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0: nicht geeignet für den Einsatz im Vakuum V: vakuumkompatibel bis 10 U: vakuumkompatibel bis 10 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Germany Telefon: +49 721 4846-0, Fax: +49 721 4846-1019, E-Mail: info@pi.de...
Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ..........1 Symbole und Kennzeichnungen ................1 Abbildungen ......................2 Mitgeltende Dokumente ..................2 Handbücher herunterladen ................... 3 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ..............5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................5 2.2.1 Organisatorische Maßnahmen ............6 2.2.2 Maßnahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten ...................
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Störungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10.1 Spezifikationen ....................39 10.1.1 Datentabelle ..................39 10.1.2 Bemessungsdaten ................42 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ......43 10.2 Schrittweite und axiale Kraft ................44 10.3 Lebensdauer .......................45 10.4 Betriebs- und Einschaltdauer ................45 10.5 Abmessungen .....................49 10.5.1 Modelle mit gedrehtem Kabelabgang ..........49 10.5.2 Modelle mit Gewinde M10x1 ............50 10.5.3...
1 Über dieses Dokument Über dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ..................1 Abbildungen ........................2 Mitgeltende Dokumente ....................2 Handbücher herunterladen .................... 3 1.1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des N-470.
Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tatsächlichen Gegebenheiten abweichen. Auch fotografische Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. 1.4 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Bauteil Dokument E-870.10, E-870.11, E-870.21, E-870.41...
Frei zugängliche Handbücher: PI Website Folgen Sie zum Herunterladen der entsprechenden Anleitung. Frei zugängliche Handbücher herunterladen 1. Öffnen Sie die Website http://www.pi-portal.ws. 2. Klicken Sie auf Downloads. 3. Klicken Sie auf die entsprechende Produktkategorie. 4. Gehen Sie zum entsprechenden Produktcode.
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1 Über dieses Dokument 5. Öffnen Sie das FTP-Download-Verzeichnis (ftp://pi-ftp.ws). − Windows-Betriebssysteme: Öffnen Sie das FTP-Download-Verzeichnis im Windows Explorer. 6. Melden Sie sich mit dem Benutzernamen und dem Kennwort aus den Release News an. 7. Wechseln Sie im Verzeichnis des entsprechenden Produkts in das Unterverzeichnis Manuals.
Einsatzbedingungen des N-470 siehe "Technische Daten" (S. 39). Die bestimmungsgemäße Verwendung des N-470 ist nur in Verbindung mit geeigneter Treiberelektronik möglich, welche die benötigten Betriebsspannungen bereitstellt. Die Treiberelektronik ist nicht im Lieferumfang des N-470 enthalten. PI bietet eine geeignete Treiberelektronik (siehe S. 16) an. 2.2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der N-470 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut.
Produkten Beim Umgang mit der Vakuumversion des Linearaktors muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Linearaktor noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschweißt.
3 Produktbeschreibung Produktbeschreibung In diesem Kapitel Modellübersicht ......................7 Produktansicht ......................12 Produktbeschriftung ..................... 14 Lieferumfang ........................ 15 Geeignete Treiberelektronik ..................16 3.1 Modellübersicht Die Modelle unterscheiden sich bezüglich folgender Merkmale: Stellweg Art des Einbaus Eignung für den Einsatz im Vakuum ...
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3 Produktbeschreibung PiezoMike Linearaktoren mit M10×1 Gewinde Modell Beschreibung N-470.110 PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, M10×1 Gewinde N-470.110Y PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, M10×1 Gewinde, gedrehter Kabelabgang N-470.210 PiezoMike Linearaktor, 13 mm, M10×1 Gewinde N-470.210Y PiezoMike Linearaktor, 13 mm, M10×1 Gewinde, gedrehter Kabelabgang N-470.410...
