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Bayard-Alpert-Messsystem; Pirani-Messsystem; Abb. 3: Aufbau Des Bayard-Alpert-Messsystems - Pfeiffer Vacuum HPT 200 Betriebsanleitung

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Produktbeschreibung
Der Einschaltpunkt P
schaltpunkt P
bereich zwischen P
ni-Messsystem als auch das HIMS zur Bestimmung des Drucks verwendet. Dabei nimmt der Pirani-An-
teil mit fallendem Druck ab. In der Schalterposition „hard" erfolgt eine direkte Umschaltung zwischen Pi-
rani und HIMS, ohne Übergang.
3.1.4 Bayard-Alpert-Messsystem
Das Elektrodensystem nach Bayard-Alpert ist auf eine niedrige Röntgengrenze ausgelegt. Durch das
Filament (F
zahl Moleküle. Der Ionenauffänger (IC) nimmt den dadurch erzeugten Ionenstrom I
dem Elektrometerverstärker der Transmitterelektronik zu. Der Ionenstrom ist vom Emissionsstrom I
der Gasart und vom Gasdruck p abhängig gemäß der Beziehung:
I
= I
+
Der Faktor C wird als Empfindlichkeit des Transmitters bezeichnet. Er wird für Stickstoff (N
und ist für das logarithmisch vom Druck abhängige Ausgangssignal berücksichtigt. Die untere Mess-
grenze liegt bei 5 × 10
werden kann, wird der Emissionsstrom und die Signalverstärkung dem Druckbereich angepasst. Im ho-
hen Druckbereich wird mit kleineren Emissionsströmen und im niedrigen Druckbereich mit hohen Emis-
sionsströmen gearbeitet. Nach der Umschaltung bleibt der Druckwert für einen kleinen Moment stehen,
bis sich der neue Zustand stabilisiert hat.
Der Transmitter verfügt über zwei Filamente. Bei Defekt des ersten Filaments wird automatisch auf das
zweite Filament umgeschaltet.
Abb. 3:
F
1
IC
EC
3.1.5 Pirani-Messsystem
Die Wärmeleitfähigkeit von Gasen ist innerhalb gewisser Grenzen druckabhängig. Diese physikalische
Erscheinung nutzt das Wärmeleitungsvakuummeter nach Pirani zur Druckmessung. Als Messschaltung
dient eine selbstabgleichende Brückenschaltung. Das eigentliche Messelement ist ein dünner Wolfram-
draht. Eine geeignete Regelschaltung hält den Widerstand des Drahts und damit seine Temperatur kon-
stant. Die dem Draht zugeführte elektrische Leistung ist ein Maß für die durch Wärmeleitung im Gas
abgeführte Leistung und damit für den Gasdruck. Mit zunehmenden Druck wird die Wärmeableitung im-
mer stärker von der Konvektion und anderen Effekten überlagert, so dass in einem Bereich >100 hPa
keine genaue Druckbestimmung mit dem Pirani-Messsystem mehr möglich ist.
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ist der Punkt, bei dem das HIMS bei abfallendem Druck einschaltet. Der Aus-
on
ist der Punkt, bei dem das HIMS bei ansteigendem Druck ausschaltet. Der Übergangs-
off
und P
upper
lower
oder F
) emittierte Elektronen ionisieren eine zum Druck im Messraum proportionale An-
1
2
× p × C
e
-10
hPa. Damit der gesamte Bereich 5 × 10
IC
EC
F
V
FIL
Aufbau des Bayard-Alpert-Messsystems
und F
Filament 1 und 2 (Heißkathode)
2
Ionenauffänger (Kollektor)
Elektronenauffänger (Anodengitter)
ist der Druckbereich, in dem der Transmiter anteilig sowohl das Pira-
F
F
V
AN
V
FIL
V
AN
auf und führt ihn
+
-10
bis 1 × 10
-2
hPa sinnvoll abgedeckt
EC
F
IC
Filamentreferenzspannung
Anodenspannung
,
e
) ermittelt
2

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