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Die Grenzen, die für die Standardobjektive gelten, sind zusammen mit einigen weiteren Daten der
Messobjektive in der nachstehenden Tabelle zusammengefasst.
Objektiv
NA
F
Max. Messfenster
3,3x
0,1
5
1,4 mm
5x
0,2
910 μm
10x
0,2
2
510 μm
Objektiv
NA
F
Max. Messfenster
3,3x
0,1
5
800 μm
5x
0,2
550 μm
10x
0,2
2
320 μm
Objektiv
NA
F
Max. Messfenster
3,3x
0,1
5
4 mm
5x
0,2
2,75 mm
10x
0,2
2
1,6 mm
Tab. 13.1:
Messobjektivdaten
NA = Numerische Apertur
F
= Fokussierzahl (siehe Abb. 13.5 auf Seite 87)
Mit Hilfe dieser Tabelle können Sie eine passende Auswahl des Messobjetivs treffen. Die Werte gelten für die
Wellenlänge 1 064 nm (bei anderen Wellenlängen weichen die Werte leicht ab).
84
Standard
Min. Auflösung
Min. Strahldurchmesser
1,4 μm
30 μm
0,9 μm
20 μm
0,5 μm
11 μm
Mit Strahlwegverlängerung (SWV)
Min. Auflösung
Min. Strahldurchmesser
0,8 μm
17,5 μm
0,5 μm
12 μm
0,3 μm
7 μm
Mit Justageobjektiv (JO)
Min. Auflösung
Min. Strahldurchmesser
3,9 µm
90 µm
2,7 µm
60 µm
1,6 µm
35 µm
MicroSpotMonitor MSM
Max. Strahldurchmesser
1 mm
650 μm
350 μm
Max. Strahldurchmesser
550 μm
380 μm
220 μm
Max. Strahldurchmesser
2,8 mm
2 mm
1,1 mm
Revision 01/2019 DE
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