3 Produktbeschreibung Modell Beschreibung N-470.21U PiezoMike Linearaktor, 13 mm, M10×1 Gewinde, vakuumkompatibel bis N-470.21UY PiezoMike Linearaktor, 13 mm, M10×1 Gewinde, vakuumkompatibel bis hPa, gedrehter Kabelabgang N-470.41U PiezoMike Linearaktor, 26 mm, M10×1 Gewinde, vakuumkompatibel bis N-470.41UY PiezoMike Linearaktor, 26 mm, M10×1 Gewinde, vakuumkompatibel bis hPa, gedrehter Kabelabgang PiezoMike Linearaktoren mit Klemmschaft Modell...
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3 Produktbeschreibung Modell Beschreibung N-470.42VY PiezoMike Linearaktor, 26 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft, vakuumkompatibel bis 10 hPa, gedrehter Kabelabgang PiezoMike Linearaktoren mit Klemmschaft, vakuumkompatibel bis Modell Beschreibung N-470.12U PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft, vakuumkompatibel bis 10 N-470.12UY PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft, vakuumkompatibel bis 10 hPa, gedrehter Kabelabgang...
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3 Produktbeschreibung PiezoMike Linearaktoren mit M12×0,5 Gewinde, vakuumkompatibel bis 10 Modell Beschreibung N-470.13V PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, M12×0,5 Gewinde, vakuumkompatibel bis 10 N-470.13VY PiezoMike Linearaktor, 7,5 mm, M12×0,5 Gewinde, vakuumkompatibel bis 10 hPa, gedrehter Kabelabgang N-470.23V PiezoMike Linearaktor, 13 mm, M12×0,5 Gewinde, vakuumkompatibel bis 10 N-470.23VY PiezoMike Linearaktor, 13 mm, M12×0,5 Gewinde, vakuumkompatibel...
3 Produktbeschreibung 3.2 Produktansicht N-470 Modelle mit Gewinde M10x1 oder M12x0,5 Die Beschreibung der Produktbestandteile gilt auch für Modelle mit gedrehtem Kabelabgang. Abbildung 1: Modelle mit Gewinde und Standardkabelabgang (links: N-470.x10; rechts: N-470.x1V) Schraubenkopf Feingewindeschraube (drehend) Grundkörper Befestigungsmutter M10x1 oder M12x0,5 Befestigungsgewinde M10x1 oder M12x0,5 Kugelkopfstück zur Ankoppelung an den bewegten Teil der mechanischen Aufnahme Halbmondring, mechanischer Anschlag für Feingewindeschraube...
3 Produktbeschreibung N-470 Modelle mit Klemmschaft Die Beschreibung der Produktbestandteile gilt auch für Modelle mit gedrehtem Kabelabgang. Abbildung 2: Modelle mit Klemmschaft und Standardkabelabgang (links: N-470.x20; rechts: N-470.x2V) Schraubenkopf Feingewindeschraube (drehend) Grundkörper Klemmschaft (Durchmesser 9,5 mm, Klemmbreite 6 mm) Befestigungsmutter M9x1 Kugelkopfstück zur Ankoppelung an den bewegten Teil der mechanischen Aufnahme Halbmondring, mechanischer Anschlag für Feingewindeschraube Produktbeschriftung...
3 Produktbeschreibung Position Beschriftung Beschreibung Herstellerlogo WWW.PI.WS Herstelleradresse (Website) Konformitätszeichen CE Warnzeichen "Handbuch beachten!" Altgeräteentsorgung (S. 55) Schutzleitersymbol, kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des N-470 Country of Origin: Herkunftsland Germany Produktbezeichnung (Beispiel), die Stellen nach dem N-470.410 Punkt kennzeichnen das Modell Seriennummer (Beispiel), individuell für jeden N-470 Bedeutung der Stellen (Zählung von links): 1 = interne...
3 Produktbeschreibung 3.5 Geeignete Treiberelektronik Für den Betrieb des N-470 benötigen Sie eine geeignete Treiberelektronik (nicht im Lieferumfang). Folgende Treiberelektroniken sind verfügbar: Treiberelektronik Beschreibung E-870.10 PIShift Piezomotor / PiezoMike Treiberelektronik, 1 Kanal, OEM-Board E-870.11 PIShift Piezomotor / PiezoMike Treiberelektronik, 1 Kanal, OEM-Board mit Steckerleiste = E-870.10 plus Trägerplatine E-870.21...
INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Linearaktors muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Linearaktor noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschweißt.
5 Installation Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation ................19 Linearaktor in mechanische Aufnahme einbauen und an Schutzleiter anschließen... 21 Vakuumkompatiblen N-470 für Anschluss an Treiberelektronik vorbereiten ....25 5.1 Allgemeine Hinweise zur Installation HINWEIS Reibung durch Querkräfte! Querkräfte, die auf die Feingewindeschraube und das Kugelkopfstück des Linearaktors einwirken, erhöhen die Reibung an den internen Antriebskomponenten.
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HINWEIS Schäden durch ungeeignete Kabel! Ungeeignete Kabel können Schäden an der Elektronik verursachen. Verwenden Sie für den Anschluss des N-470 an die Elektronik nur Kabel von PI. HINWEIS Schmutz, Kondenswasser, Schmiermittel! Schmutz, Kondenswasser und falsch angebrachtes Schmiermittel machen den Antrieb funktionsunfähig.
5 Installation HINWEIS Schäden durch Herausschrauben! Das vollständige Herausschrauben der Feingewindeschraube aus dem Grundkörper führt zu Schäden am N-470. Schrauben Sie die Feingewindeschraube nicht aus dem Grundkörper des N-470 heraus. HINWEIS Schäden an Feingewindeschraube durch Kontakt mit harten Gegenständen! Kontakt mit harten Gegenständen kann das Gewinde der Feingewindeschraube beschädigen.
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5 Installation Abbildung 7: Modell mit Gewinde: Relevante Komponenten für den Einbau in die mechanische Aufnahme (hier: N-470.x10) × × Befestigungsmutter, M10 1 oder M12 Befestigungsgewinde Kugelkopfstück Abbildung 8: Modell mit Klemmschaft: Relevante Komponenten für den Einbau in die mechanische Aufnahme (hier: N-470.x20) Klemmschaft, Durchmesser: 9,5 mm, Klemmbreite: 6 mm ×...
5 Installation Abbildung 9: Beispiel für Einbau von zwei N-470.x10 in einen Spiegelhalter 1. N-470.x10 Linearaktoren mit Befestigungsgewinde 2. Mechanische Aufnahme für Linearaktoren (feststehender Teil des Spiegelhalters) 3. Mechanische Aufnahme für Spiegel (beweglicher Teil des Spiegelhalters) Voraussetzungen Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S.
5 Installation − Für Modelle mit Klemmschaft: Eine Durchgangsbohrung mit geeignetem Durchmesser ist in der mechanischen Aufnahme vorhanden. Sie haben den Platzbedarf für eine knickfreie und vorschriftsmäßige Kabelführung berücksichtigt. Werkzeug und Zubehör Hakenschlüssel (im Lieferumfang enthalten (S. 15)) Wenn Schmiermittel auf die Kontaktfläche des bewegten Teils der mechanischen Aufnahme aufgebracht werden soll: ...
5 Installation 4. Drehen Sie die Befestigungsmutter des N-470 in das Gewinde des Klemmschafts einige Umdrehungen mit der Hand ein. 5. Richten Sie den Grundkörper an der mechanischen Aufnahme aus. 6. Klemmen Sie den N-470 in der Aufnahme fest: − Halten Sie den Grundkörper fest und ziehen Sie gleichzeitig die Befestigungsmutter des N-470 mit dem Hakenschlüssel handfest an.
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5 Installation Voraussetzungen Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 19). Das luftseitige PVC-Kabel des N-470 ist nicht an der Treiberelektronik angeschlossen. Werkzeug und Zubehör Geeignete Vakuumdurchführung Luftseitiger und vakuumseitiger Anschluss (Stecker oder Kupplung) für die Vakuumdurchführung ...
