MICRO-EPSILON FSC1/7 Betriebsanleitung Seite 21

Bedienung des FSC1/7 und FSC1000
Betätigen Sie dafür je nach Setup-Einstellung den Taster
- am Sensor, die Messung startet ca. 300 Millisekunden nachdem Sie den
Taster losgelassen haben oder
- die Tasten 1 ... 3 am Controller, die Messung startet sofort.
Tragen Sie anschließend die Dicke der Kalibrierfolie im Feld
Thickness in Mikrometer als ganze Zahl ein.
i
Wählen Sie den Abstand zwischen den Justierpunkten in einem Bereich von ca. 100 ... 150 µm über den gesamten Messbe-
reich. Achten Sie darauf, dass die Messfläche des Sensors, die Kalibrierfolie und die Messstelle sauber sind.
Legen Sie die zweite Kalibrierfolie auf das Substrat, setzen Sie den
Sensor auf, vermeiden Sie Vibrationen/Verkippungen und lösen Sie die
Messung aus.
Betätigen Sie dafür je nach Setup-Einstellung den Taster
- am Sensor, die Messung startet ca. 300 Millisekunden nachdem Sie den
Taster losgelassen haben oder
- die Tasten 1 ... 3 am Controller, die Messung startet sofort.
Tragen Sie anschließend die Dicke der Kalibrierfolie im Feld
Thickness in Mikrometer als ganze Zahl ein.
FSC1/7, FSC1000
Abb. 17 Dicke der ersten Kalibrierfolie angeben
Abb. 18 Dicke der zweiten Kalibrierfolie angeben
Kalibrierfolie 2
Substrat
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