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MicroSpotMonitor MSM
7.2.2
Positionierung des fokussierten Laserstrahls über dem Messobjektiv
Der Messebenenabstand entspricht der Entfernung der Messebene von der Oberkante des Messobjektivs
bzw. des Schutzglases.
Um den MicroSpotMonitor MSM unter dem Laser besser ausrichten zu können, wird mit jedem Messobjektiv
eine entsprechende Ausrichthilfe geliefert. Mit dieser Ausrichthilfe und einem Pilotlaserstrahl können Sie das
Gerät mit der nötigen Genauigkeit positionieren.
1. Setzen Sie die Ausrichthilfe direkt auf das Messobjektiv (siehe .Abb. 7.2 auf Seite 19) oder auf den
Schutzglashalter auf dem Messobjektiv (siehe Abb. 7.3 auf Seite 19).
•
Der obere Rand des Messobjektivs entspricht der z-Position der Messebene.
•
Beim Verwenden eines Schutzglases mit 1,5 mm Dicke wird die Messebene um ca. 500 µm nach oben
verschoben.
2. Schalten Sie den Pilotlaser an. Trifft der Laserstrahl senkrecht auf die Markierung in der Ausrichthilfe, wird
dieser mittig auf dem CCD-Sensor abgebildet.
Markierung in der Ausrichthilfe
10x
Abb. 7.2:
Ausrichthilfen zum direkten Aufsetzen auf das Messobjektiv
Markierung in der Ausrichthilfe
10x
Abb. 7.3:
Ausrichthilfen zum Aufsetzen auf den Schutzglashalter am Messobjektiv
Revision 01/2019 DE
5x
5x
3,3x
3,3x
19
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