzleiter wird über den Kontakt der Befestigungsmutter oder des Gewindes bzw. Klemmschafts zu einer ausreichend leitfähigen mechanischen Aufnahme hergestellt. Die mechanische Aufnahme muss an den Schutzleiter angeschlossen sein. INFORMATION ...
  • Seite 24 5 Installation Abbildung 9: Beispiel für Einbau von zwei N-470.x10 in einen Spiegelhalter N-470.x10 Linearaktoren mit Befestigungsgewinde Mechanische Aufnahme für Linearaktoren (feststehender Teil des Spiegelhalters) Mechanische Aufnahme für Spiegel (beweglicher Teil des Spiegelhalters) Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 17). ...
  • Seite 25 5 Installation N­470 mit Befestigungsgewinde einbauen 1. Schrauben Sie die Befestigungsmutter des N-470 so weit wie nötig in Richtung des Grundkörpers des N-470. 2. Optional: Tragen Sie eine geringe Menge Schmiermittel auf die Kontaktfläche des bewegten Teils der mechanischen Aufnahme auf. 3.
  • Seite 26: Vakuumkompatiblen N-470 Für Anschluss An Elektronik Vorbereiten

    5 Installation Vakuumkompatiblen N­470 für Anschluss an Elektronik vorbereiten Abbildung 10: Vakuumkompatibler N-470: Anschlüsse für die Vakuumdurchführung Vakuumseitiger Anschluss für Kabel des N-470 Vakuumdurchführung Anschluss für luftseitiges Kabel K030B1063 (S. 13) LEMO-Stecker, 3-polig, siehe "Pinbelegung" (S. 46) Zuordnung der Litzen und des Kabelschirms Buchstabe Litzenfarbe Funktion...
  • Seite 27 5 Installation Vakuumkompatiblen N­470 für Anschluss an Elektronik vorbereiten 1. Bringen Sie die jeweiligen Anschlüsse für die Vakuumdurchführung an den offenen Litzen der vakuum- und luftseitigen Kabel des N-470 an: − Stellen Sie sicher, dass die Litzen einander wie im Anschlussschema zugeordnet sind.
  • Seite 29: Inbetriebnahme Und Betrieb

    Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung! Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Schäden am N-470 verursachen.  Verwenden Sie nur Controller/Treiber und Originalzubehör von PI für den Betrieb des N-470.  Überschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich (S. 37), für den der N-470 spezifiziert ist.
  • Seite 30 HINWEIS Zu hohe Betriebsfrequenz! Zu hohe Betriebsfrequenz kann Schäden am N-470 verursachen.  Verwenden Sie nur Controller/Treiber und Originalzubehör von PI für den Betrieb des N-470.  Überschreiten Sie nicht den Betriebsfrequenzbereich (S. 37), für den der N-470 spezifiziert ist.
  • Seite 31 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Erhöhter Verschleiß durch Reibung! Erhöhte Reibung an der Kontaktfläche zwischen Kugelkopfstück und bewegtem Teil der mechanischen Aufnahme erhöht den Verschleiß.  Stellen Sie sicher, dass die Kontaktfläche der mechanischen Aufnahme eine Rauheit R <0,1 µm und mindestens eine Härte von 500 HV (entspricht gehärtetem Stahl) aufweist. ...
  • Seite 32: Betriebsparameter

    Betriebsparameter aus der Positioniererdatenbank geladen werden. Die Einträge in der Positioniererdatenbank werden regelmäßig aktualisiert.  Installieren Sie den PI Update Finder von der Produkt-CD der Elektronik auf Ihrem PC und aktualisieren Sie damit die Positioniererdatenbank auf Ihrem PC. Weitere Informationen zur Positioniererdatenbank finden Sie im Benutzerhandbuch der Elektronik (S.
  • Seite 33: Wartung

    7 Wartung Wartung Wenn der N-470 in einer sauberen Umgebung betrieben wird, sind keine Wartungsarbeiten notwendig. Wenn Sie eine Wartung Ihres Geräts wünschen, kontaktieren Sie unseren Kundendienst (S. 33). N­470 Linearaktor MP125D Version: 1.2.0...
  • Seite 35 8 Störungsbehebung Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Beeinträchtigung der  Laden Sie aus der Positioniererdatenbank  Elektronik wurde Funktion nach den Parametersatz, der dem N-470-Modell ausgetauscht Systemveränderung entspricht.  Mechanik wurde  Wenn nötig: Stellen Sie die Parameter im ausgetauscht PC-Programm PIMikroMove®...
  • Seite 37: Kundendienst

    9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI-Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (service@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: − Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System −...
  • Seite 39: Technische Daten

    10 Technische Daten Technische Daten In diesem Kapitel Spezifikationen ..........................35 Schrittweite und axiale Kraft ....................... 39 Lebensdauer ..........................40 Betriebs- und Einschaltdauer ....................... 40 Abmessungen..........................44 Pinbelegung ..........................46 10.1 Spezifikationen 10.1.1 Datentabelle Modelle, die nicht für den Einsatz im Vakuum geeignet sind Bewegen und Positionieren N­470 Einheit...
  • Seite 40 10 Technische Daten Anschlüsse und Umgebung N­470 Einheit Betriebstemperaturbereich 10 bis 40 °C Material Schraube: Edelstahl Gehäuse: Aluminium (eloxiert) Mutter: Bronze Abmessungen N-470.1xx: 14 × 28 × 48 N-470.2xx: 14 × 28 × 53,5 N-470.4xx: 14 × 28 × 68,5 Masse Kabellänge Kabelabgang...
  • Seite 41: Bemessungsdaten

