MICRO-EPSILON FSC1/7 Betriebsanleitung Seite 22

Bedienung des FSC1/7 und FSC1000
Führen Sie diesen Ablauf mit so vielen Kalibrierfolien durch wie benötigt und nutzen Sie dafür möglichst die selbe Position auf dem
Substrat. Stapeln Sie gegebenenfalls die Kalibrierfolien.
Wurden im Setup für die Parameter Measure count und Max delta Angaben gemacht, werden diese Einstellungen auch für die
Justage verwendet.
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Setzen Sie für die Justage den Parameter Max delta auf den kleinstmöglichen Wert, den Parameter Measure count auf eine
möglichst große Anzahl.
Wenn ein Messpunkt innerhalb der Justage aufgrund von Vibrationen/Verkip-
pung fehlschlägt, erfolgt nebenstehende Meldung.
Lösen Sie die Messung für diesen Justierpunkt erneut aus.
Die einzelnen Justagepunkte werden in einem Diagramm zur besseren Über-
sicht optisch dargestellt.
Abb. 19 Hinweis auf fehlgeschlagenen Justagepunkt
Drücken Sie die Schaltfläche OK, um die Justage zu speichern und zu
beenden.
Mit der Schaltfläche Remove können Sie während einer Justage einen Jus-
tierpunkt entfernen, siehe Kap. 5.5.5.
Abb. 20 Liste der Justierpunkte während einer Justage
FSC1/7, FSC1000 Seite 22