6 Inbetriebnahme und Betrieb Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb ..........27 N-470 mit Treiberelektronik E-870 in Betrieb nehmen ..........31 Betriebsparameter des N-470 ..................32 6.1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb VORSICHT Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter! Bei fehlendem oder nicht ordnungsgemäß...
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Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung! Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Schäden am N-470 verursachen. Verwenden Sie nur Controller/Treiber und Originalzubehör von PI für den Betrieb des N-470. Überschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich (S. 42), für den der N- 470 spezifiziert ist.
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6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Zerstörung des Piezoaktors durch elektrische Überschläge! Der Einsatz des N-470 in Umgebungen, die die elektrische Leitfähigkeit erhöhen, kann zur Zerstörung des Piezoaktors durch elektrische Überschläge führen. Elektrische Überschläge können durch Feuchtigkeit, hohe Luftfeuchtigkeit, Flüssigkeiten und leitende Materialien (z. B. Metallstaub) hervorgerufen werden. Darüber hinaus können in bestimmten Luftdruckbereichen aufgrund der erhöhten Leitfähigkeit der Luft elektrische Überschläge auftreten.
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Schrittfrequenz ab. Für weitere Informationen zu den Einsatzbedingungen beachten Sie die Angaben im Abschnitt "Technische Daten" (S. 39). Die Inbetriebnahme des N-470 erfolgt mit der Treiberelektronik E-870 (S. 16) von PI. Version: 1.1.0 MP125D N-470 Linearantrieb...
6 Inbetriebnahme und Betrieb 6.2 N-470 mit Treiberelektronik E-870 in Betrieb nehmen INFORMATION Wenn die Parameter der Treiberelektronik nicht an den N-470 angepasst sind (z. B. Betriebsspannung für den Antrieb zu niedrig eingestellt), bewegt sich der N-470 nicht oder nicht zufriedenstellend. ...
6 Inbetriebnahme und Betrieb 6.3 Betriebsparameter des N-470 Die folgende Tabelle listet die Einstellungen für die Parameter der Treiberelektronik E-870 auf. Weitere Informationen zu den Parametereinstellungen finden Sie im Abschnitt "Betriebs- und Einschaltdauer" (S. 45). Parameter Parameter in Treiberelektronik Wert Einheit E-870 Betriebsspannung, Obergrenze...
7 Wartung Wartung Wenn der N-470 in einer sauberen Umgebung betrieben wird, sind keine Wartungsarbeiten notwendig. Wenn Sie eine Wartung Ihres Geräts wünschen, kontaktieren Sie unseren Kundendienst (S. 37). N-470 Linearantrieb MP125D Version: 1.1.0...
8 Störungsbehebung Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Beeinträchtigung der Treiberelektronik von PI: Treiberelektronik Funktion nach wurde ausgetauscht Stellen Sie die Parameter im PC-Programm E- Systemveränderung 870 Control so ein, dass sie der Kombination Mechanik wurde aus Treiberelektronik und N-470-Modell...
9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI-Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (mailto:info@pi.ws). Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System ...
Betriebs- und Einschaltdauer ..................45 Abmessungen ......................49 Pinbelegung ......................... 53 10.1 Spezifikationen 10.1.1 Datentabelle Modelle, die nicht für den Einsatz im Vakuum geeignet sind N-470.110; N-470.110Y / N-470.210; N-470.210Y / N-470.410; N-470.410Y / Einheit N-470.120; N-470.120Y / N-470.220; N-470.220Y / N-470.420;...
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10 Technische Daten Mechanische Eigenschaften Steifigkeit in 15,5 15,5 15,5 N/µm Stellrichtung Vorschubkraft (aktiv) Haltekraft (passiv) >100 >100 >100 Zulässige Querkraft Antriebseigenschaften Antriebstyp PIShift Piezomotor PIShift Piezomotor PIShift Piezomotor Max. Betriebsspannung Max. Leistungsaufnahme Anschlüsse und Umgebung Betriebstemperatur- 10 bis 40 10 bis 40 10 bis 40 °C...
