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22.1.2
Nicht rotationssymmetrische Strahlen
Um nichtrotationssymmetrische Strahlen beschreiben zu können, werden folgende Strahlparameter benötigt.
•
die z-Positionen der Strahltaille (Fokus) z
•
die Durchmesser der Strahltaille d
die Fernfelddivergenzwinkel Θ
•
den Winkel ϕ zwischen der x-Achse des Messsystems und der x-Achse des Strahls (die x-Achse des
•
Strahls ist jede, die am nächsten zur x-Achse des Messsystems liegt.)
Strahlkoordinatensystem (x, y)
y-Achse
x-Achse
Gerätekoordinatensystem (x, y)
Abb. 22.2:
Strahlparameter des nichtrotationssymmetrischen Strahls
Mit Hilfe der oben genannten Parametern lassen sich alle Strahlen, die sich durch zwei zueinander senkrecht
stehenden Achsen charakterisieren lassen, beschreiben.
Die weiteren Strahlparameter, wie die K-Zahl oder die Beugungsmaßzahl, werden richtungsabhängig mit den
selben Gleichungen berechnet, wie die der rotationssymmetrischen Strahlen. Es ergeben sich somit stets
zwei Parameter wie z. B. Kx und Ky.
142
und z
x
y
und d
σ0x
σ0y
und Θ
σx
σy
x-Achse
MicroSpotMonitor MSM
Revision 01/2019 DE
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