Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
Agilent Technologies TV 301 Bedienungshandbuch
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Agilent Technologies Anleitungen
  4. Pumpen
  5. TV 301
  6. Bedienungshandbuch

Agilent Technologies TV 301 Bedienungshandbuch

Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
Navigator
Pump models:
969-8918
969-8920
Kit models:
969-8824
969-8826
969-8828
969-8830
Controller model:
969-8972
87-900-946-01(H)
APRIL 2009
TV 301
969-8919
969-8921
969-8825
969-8827
969-8829
969-8831
969-8973
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies TV 301

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies TV 301

  • Seite 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies TV 301 Navigator MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH Pump models: NOTICE DE MODE D’EMPLOI 969-8918...
  • Seite 2 TV 301 Navigator...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR ................69 Pump Description ......................69 Controller Description ......................70 TECHNICAL SPECIFICATION ....................70 TV 301 NAVIGATOR OUTLINE....................71 INTERCONNECTIONS........................74 P3 - Vent ..........................74 P5 –...

  • Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

  • Seite 7: Informazioni Generali

    Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie- Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at- ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza tenzione a non lasciar cadere il TV 301 Navigator e a non sot- totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di toporlo urti vibrazioni.
  • Seite 8 SCRIPTION” nell’appendice “Technical Information”). La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere Il LED verde posto sul pannello della base del TV 301 Naviga- fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria tor indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni meccanica Varian.
  • Seite 9 ISTRUZIONI PER L'USO MANUTENZIONE SMALTIMENTO Il TV 301 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qual- siasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla di- ...

  • Seite 10: Sicherheitshinweise

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Seite 11: Allgemeine Informationen

    Richtlinie 85/399/EWG nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian für Umweltschutz. keinerlei Haftung. Modell TV 301 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum- ACHTUNG! anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem...
  • Seite 12 COMMUNICATION HINWEIS DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information"). Modell TV 301 Navigator kann nicht mittels seines Sockels Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 301 gibt befestigt werden. mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an:...

  • Seite 13: Wartung

    GEBRAUCHSANLEITUNG WARTUNG ENTSORGUNG Modell TV 301 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten werden. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-  Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) GEFAHR! angebracht.

  • Seite 14: Normes De Sécurité

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

  • Seite 15: Indications Generales

    Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par- décline par conséquent toute responsabilité en cas de non ticulièrement à ne pas laisser tomber le TV 301 Navigator et à respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
  • Seite 16 "RS232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans l'appen- dice "Technical Information"). NOTE La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 301 Le TV 301 Navigator ne peut être fixé par sa base. indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opé- rationnelles du système:...
  • Seite 17 MODE D’EMPLOI ENTRETIEN MISE AU REBUT Le TV 301 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc- ...

  • Seite 18: Indicaciones De Seguridad

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

  • Seite 19: Información General

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de se caiga el TV 301 Navigator y de no someterlo a golpes o las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no vibraciones.
  • Seite 20 DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”). El TV 301 Navigator no puede fijarse utilizando su base. El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 301 indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: ¡ATENCIÓN!
  • Seite 21 INSTRUCCIONES DE USO MANTENIMIENTO ELIMINACIÓN El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. autorizado. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE".

  • Seite 22: Indicações De Segurança

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
  • Seite 23 Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é O TV 301 Navigator é um sistema integrado, constituído por completamente reciclável e em conformidade com a norma uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
  • Seite 24 Paragem do TV 301 Navigator dispositivo ligado ao TV 301 Navigator esteja isolado Para parar o TV 301 Navigator é suficiente desligar a tensão de correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto alimentação. O controller incorporado para imediatamente a pela norma NE 61010-1.

  • Seite 25: Manutenção

    INSTRUÇÕES PARA O USO MANUTENÇÃO ELIMINAÇÃO O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a ...

  • Seite 26: Veiligheidsinstructies

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Seite 27: Algemene Informatie

    Varian acht zich niet Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 301 Navigator niet kan aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
  • Seite 28 De TV 301 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis Information”). worden bevestigd. De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 301 geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: ATTENTIE! brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;...

