Pfeiffer Vacuum CLR 393 Betriebsanleitung
Cermaic capactance cauge
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum CLR 393
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum CLR 393
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original CLR 393, CLR 394 Ceramic Capacitance Gauge...
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typen- schildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. BG 5049 BDE / A (2018-05) -
Seite 3: Gültigkeit
Stecker nummer PT R25 371 DN 16 ISO-KF PT R25 374 Tri Clamp 1.5" D-Sub 15-pin … CLR 393 PT R25 375 Tri Clamp 2.0" 10 (F.S.) PT R25 379 DN 16 ISO-KF Hirschmann, 6-pin PT R25 381 DN 16 ISO-KF …... -
Seite 4: Funktion
Funktion Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt. Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi- tale Elektronik in ein Gleichstrom-Ausgangssignal umgewandelt. Das Ausgangssignal ist linear mit dem zu messenden Druck und unabhängig von der zu messenden Gasart. Der auf konstant 160 °C geheizte Sensor erlaubt sehr genaue Druckmessungen. -
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Patente Lieferumfang Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Stecker D-Sub, 15-polig 3.2.2 Stecker Hirschmann, 6-polig Betrieb 4.1 Anzeigen 4.2 Messröhre abgleichen 4.3 Schaltfunktionen (D-Sub Stecker) 4.4 Werkseinstellung laden (Factory Reset) -
Seite 6: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis <…> Beschriftung Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewähr- leistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen •... -
Seite 8: Technische Daten
Technische Daten Messbereich → "Gültigkeit" Genauigkeit 0.4% vom Messwert Temperatureinfluss auf Nullpunkt 0.005% F.S./ °C Temperatureinfluss auf Bereich 0.02% vom Messwert / °C 0.003% F.S. Auflösung Gasartabhängigkeit keine Ausgangssignal (Messsignal) 2-Draht, current loop Signalbereich 3.8 … 20.4 mA Messbereich (Zero … F.S.) 4.0 …... - Seite 9 Remote Zero Adjust Digitaler Eingang für den (D-Sub-Stecker) Nullpunktabgleich mit exter- nem Schaltkontakt (→ 18) Externer Schaltkontakt 30 V (dc) / <5 mA (dc) Impuls >1 s … <5 s Schaltfunktion (D-Sub-Stecker) SP1, SP2 Einstellbereich 0 … 99% F.S. (0 … 9.9 V) Hysterese 1% F.S.
- Seite 10 Versorgungsspannung CDG Klasse 2 / LPS an der Messröhre +21 … +30 V (dc) oder ±15 V (±5%) (nur D-Sub) Ripple ≤1 V Leistungsaufnahme während Aufheizphase ≤18 W in Betrieb ≤12 W Sicherung vorzuschalten ≤1.6 AT (träge), automatisch rückstellend (Polyfuse) Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung und Überlast geschützt.
- Seite 11 Erdkonzept Vakuumflansch–Looperde potentialgetrennt Werkstoffe gegen Vakuum Flansch, Rohr Edelstahl AISI 316L Sensor und Membran Keramik (Al ≥99.5%) Verbindung Sensor-Membran Glaskeramiklot Verbindung Keramik-Metall AgTiCu-Hartlot, Vacon 70 (28% Ni, 23% Co, 49% Fe) Inneres Volumen ≤4.2 cm Maximaldruck (absolut) 260 kPa Berstdruck (absolut) 600 kPa 160 °C Betriebstemperatur...
- Seite 12 Abmessungen [mm] Gewicht 837 … 897 g BG 5049 BDE / A (2018-05)
- Seite 13 Beziehung Messsignal analog – Druck p = [(I – 4 mA) / 16 mA] × p (F.S.) Umrechnung Torr ↔ Pascal Torr mbar 1013.25 / 760 = 101325 / 760 = 1.00 1.3332… 133.3224… Beispiel: Messröhre mit 10 Torr F.S. Messsignal I = 12 mA p = [(12 mA –...
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Seite 14: Einbau
Einbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >100 kPa Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. - Seite 15 GEFAHR GEFAHR: Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • Für KF- und Tri Clamp-Anschlüsse ist ein elek- trisch leitender Spannring zu verwenden.
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Seite 16: Elektrischer Anschluss
Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Ein- baulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen. Falls ein Abgleich der Messröhre im eingebauten Zu- stand möglich sein soll, ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten. -
Seite 17: Stecker D-Sub, 15-Polig
GEFAHR Die Messröhre darf nur an Speise- oder Mess- geräte angeschlossen werden, die den Anforder- ungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusichern. Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können das Messsignal beeinflussen. - Seite 18 Pin 1,4 Relais SP1, Schließer Pin 2 Positive Exitation Pin 3 Status Pin 5 Speisungserde CDG Pin 6 Speisung CDG (-15 V) Pin 7, 11 Speisung CDG (+14 … +30 V oder +15 V) 15-polig Pin 8, 9 Relais SP2, Schließer D-Sub Pin 10 Messröhrenidentifikation oder...
