C: Gasartabhängigkeit - Pfeiffer Vacuum PKR 251 Betriebsanleitung

Umrechnungstabelle
Gasartabhängigkeit
C:
Anzeigebereich über 10
(reiner Pirani-Betrieb)
BG 5155 BDE / C (2017-07) PKR 251
Messsignal U
[V]
< 0.5
0.5 ... 1.82
1.82
2.0
2.6
3.2
3.8
4.4
5.0
5.6
6.2
6.8
7.4
8.0
8.6
8.6 ... 9.5
9.5 ... 10.5
-2
hPa
Angezeigter Druck (Messröhre für Luft abgeglichen)
p (hPa)
10
2
8
6
4
2
10
1
8
6
4
2
10
0
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
H O-Dampf
2
10
–2
10
–3
2 4 6
[hPa]
Sensorfehler (sensor error)
Messbereichsunterschreitung (underrange)
-9
5.0×10
-8
1.0×10
-7
1.0×10
-6
1.0×10
-5
1.0×10
-4
1.0×10
-3
1.0×10
-2
1.0×10
0.1
1.0
10
100
1000
Messbereichsüberschreitung (overrange)
Sensorfehler (Pirani defekt)
10 10
–2 –1
8 2 4 6 8 2 4 6 8
Druck p
[Torr]
-9
3.8×10 5.0×10
-9
7.5×10 1.0×10
-8
7.5×10 1.0×10
-7
7.5×10 1.0×10
-6
7.5×10 1.0×10
-5
7.5×10 1.0×10
-4
7.5×10
-3
7.5×10
-4
7.5×10
0.75
7.5
75 1.0×10
750 1.0×10
H He Ne
2
Luft
N
2
O
2
CO
CO
Ar
Freon 12
Kr
Xe
10 10 10
0 1
2 4 6 8 2 4 6 8
p (hPa)
eff
[Pa]
-7
-6
-5
-4
-3
-2
0.1
1.0
10
100
1000
4
5
2
2
25