  • Seite 29: Afvalverwerking

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN ONDERHOUD AFVALVERWERKING Navigator onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. uitgevoerd. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE".  Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese GEVAAR! Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met...

  • Seite 30: Sikkerhedsanvisninger

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.

  • Seite 31: Generel Information

    Sørg for, at TV 301 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt ved udpakningen.
  • Seite 32 Varian monteringsudstyret. I bilaget “Technical Information”). bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 301’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: BEMÆRK konstant tændt: pumpen er i normal rotation Navigator TV 301 kan ikke fastgøres i fundamentet.

  • Seite 33: Vedligeholdelse

    BRUGSANVISNING VEDLIGEHOLDELSE BORTSKAFFELSE TV 301 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det  såkaldte EU-direktiv "WEEE". ADVARSEL! Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, Inden der foretages noget som helst indgreb på...

  • Seite 34: Säkerhetsanvisningar

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Seite 35: Allmän Information

    Se till Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av att TV 301 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av uppackningen.
  • Seite 36 (ungefär 200 ms): feltillstånd. VIKTIGT! Att stänga av TV 301 Navigator Om du vill stänga av TV 301 Navigator behöver du bara dra ut TV 301 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1.

  • Seite 37: Underhåll

    BRUKSANVISNING UNDERHÅLL BORTSKAFFNING TV 301 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-  direktivet som har betecknats som "WEEE". VARNING! Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på...

  • Seite 38: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
  • Seite 39 Når TV 301 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Seite 40 (over atmosfærisk trykk). skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med TV 301 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive "Technical Information").
  • Seite 41 BRUKERVEILEDNING VEDLIKEHOLD ELIMINERING TV 301 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-  direktiv kalt "WEEE".

  • Seite 42: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 37/90 87-900-946-01(H)

  • Seite 43: Yleisiä Tietoja

    Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 301 täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai ammattitaidottoman henkilön virheellisestä...
  • Seite 44 Varianin mekaanisten varusteiden kappale “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. “Technical Information” -liitteessä). Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 301:n perustan paneelissa, HUOM osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: TV 301 Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta.
  • Seite 45 KÄYTTÖOHJEET HUOLTO HÄVITTÄMINEN TV 301 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-  direktiivin mukaisesti. VAARA! Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) Ennen minkään...

  • Seite 46: Pdhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Seite 47 Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 301 Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ...
  • Seite 48 Bl◊pe to par£rthma Gia thn £ntlhsh polemikèn aer∂wn aut◊j oi antl∂ej e∂nai øTechnical Informationø gia perissÒterej leptom◊reiej. efodiasm◊nej me mia eidikˇ qur∂da m◊sw thj opo∂aj e∂nai anagka∂a To TV 301 pr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a prwteÚousa antl∂a dioc◊teush adranoÚj aer∂ou (Azwto ˇ...
  • Seite 49 ODHGIES CRHSHS SUNTHRHSH To TV 301 Navigator de crei£zetai kamm∂a suntˇrhsh. Χώνευση Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες. Το παρακάτω σύμβολο εφαρμόζεται σύμφωνα με την  ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονομάζεται "WEEE".

  • Seite 50: Biztonsági Útmutató

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Seite 51 Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az bármely művelet miatt történtek. EEC 85/399-es direktívának. A TV 301 Navigator egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a FIGYELEM megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.
  • Seite 52 (pl. N , Ar) stabil áramlását védelmet viselő (lásd „Technical Information”). szivattyú számára (lásd „Technical Information” függelék). A TV 301 Navigator bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 301 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti  karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely VIGYÁZAT!
  • Seite 53 HASZNÁLATI UTASÍTÁS MEGSEMMISÍTÉS KARBANTARTÁS A TV 301 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű elvégeznie. irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. szimbólum (mely csak Európai...

