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Installation
5 Installation
5.1 Vakuumanschluss herstellen
Lebensgefahr durch Stromschlag
Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich.
► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer.
► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach
► Verwenden Sie für KF-Anschlüsse elektrisch leitende Zentrier- und Spannringe.
► Ergreifen Sie für einen 1/2"-Rohr-Anschluss geeignete Maßnahmen, um die Anforderungen zu
Verletzungsgefahr durch Überdruck im Vakuumsystem
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem > 1000 hPa führt zu Verletzungen
durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium.
Bei KF-Anschlüssen halten elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) einem Druck > 2500 hPa nicht
stand. Dies führt zu Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium.
► Öffnen Sie keine Spannelemente, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht.
► Verwenden Sie für Überdruck geeignete Spannelemente.
► Verwenden Sie Spannelemente, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen
► Verwenden Sie Dichtringe mit einem Außenzentrierring.
Vergiftungsgefahr durch Austritt toxischer Prozessgase
Starke mechanische, chemische oder thermische Beanspruchung verursacht Lecks im Sensor. Bei
Prozessen mit toxischen Prozessmedien besteht Vergiftungs- und Lebensgefahr durch Austritt ge-
fährlicher Stoffe bei Überdruck im Vakuumsystem.
► Vermeiden Sie starke mechanische, chemische oder thermische Beanspruchung.
► Vermeiden Sie Überdruck im Vakuumsystem.
► Treffen Sie geeignete Maßnahmen um Gefahren oder Schäden durch austretendes Prozessme-
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
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GEFAHR
EN 61010 entspricht.
erfüllen.
WARNUNG
(z. B. Spannband-Spannring).
WARNUNG
dium zu vermeiden, z. B. durch Gaszufuhrunterbrechung, Absaugung oder Lecktest.
derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
HINWEIS
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