Überprüfen Und Reinigen Des Hochvakuumflansch-Filters; Hochvakuumflansch-Filterbaugruppe - Edwards E-Lab 2 Betriebsanleitung

A652-07-882 Ausgabe D
5.7 Überprüfen und Reinigen des Hochvakuumflansch-Filters
1. Lösen Sie den Spannring
Einlass der Pumpe.
2. Entfernen Sie den Zentrierring, die Filterbaugruppe
Pumpe. Inspizieren Sie den Zentrierring und den O-Ring. Sind diese sauber, so fahren Sie mit Schritt 7 fort,
andernfalls mit Schritt 3.
3. Nehmen Sie den O-Ring (2) vom Zentrierring und der Filterbaugruppe (1) ab. Der O-Ring darf nicht mit der
Reinigungslösung in Berührung kommen.
4. Reinigen Sie den Zentrierring und die Filterbaugruppe in einer geeigneten Reinigungslösung, und lassen
Sie sie trocknen.
5. Wischen Sie den O-Ring erforderlichenfalls mit einem sauberen, trockenen, fusselfreien Tuch ab.
6. Bringen Sie den O-Ring (2) wieder am Zentrierring und der Filterbaugruppe (1) an.
7. Bringen Sie O-Ring, Zentrierring und Filterbaugruppe wieder am Einlass an.
8. Bringen Sie die Ansaug-Kondensatfalle
Sie sie mit dem Spannring (20).
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(Abbildung 4, Ziffer 20), und entfernen Sie die Ansaug-Kondensatfalle (24) vom
(Abbildung 4, Ziffer 24) am Hochvakuumflansch (19) an, und sichern
Abbildung 9 - Hochvakuumflansch-Filterbaugruppe
1. Zentrierring und Filterbaugruppe
2. O-Ring
3. Hochvakuumflansch
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(Abbildung 9, Ziffer 1) und den O-Ring (2) vom Einlass der
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