  • Seite 54: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
  • Seite 55 Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku uwagę aby nie spowodować upadku systemu TV 301 Navigator niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać...
  • Seite 56 COMMUNICATION DESCRIPTION” w dodatku “Technical drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych Information”). informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 301 Information” Navigator wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: INFORMACJA −...

  • Seite 57: Konserwacja

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA KONSERWACJA PRZETWORSTWO ODPADOW System TV 301 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo upoważniony personel. “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia  NIEBEZPIECZEŃSTWO! “WEEE” Unii Europejskiej.

  • Seite 58: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...

  • Seite 59: Všeobecné Informace

    PŘÍPRAVA K INSTALACI Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před Vývěva TV 301 Navigator se dodává ve speciálním ochranném použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž...
  • Seite 60 Vývěva TV 301 Navigator se musí připojit k primárnímu "Technical Information"). čerpadlu (viz "Technical Information"). Vývěvu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 301 Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze a  VÝSTRAHA! přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která...
  • Seite 61 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ÚDRŽBA LIKVIDACE Vývěìva TV 301 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným  "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) VÝSTRAHA!

  • Seite 62: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...

  • Seite 63: Všeobecné Informácie

    VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Zariadenie TV 301 Navigator sa dodáva v špeciálnom Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť...
  • Seite 64 žiadna  elektrická súčasť. VAROVANIE! Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 301 Navigator má Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď...
  • Seite 65 NÁVOD K POUŽITIU ÚDRŽBA LIKVIDÁCIA Zariadenie TV 301 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. personál. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, ...

  • Seite 66: Varnostna Navodila

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
  • Seite 67 Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 56000 Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z rpm), ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. TV 301 golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. Navigator ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
  • Seite 68 “Technical Information”. vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 301 Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: OPOMBA • Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;...

  • Seite 69: Odlaganje Opadkov

    NAVODILA ZA UPORABO VZDRŽEVANJE ODLAGANJE OPADKOV Naprave TV 301 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE".

  • Seite 70: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.

  • Seite 71: General Information

    PREPARATION FOR INSTALLATION This equipment is destined for use by professionals. The user The TV 301 Navigator is supplied in a special protective pack- should read this instruction manual and any other additional ing. If this shows signs of damage which may have occurred information supplied by Varian before operating the equipment.
  • Seite 72 Do not use the pump in presence of explosive gases. essary number of clamps IC 63250 DCMZ and the relevant fix- ing torque. Switching on and Use of TV 301 Navigator To switch on the TV 301 Navigator it is necessary to supply the FLANGE FIXING FIXING mains.
  • Seite 73 INSTRUCTIONS FOR USE MAINTENANCE DISPOSAL The TV 301 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by author- Meaning of the "WEEE" logo found in labels ized personnel. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.

  • Seite 74: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR The TV 301 Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in various models that differ in the high vacuum flange and the controller.

  • Seite 75: Controller Description

    TECHNICAL INFORMATION The pump can be water cooled or air cooled: in the Recommended mechanical: Varian DS 102 first case the customer can use the dedicated forepump mechanical: Varian DS 302 channels on the pump body, in the second case dry pump: Varian SH 110 an external optional fan is available.

  • Seite 76: Tv 301 Navigator Outline

    TV 301 NAVIGATOR OUTLINE NOTE The following figures show the TV 301 Navigator When the TV 301 Navigator has been stored at a tem- outlines (dimensions are in inches [mm]). perature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature.
  • Seite 77 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure 72/90 87-900-946-01(H)
  • Seite 78 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump Graph of nitrogen throughput test 73/90 87-900-946-01(H)

  • Seite 79: Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS J5 - IN-OUT The following figure shows the TV 301 intercon- nections. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 301 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use.

  • Seite 80: Soft Start

    TECHNICAL INFORMATION For example: SOFT START: this input is used to provide a "soft start" to the pump; in this condition the ramp-up - reference quantity: frequency time could be up to 45 min. - threshold: 500 Hz - hysteresis: 1% - activation type: "high level"...
  • Seite 81 TECHNICAL INFORMATION How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV301 Navigator to an ex- ternal system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.

