13.2.3
Zerstörschwellen
Die Einsatzgrenzen des MicroSpotMonitor MSM ergeben sich aus den Zerstörschwellen der optischen
Komponenten. Wie in Kapitel 21.4.1 auf Seite 121 beschrieben, müssen hierbei zwei unterschiedliche Fälle
betrachtet werden.
ACHTUNG
Beschädigung/Zerstörung des Messobjektivs
Durch zu hohe Leistungsdichte kann das Messobjektiv zerstört werden.
X Bitte beachten Sie, dass die Leistungsdichte I auf der ersten Linse kleiner
~10 MWatt/cm² (cw) bzw. ~100 MWatt/cm² (gepulst) ist.
X Die mittlere Leistung sollte 250 Watt nicht überschreiten.
Die Leistungsdichte I berechnet sich nach folgender Formel:
Abb. 13.4:
Formel zur Berechnung der Leistungsdichte I
•
Wird der Fokus unterhalb der Messebene (zu nahe am Messobjektiv) platziert, steigt die Leistungsdichte
auf der ersten Linse des Messobjektivs.
•
Liegt der Fokus oberhalb der Messebene, entsteht im Gerät ein Zwischenfokus. Liegt der Laserstrahl-
fokus zu weit über der Messebene kann dieser Zwischenfokus in einem Bereich entstehen, in dem der
Strahl noch nicht ausreichend abgeschwächt wurde. Dies kann zu Schäden im bildseitigen Strahlengang
führen.
Die Größe und Lage des Bereiches, in dem der Fokus vor der ersten Messung zu positionieren ist, ist von
der Wahl des Messobjektivs, der verwendeten Wellenlänge und von der Art der Fokussierung abhängig.
Das Diagramm in Tab. 13.2 auf Seite 87 zeigt, dass die oberen Grenzen für die stark vergrößernden
Messobjektive sehr viel enger gefasst sind, als die der 3,3-fach vergrößernden.
Die untere Grenze ergibt sich, für konvergenten Strahleinfall, aus der Leistungsdichte des Laserstrahls auf
der ersten Linse. Diese ist eine Funktion aus der Laserleistung, der Fokussierung, der Beugungsmaßzahl M
und dem Rohstrahldurchmesser.
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MicroSpotMonitor MSM
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Revision 01/2019 DE