MicroSpotMonitor MSM
ACHTUNG
Beschädigung/Zerstörung des Gerätes
Verschmutzungen können die optischen Bauteile beschädigen oder zerstören.
X Öffnen Sie das Gerät nur in staubfreier Umgebung.
13.2
Auswahl und Wechsel der Messobjektive
13.2.1
Auswahl des Messobjektivs
Die richtige Auswahl des Messobjektivs ist für die Qualität der Messung mit dem MicroSpotMonitor MSM von
entscheidender Bedeutung.
Das Messobjektiv muss möglichst optimal auf die Wellenlänge, die Numerische Apertur und die zu vermes-
sende Fokusgröße abgestimmt sein.
Weiterhin werden die Einsatzmöglichkeiten der Messobjektive begrenzt durch die Sensor- und die Pixelgröße
(siehe Kapitel 21.4.1 auf Seite 121).
10x + SWV
10x+SWV
10x
10x
5x + SWV
5x+SWV
5x
5x
3,3x+SWV
3,3x + SWV
3,3x
3,3x
1
1
Abb. 13.1:
Einsatzgebiete der Messobjektive
In Abb. 13.1 auf Seite 83 ist das Einsatzgebiet verschiedener Messobjektiven dargestellt. Die Abbildung
ermöglicht eine erste schnelle Auswahl des richtigen Messobjektivs.
Revision 01/2019 DE
10
10
Spotdurchmesser in µm
Strahldurchmesser in μm
100
100
1000
1000
83