Inbusschraube
Prozessfenster
zu reinigende Oberfläche
9.1.3
Reinigung des Einsatzrohrs
Da Einsatzrohre in Prozessen mit hoher Partikelfracht eingesetzt werden, kann sich bei länge-
rem Gebrauch Staub etc. innen an der Spitze im Einsatzrohr ansammeln. Daher sind Einsatzroh-
re regelmäßig zu reinigen.
Gehen Sie bei der Reinigung wie folgt vor:
(1) Schalten Sie den TDLS8000 aus.
(2) Stoppen Sie die Spülgaszufuhr zum Prozessfenster.
(3) Bauen Sie den TDLS8000 aus.
installiert).
(5) Nehmen Sie das Einsatzrohr heraus.
(6) Entfernen Sie Staub etc., der sich innen an der Spitze im Einsatzrohr angesammelt hat.
Falls erforderlich, nehmen Sie ein mildes Reinigungsmittel zu Hilfe.
(7) Bauen Sie das Einsatzrohr wieder ein.
sofern installiert).
(9) Bauen Sie den TDLS8000 wieder ein und schalten Sie die Spannungsversorgung ein.
(10) Justieren Sie die optische Achse.
O-Ring
Unterlegscheibe
<9. Inspektion und Wartung>
Durchflusszelle
Durchflusszelle
IM 11Y01D01-01D-E
9-5
1. Ausgabe: 31. Juli, 2015-00