10 Technische Daten 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind für den N-470 zu beachten: Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenräumen Maximale Höhe 2000 m Luftdruck Modelle, die nicht für den Einsatz im Vakuum geeignet sind: 1100 hPa bis 0,1 hPa (entspricht etwa 825 Torr bis 0,075 Torr) Modelle N-470.xxV, .xxVY: 1100 hPa bis 10...
10 Technische Daten 10.2 Schrittweite und axiale Kraft Das folgende Diagramm zeigt die Schrittweite des N-470 gegen verschiedene axiale Kräfte. Der Einfluss unterschiedlicher axialer Kräfte auf die Schrittweite ist relativ gering. Die aktive Vorschubkraft ist mit 22 N spezifiziert (siehe "Technische Daten"). Abbildung 11: Typische Schrittweite in nm vs.
10 Technische Daten 10.3 Lebensdauer Das folgende Diagramm zeigt die Abnahme der Schrittweite über die Lebensdauer des N-470. Die Lebensdauer des Linearaktors N-470 ist mit 1 000 000 000 Schritten spezifiziert. Dabei nimmt die typische Schrittweite maximal um 30 % ab. Abbildung 12: Typische Schrittweite in nm vs.
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10 Technische Daten Modelle, die nicht für den Einsatz im Vakuum geeignet sind Anzahl der Schritte Betriebsdauer Einschaltdauer (max.) / Ruhezeit pro Sekunde* 2000 60 s (max.) 20 % / 4 Min. 2000 10 s 20 % / 40 s 1000 120 s (max.) 40 % / 180 s...
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10 Technische Daten Das folgende Diagramm zeigt die Einschaltdauer in % in Abhängigkeit von der Anzahl der Schritte pro Sekunde. Abbildung 14: Einschaltdauer in % vs. Schritte/s Vakuumkompatible Modelle Anzahl der Schritte Betriebsdauer Einschaltdauer (max.) / Ruhezeit pro Sekunde* 2000 60 s (max.) 10 % / 9 Min.
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10 Technische Daten Das folgende Diagramm zeigt die Betriebsdauer in s in Abhängigkeit von der Anzahl der Schritte pro Sekunde. Abbildung 15: Betriebsdauer in s vs. Schritte/s (Vakuumversionen des N-470) Das folgende Diagramm zeigt die Einschaltdauer in % in Abhängigkeit von der Anzahl der Schritte pro Sekunde.
10 Technische Daten 10.5 Abmessungen Abmessungen in mm. 10.5.1 Modelle mit gedrehtem Kabelabgang INFORMATION Die Maßzeichnungen in den nachfolgenden Abschnitten zeigen die Modelle N- 470.xxx mit Standardkabelabgang, gelten aber auch für die Modelle N-470.xxxY mit gedrehtem Kabelabgang. Beachten Sie: Bei den Modellen N-470.xxxY befindet sich der Kabelabgang genau gegenüber der in den Maßzeichnungen abgebildeten Position.
10 Technische Daten 10.6 Pinbelegung Der Anschluss an die Treiberelektronik erfolgt über einen Mini-DIN-Stecker, 4-polig (m): Modelle, die nicht für den Einsatz im Vakuum geeignet sind: Der Stecker sitzt direkt am Kabel des N-470. Vakuumkompatible Modelle: Der Stecker sitzt am luftseitigen PVC-Kabel; im Lieferumfang (S.
Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI- Altgerätes, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH &...
12 EG-Konformitätserklärung 12 EG-Konformitätserklärung Für den N-470 wurde eine EG-Konformitätserklärung gemäß den folgenden europäischen Richtlinien ausgestellt: 2006/95/EG, Niederspannungsrichtlinie 2004/108/EG, EMV-Richtlinie 2011/65/EU, RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Sicherheit (Niederspannungsrichtlinie): EN 61010-1:2010 EMV: EN 61326-1:2013 RoHS: EN 50581:2012 N-470 Linearantrieb MP125D...