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Technische Daten - Pfeiffer Vacuum CMR 361 Betriebsanleitung

Ceramic capacitance gauge
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Technische Daten

Messbereich
Genauigkeit
PT R24 600 ... PT R24 633
PT R24 640 ... PT R24 643
Temperatureinfluss auf Nullpunkt
PT R24 600 ... PT R24 623
PT R24 630 ... PT R24 633
PT R24 640 ... PT R24 643
Temperatureinfluss auf Bereich
PT R24 600 ... PT R24 633
PT R24 640 ... PT R24 643
Auflösung
Gasartabhängigkeit
Ausgangssignal analog
(Messsignal)
Spannungsbereich
Messbereich
Beziehung Spannung-Druck
Fehlersignal
Ausgangsimpedanz
Lastimpedanz
Ansprechzeit
PT R24 600 ... PT R24 633
PT R24 640 ... PT R24 643
1)
Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit im kalibrierten
Bereich bei 25 °C Umgebungstemperatur ohne Temperatureinfluss
nach 2 h Betrieb.
8
1)
→ "Gültigkeit"
0.20% vom Messwert
0.50% vom Messwert
0.0050% F.S./ °C
0.015% F.S./ °C
0.020% F.S./ °C
0.01% vom Messwert / °C
0.03% vom Messwert / °C
0.003% F.S.
keine
0 ... +11 V
+1.0 ... +9.8 V
linear
<0.4 V (keine Speisung,
Aufnehmerfehler)
>9.8 V (oberhalb des Be-
reichs ("overrange")
<10 Ω
10 kΩ (kurzschlussfest)
30 ms
130 ms
BG 5136 BDE / C
(2019-05)

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