  • Seite 82: J6 - Serial

    This is a 9 pin D-type serial input/output connector type where: to control via an RS 232 or RS 485 connection the • Host = MASTER TV 301. • Controller = SLAVE PIN N. SIGNAL NAME The communication is performed in the following...
  • Seite 83 TECHNICAL INFORMATION where: The controller can answers with the following re- sponse types: NOTE TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION When a data is indicated between two quotes (‘...’) After a read instruction it means that the indicated data is the correspond- Logic 1 byte of a logic window...

  • Seite 84: Window Meanings

    TECHNICAL INFORMATION Command: STOP Window Meanings Source: PC Read/ Data Description Admitted Destination: Controller Write Type Values Start/Stop Start = 1 (in remote mode Stop = 0 the window is a STX ADDR WINDOW OFF ETX read only) Remote Remote = 1 Source: Controller Serial = 0 (default) or Serial...
  • Seite 85 TECHNICAL INFORMATION Read/ Data Description Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Maximum rota- 150 to 963 CRC EPROM QE8XXXX tional frequency (QE) (where “XXXX” (default = 963) in Hz (active only are variable) in Stop condition) CRC Param.

  • Seite 86: Inlet Screen Installation

    TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol- INLET SCREEN INSTALLATION lowing figure. The inlet screens mod. 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- The following figure shows the overall flange di- ing speed by about 10%.

  • Seite 87: Heater Band Installation

    AIR COOLING KIT INSTALLATION TV 301 with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 969-9299) is available to improve the TV 301 cooling during heavy opera- tional conditions (optional). The heater band model 969-9804 and 969-9803 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed.

  • Seite 88: Water Cooling Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION To fix the fan to the TV 301 case execute the fol- WATER COOLING KIT INSTALLATION lowing procedure (see the following figure): Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient.

  • Seite 89: Vent Accessories

    The vent valve allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and en- ables an automatic vent operation. TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic...

  • Seite 90: Tv-301 Ag Rack Controller Compatible

    TECHNICAL INFORMATION To install the vent valve unscrew and remove the threaded plug (see figure below). Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, tak- ing care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in CAUTION position using the KF klamp.

  • Seite 91: Vibration Isolator Installation

    − model 969-9334 for CFF 6” flange; − model 969-9335 for CFF 8” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TV 301 Navigator to the system by a fac- tor of 20. Please refer to the relevant instruction manual.

  • Seite 92: Tv 301 Controller Installation

    TECHNICAL INFORMATION TV 301 CONTROLLER INSTALLATION Side mounting The controller can be mounted in two position: NOTE The L-shaped bracket (P/N 969-9970) is available − bottom mounting (as per the complete system) as an option. − side mounting. See the following figure.

  • Seite 93: Connection A - High Vacuum Flange

    TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend Connection A - HIGH VACUUM FLANGE using Varian hardware. To connect the Turbo-V301 pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the cen- To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- tering ring as shown in the figure.

  • Seite 94: Connection B - Fore-Vacuum Pump

    TECHNICAL INFORMATION CAUTION Connection B - FORE-VACUUM PUMP To prevent bearing damage, Varian suggests a A flange KF 16 NW is available to connect the minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 Turbo-V301 pump to the fore-vacuum pump. A mbar l/s).

  • Seite 95: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    TECHNICAL INFORMATION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC ACCESSORIES AND SPARE PARTS FIELDS DESCRIPTION PART NUMBER Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation.
  • Seite 96 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
  • Seite 97 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Seite 98 Sales and Service Offices United States and Canada Japan Other Countries Varian, Inc. Varian Technologies Japan, Ltd. Varian S.p.A. 121 Hartwell Avenue Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Lexington, MA 02421 4-16-36 Shibaura Minato-ku Via F.lli Varian, 54 Tokyo 108, Japan 10040 Leinì...

Diese Anleitung auch für:

969-8918969-8920969-8919969-8921969-8824969-8826 ... Alle anzeigen

Inhaltsverzeichnis