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Seite 19: Stecker Hirschmann, 6-Polig
3.2.2 Stecker Hirschmann, 6-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen (Kabellänge und -querschnitt → 10). Pin 1 Messröhrenidentifikation Pin 2 Positive Exitation Pin 3 Negative Exitation Pin 4 Speisung CDG Pin 5 Speisungserde CDG Pin 6 Abschirmung Kabeldose... -
Seite 20: Betrieb
Betrieb Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Beachten Sie eine Aufwärmzeit der Messröhre von mindestens 2 Stunden, bei Präzisionsmessungen mindestens 4 Stunden. Bei schnellen Downstream-Druckregelungen empfehlen wir das Signalfilter der Messröhre auf "Schnell" (fast) zu stellen. Anzeigen Nur für Werks- einstellung Zustand Bedeutung... -
Seite 21: Messröhre Abgleichen
Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abge- glichen (→ "Calibration Test Report"). Wir empfehlen den Nullpunkt bei der Erstinbetriebnah- me einzustellen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunkt- verschiebung führen und periodisch ebenfalls eine Nullpunktein- stellung erfordern. - Seite 22 <ZERO> Adjust 4.2.1 Der Nullpunktabgleich kann erfolgen über • den Taster <ZERO> an der Messröhre, • den digitalen Eingang "Remote Zero" (nur D-Sub- Stecker): Am Pin 10 die Versorgungsspannung anle- gen (Impuls → 9). Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbe- dienungen zu verhindern.
- Seite 23 Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken, oder … Taster kurz drücken max. ø1.1 mm … beim Remote Zero am Pin 10 (D-Sub) die Versorgungs- spannung anlegen (Impulse → 9, Schema → 18). Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die <STATUS>...
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Seite 24: Adjust Mit Rampenfunktion
<ZERO> Adjust mit Rampenfunktion 4.2.2 Mit der Rampe kann der Nullpunkt bei einem bekannten Refe- renzdruck eingestellt werden, welcher im Messbereich der Messröhre liegt. Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie einge- stellt werden, um einen Offset vom Messsystem auszugleichen. Der Offset sollte nicht größer als 1.5% vom F.S. -
Seite 25: Schaltfunktionen (D-Sub Stecker)
• Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen und innerhalb von 3 … 5 s erneut drücken und halten (die Blinkfrequenz der <STATUS> Anzeige ändert kurz). • Feineinstellung des Zero-Adjust Wertes: Den Taster loslassen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken. Der Wert ändert in Einzelschritten (Taster ca. -
Seite 26: Einstellen Der Schwellwerte
4.3.1 Einstellen der Schwellwerte GEFAHR GEFAHR: Fehlfunktion Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert werden, ist zu beachten, dass das Drücken des Tasters <SP> das Messsignal unterbricht und statt dessen den entsprechenden Schwellwert auf den Ausgang gibt. Dies kann zu Fehlfunktionen führen. Taster <SP>... - Seite 27 Zum Verändern des Schwellwertes Taster <ZERO> drücken und halten. Der Schwellwert wird ab dem aktuellen Wert kontinuierlich (Rampe) geändert, bis Taster losgelas- sen wird oder die Einstellgrenze erreicht ist. Taster gedrückt halten max. ø1.1 mm • Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen und innerhalb von 3 …...
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Seite 28: Werkseinstellung Laden (Factory Reset)
Werkseinstellung laden (Factory Reset) Sämtliche vom Anwender gesetzten/veränderten Parameter (z.B. Nullpunkt, Filter) werden auf die Standardwerte (Werksein- stellungen) zurückgesetzt. Das Laden der Standardwerte kann nicht rückgängig gemacht werden. Werkseinstellungen laden: Messröhre außer Betrieb setzen. Während der Inbetriebnahme der Messröhre den Taster <ZERO>... -
Seite 29: Ausbau
Ausbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. - Seite 30 Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen. Messröhre außer Betrieb setzen. Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen. Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz- kappe aufsetzen.
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Seite 31: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewähr- leistung. Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen (→ 21). Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewähr- leistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungs- arbeiten selber ausführen. Produkt zurücksenden WARNUNG WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z.B. -
Seite 32: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um-... -
Seite 33: Umrechnungstabelle
Umrechnungstabelle mbar Torr mm HG mbar 1×10 0.75 1×10 1×10 1×10 0.01 1×10 0.01 1×10 7.5×10 1×10 0.75 0.01 1×10 Torr 1.332 1.332×10 133.32 1.3332 0.1332 mm HG 1 Pa = 1 N/m BG 5049 BDE / A (2018-05) -
Seite 34: Eu-Konformitätserklärung
Richtlinie zur Be eschränkung der Verw wendung be- stimmter gefä hrlicher Stoffe in Ele ktro- und Elektronikg geräten) Ceramic C Capacitance Gauge CLR 393, CLR R 394 Normen Harmonisierte und internationale e/nationale Norme en sowie Spezifikationen • EN 61010-1 :2010 (Sicherheits sbestimmungen für e... - Seite 35 Notizen BG 5049 BDE / A (2018-05)
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Seite 36: Kompetenz In Theorie Und Praxis
VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.