Pfeiffer Vacuum CMR 361 Betriebsanleitung Seite 10

Werkstoffe gegen Vakuum
Flansch, Rohr
Sensor und Membran
Verbindung Sensor–Membran
Verbindung Keramik–Metall
Inneres Volumen
Maximaldruck (absolut)
PT R24 600 ... PT R24 603
PT R24 610 ... PT R24 633
PT R24 640 ... PT R24 643
Berstdruck (absolut)
Zulässige Temperatur
Lagerung
Betrieb
Ausheizen (außer Betrieb)
Relative Feuchte
Verwendung
Schutzart
10
Edelstahl AISI 316L
Keramik (Al O ≥99.5%)
2 3
Glaskeramiklot
AgTiCu-Hartlot, Vacon 70
(28% Ni, 23% Co, 49% Fe)
3
≤3.6 cm
300 kPa
200 kPa
130 kPa
500 kPa
–40 °C ... +65 °C
+5 °C ... +50 °C
≤110 °C am Flansch
≤80% bei Temperaturen
≤+31 °C abnehmend auf
50% bei +40 °C
nur in Innenräumen,
Höhe bis zu 2000 m NN
IP 30
BG 5136 BDE / C (2019-05)