MICRO-EPSILON FSC1/7 Betriebsanleitung Seite 30

Bedienung des FSC1/7 und FSC1000
Liegen die gemessenen Dickenwerte außerhalb des justierten Messbereichs,
gibt das System die Meldung Out of range aus.
Haben die Einzelmessungen eine größere als die voreingestellte Abweichung
(Menü Setup > Max Delta) untereinander, so war die Messung nicht
erfolgreich. Das System gibt die Meldung Diff Error aus.
Durch Verwendung des Menüpunktes Comment können den aktuellen Messergebnissen Kommentare hinzugefügt werden. Die Kom-
mentare werden in der aktuellen Datei measure_data_xy gespeichert, siehe Menü Data > View Data.
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Die Meldung „Out of range" kann auch auf die Verwendung einer nicht zum Substrat passenden
Justierdatei hindeuten.
FSC1/7, FSC1000
Abb. 35 Meldung bei gemessenen Dicken-
werten außerhalb des justierten Messbereiches
Abb. 36 Messung nicht erfolgreich
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