Zündverzögerung; Verschmutzung - Pfeiffer Vacuum IKR 270 Betriebsanleitung

Druck für andere Gase als Luft berechnen
► Berechnen Sie den effektiven Druck nach folgender Formel:
6.3 Zündverzögerung
Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zündverzögerung. Diese Zündverzögerung
nimmt mit tieferen Drücken zu und dauert bei sauberen, entgasten Geräten typischerweise:
● 10
● 10
● 10
● 10
● 5 × 10
Die Zündung ist ein statistischer Prozess, den bereits geringe Ablagerungen auf den inneren Oberflä-
chen stark beeinflussen.
6.4 Verschmutzung
Die Verschmutzung des Transmitters ist abhängig
● vom Druck im Rezipienten
● von der Art der Prozessmedien
● von eventuell vorhandenen oder neu entstehenden Verunreinigungen und ihrem Partialdruck
● von der Betriebsdauer
Dauernder Betrieb im Bereich zwischen 10
kurzen Standzeiten und Wartungsintervallen führen. Bei dauernd tiefen Drücken (p < 1 × 10
Standzeiten > 1 Jahr bis zur Reinigung erreichbar.
Eine Verschmutzung des Transmitters führt im Allgemeinen zu Abweichungen der Messwerte:
● Im Bereich der tiefen Drücke (< 1 × 10
Verschmutzungsgrad beeinflussen
Sie können das Maß der Verschmutzung in begrenztem Rahmen beeinflussen. Bei Dämpfen, die sich
im Plasma (z. B. des Kaltkathoden-Messsystems) abscheiden, ist besondere Vorsicht geboten.
► Ergreifen Sie geometrische Schutzmaßnahmen (Abschirmbleche, Krümmer) für sich in gerader Li-
► Wählen Sie eine Flanschposition, bei der der Partialdruck der Verunreinigung minimal ist.
► Schalten Sie den Transmitter während der Anwesenheit abscheidender Dämpfe ab.
P = C × p
eff
● P
= effektiver Druck
eff
● C = Kalibrierfaktor
● p = angezeigter Druck (Transmitter abgeglichen für Luft)
-7 hPa ca. 6 Sekunden
-8 hPa ca. 1 Minute
-9
hPa ca. 5 Minuten
-10 hPa ca. 20 Minuten
-11 hPa ca. 30 Minuten
Gewährleistung
Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind,
sowie Verschleißteile (z. B. Zündhilfe), fallen nicht unter die Gewährleistung.
(z. B. Dämpfe, Prozesspartikel, etc.)
zeige (Verschmutzung des Kaltkathodensystems). Bei starker Verschmutzung treten auch Instabi-
litäten auf (Ablösen von Schichten in der Messkammer). Dies kann zu einem Kurzschluss führen.
Bei Verschmutzung durch isolierende Schichten ist sogar ein völliges Verlöschen der Gasentla-
dung möglich.
nie ausbreitende Teilchen.
oder
Schotten Sie den Transmitter während der Anwesenheit abscheidender Dämpfe durch ein Ventil
ab.
-4 -2
hPa und 10 hPa kann zu starker Verschmutzung und zu
-3
hPa) ergibt sich im Allgemeinen eine zu tiefe Druckan-
Betrieb
-6 hPa) sind
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