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Hinweise; Vakuumsymbole; Begriffsdefinitionen - INFICON UL1000 Originalbetriebsanleitung

Helium-dichtheitsprüfgerät
Inhaltsverzeichnis

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1.1.2

Hinweise

1.1.3

Vakuumsymbole

1.1.4

Begriffsdefinitionen

Automatische Abstimmung / Masseneinstellung
Automatische Messbereichswahl
8
Allgemeines
Tipp
Informationen zu hilfreichen Arbeitsweisen.
Hinweis: Informationen zu besonderen technischen Anforderungen, die vom
Bediener des Gerätes einzuhalten sind.
Die Hinweise zu Abbildungen bestehen aus Kapitelnummer, Abbildungsnummer und
Positionsnummer in dieser Reihenfolge. Zum Beispiel: Abb. 2-4/7 bezieht sich im
Kapitel 2 auf die Abbildung 4 und dort auf Position 7.
Nachstehend einige der gebräuchlichsten Vakuumsymbole, welche in diesem
Handbuch verwendet werden.
Vakuumpumpe, allgemein
Turbomolekularpumpe
Druckmessgerät
Ventil
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale Leckra-
tenanzeige erreicht wird. Der Steuerrechner ändert die Spannung, welche die Ionen
beschleunigt, innerhalb des ausgewählten Massenbereiches so, dass vom Ionende-
tektor ein maximaler Ionenstrom detektiert wird. Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine
automatische Einstellung der Masse.
Der Verstärkungsbereich des Vorverstärkers und die Vakuumbereiche werden auto-
matisch ausgewählt.
Die automatische Messbereichswahl ds UL1000 oder UL1000 Fab überstreicht den
gesamten Bereich oder den gesamten Leckratenbereich in Abhängigkeit von der
ausgewählten Betriebsart: Vakuummodus oder Schnüffelmodus. Nicht nur das Leck-
ratensignal, sondern auch der Druck im Prüfling (Einlassdruck PE) und der Vorvaku-
umdruck (PV) werden zu Steuerungszwecken herangezogen. Die Bereichsum-
schaltung
innerhalb
Feinbereichsumschaltung
Umschaltung des Verstärkungsfaktors im Vorverstärker.
der
Hauptbereiche
innerhalb
der
Hauptbereiche
erfolgt
durch
Ventile.
erfolgt
durch
Die
die

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Diese Anleitung auch für:

Ul 1000 fab

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