    10 Technische Daten Anschlüsse und Umgebung N­470.11x; N­470.11xx N­470.21x; N­470.21xx N­470.41x; N­470.41xx Einheit N­470.12x; N­470.12xx N­470.22x; N­470.22xx N­470.42x; N­470.42xx Betriebstemperaturbereich 10 bis 40 10 bis 40 10 bis 40 °C Material Schraube: Edelstahl Schraube: Edelstahl Schraube: Edelstahl Gehäuse: Edelstahl Gehäuse: Edelstahl Gehäuse: Edelstahl Abmessungen 14 ×...
  • Seite 42: Umgebungsbedingungen Und Klassifizierungen

    10 Technische Daten 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind für den N-470 zu beachten: Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenräumen Maximale Höhe 2000 m Luftdruck Modelle, die nicht für den Einsatz im Vakuum geeignet sind: 1100 hPa bis 0,1 hPa Modelle N-470.xxV, .xxVY: 1100 hPa bis 10 hPa (Hochvakuum)
  • Seite 43: Schrittweite Und Axiale Kraft

    10 Technische Daten 10.2 Schrittweite und axiale Kraft Das folgende Diagramm zeigt die Schrittweite des N-470 gegen verschiedene axiale Kräfte. Der Einfluss unterschiedlicher axialer Kräfte auf die Schrittweite ist relativ gering. Die aktive Vorschubkraft ist mit 22 N spezifiziert (siehe "Technische Daten" (S. 35)). Abbildung 11: Typische Schrittweite in nm vs.
  • Seite 44: Lebensdauer

    10 Technische Daten 10.3 Lebensdauer Das folgende Diagramm zeigt die Abnahme der Schrittweite über die Lebensdauer des N-470. Die Lebensdauer des Linearaktors N-470 ist mit 1 000 000 000 Schritten spezifiziert. Dabei nimmt die typische Schrittweite maximal um 30 % ab. Abbildung 12: Typische Schrittweite in nm vs.
  • Seite 45 10 Technische Daten Modelle, die nicht für den Einsatz im Vakuum geeignet sind Anzahl der Schritte Betriebsdauer Einschaltdauer (max.) / Ruhezeit pro Sekunde* 2000 60 s (max.) 20 % / 4 min 2000 10 s 20 % / 40 s 1000 120 s (max.) 40 % / 180 s...
  • Seite 46 10 Technische Daten Das folgende Diagramm zeigt die Einschaltdauer in % in Abhängigkeit von der Anzahl der Schritte pro Sekunde. Abbildung 14: Einschaltdauer in % vs. Schritte/s Vakuumkompatible Modelle Anzahl der Schritte Betriebsdauer Einschaltdauer (max.) / Ruhezeit pro Sekunde* 2000 60 s (max.) 10 % / 9 min 2000...
  • Seite 47 10 Technische Daten Das folgende Diagramm zeigt die Betriebsdauer in Sekunden in Abhängigkeit von der Anzahl der Schritte pro Sekunde. Abbildung 15: Betriebsdauer in s vs. Schritte/s (Vakuumversionen des N-470) Das folgende Diagramm zeigt die Einschaltdauer in % in Abhängigkeit von der Anzahl der Schritte pro Sekunde.
  • Seite 48: Abmessungen

    10 Technische Daten 10.5 Abmessungen Abmessungen in mm. 10.5.1 Modelle mit gedrehtem Kabelabgang INFORMATION Die Maßzeichnungen in den nachfolgenden Abschnitten zeigen die Modelle N-470.xxx mit Standardkabelabgang, gelten aber auch für die Modelle N-470.xxxY mit gedrehtem Kabelabgang.  Beachten Sie: Bei den Modellen N-470.xxxY befindet sich der Kabelabgang genau gegenüber der in den Maßzeichnungen abgebildeten Position.
  • Seite 49: Modelle Mit Klemmschaft

    10 Technische Daten 10.5.3 Modelle mit Klemmschaft Abbildung 18: Abmessungen N-470.x2x N­470.12x N­470.22x N­470.42x Einheit N­470.12xY N­470.22xY N­470.42xY 53,5 68,5 B (Stellweg) N­470 Linearaktor MP125D Version: 1.2.0...
  • Seite 50: Pinbelegung

    10 Technische Daten 10.6 Pinbelegung Der Anschluss an die Treiberelektronik erfolgt über einen LEMO-Stecker: Modelle, die nicht für den Einsatz im Vakuum geeignet sind: Der Stecker sitzt direkt am  Kabel des N-470. Vakuumkompatible Modelle: Der Stecker sitzt am luftseitigen Kabel (S. 13). Das ...
  • Seite 51: Altgerät Entsorgen

    Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI-Altgerätes, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Auf der Römerstr.
  • Seite 53: Eu-Konformitätserklärung

    12 EU­Konformitätserklärung EU­Konformitätserklärung Für den N-470 wurde eine EU-Konformitätserklärung gemäß den folgenden europäischen Richtlinien ausgestellt: Niederspannungsrichtlinie EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Sicherheit (Niederspannungsrichtlinie): EN 61010-1 EMV: EN 61326-1 RoHS: EN 50581 N­470 Linearaktor MP125D Version: 1.2.0...

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