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Bedienung des FSC1/7 und FSC1000
5.5.4
Justage durchführen
i
Verwenden Sie ausschließlich unbeschädigte Kalibrierfolien. Verschmutzungen, Knicke, Beschädigungen innerhalb des schwar-
zen Kreises führen zu falschen Ergebnissen.
Die Folien sind auch mit einem Zertifikat erhältlich.
Eine nachträgliche Zertifizierung der Folien, auch Rezertifizierung, ist nicht möglich.
Zum Justieren auf
die Folie nur den Be-
reich innerhalb des
schwarzen Kreises
verwenden.
1
Wechseln Sie in das Menü New Calibration.
Die Justage kann gestartet werden, wenn im Statusfenster Ready angezeigt
wird.
Für eine Justage müssen Sie mindestens zwei Justierpunkte auswählen, z. B.
0 µm (= ohne Kalibrierfolie, Messung direkt auf das Substrat) und 100 µm.
Legen Sie die erste Kalibrierfolie auf das Substrat, setzen Sie den
Sensor auf, vermeiden Sie Vibrationen/Verkippungen und lösen Sie die
Messung aus.
1) Ein Einfluss durch eine mögliche Toleranz bei den Foliendicken wird bei der Justage nicht berücksichtigt.
FSC1/7, FSC1000
Sensor senkrecht auf das Substrat aufsetzen, nicht
verkippen.
Abb. 16 Justage bereit
Kalibrierfolie 1
Substrat
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