HK-01-05-09 11/1999
9.8.1 Übersicht
9
8
7
6
5
Bild 9-126:
HL 1003D, Laserkühlung, Ansicht von vorne
1
Partikelfilter (3x)
2
Ionenfilter
3
Tank
4
Pumpe
5
Wärmetauscher
9.8
Wartungsarbeiten an der Kühlung
1
6
CLK-Box
7
Schmutzfänger
8
Meßstrecken (4x)
9
Magnetventile (2x)
(HL 1003D)
2
3
4
9-125