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9 Wartung
9.1 Sicherheitshinweise zur Wartung
Gefahr für die Gesundheit aufgrund von Restspuren der Prozessgase in der Pumpe
Prozessgase sind toxisch und gesundheitsschädlich. Sie können zu Vergiftungen und Tod führen.
Vor Tennen der Pumpe müssen alle Reste von Prozessgasen entfernt werden.
► Die Anlage (Pumpanlage) muss 30 Minuten lang mit einem Stickstoffstrom mit dem glei-
Vergiftungsgefahr bei Kontakt mit toxischen Substanzen und Abfallprodukten, die vom Pro-
zess erzeugt werden
Die Vakuumpumpe, die Komponenten der Pumpleitung und die Betriebsflüssigkeiten können je nach
Verfahren durch toxische, korrosive, reaktive und/oder radioaktive Stoffe kontaminiert werden. Jeder
Kontakt mit den kontaminierten Teilen oder Abfallprodukten, die vom Prozess erzeugt werden, kön-
nen gesundheitsschädlich sein und zu einer Vergiftung führen.
► Geeignete Schutzausrüstungen muss getragen werden, wenn die Pumpe bei Wartung, Befüllen
► Stellen Sie eine ausreichende Belüftung sicher oder führen Sie die Wartungsarbeiten unter einer
► Entsorgen Sie Abfallprodukte/Rückstände nicht wie üblichen Abfall; lassen Sie sie, falls erforder-
► Verschließen Sie alle Anschlüsse mit luftdichten Blindflanschen (das Produkt wird mit Blind-
Schnittgefahr bei Kontakt mit scharfen Ecken über den Hochvakuumflansch
Zu scharfkantigen Komponenten kann man über den Einlassflansch gelangen. Rotor- und Stator-
schaufeln der Turbomolekularpumpen haben sehr scharfe Kanten.
► Bevor Sie Arbeiten am Produkt durchführen, warten Sie, bis die Pumpe vollständig stillsteht.
► Belassen Sie stets den Splitterschutz im Einlassgehäuse, da er die Verletzungsgefahr minimiert.
► Tragen Sie stets Schutzhandschuhe gemäß der Norm EN ISO 21420.
► Trennen Sie den Hochvakuumflansch niemals, bevor der Rotor nicht vollständig stillsteht.
Stromschlaggefahr durch Berührung bei Wartungs- oder Revisionsarbeiten
Es besteht eine Stromschlaggefahr bei Berührung mit einem eingeschalteten Produkt, das nicht gal-
vanisch getrennt ist.
► Vor Ausführung von Arbeiten stellen Sie den Netzschalter auf O.
► Trennen Sie das Stromkabel vom Stromnetz.
► Sichern Sie die Anlage fachgerecht durch die entsprechende Sicherungsvorrichtung (LO/TO),
Verbrennungsgefahr bei Kontakt mit heißen Oberflächen
Die Temperatur der Komponente bleibt auch nach dem Abschalten der Pumpe erhöht. Es besteht
das Risiko von Verbrennungen bei Kontakt mit heißen Oberflächen, vor allem am Pumpenauslass.
► Vor Arbeiten warten Sie, bis das Produkt vollständig abgekühlt ist.
► Schutzhandschuhe müssen gemäß der Norm EN ISO 21420 getragen werden.
GEFAHR
chen Druck und Durchfluss wie beim Prozess selbst gespült werden.
GEFAHR
mit Betriebsflüssigkeit oder Entleerung von die Pumpleitung getrennt wird.
Absaughaube durch.
lich, von einem qualifizierten Unternehmen beseitigen.
flanschen geliefert, die auch als Zubehör verkauft werden).
WARNUNG
WARNUNG
um ein unbeabsichtigtes Wiedereinschalten zu verhindern.
WARNUNG
Wartung
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