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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum ATP 1603 M
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum ATP 1603 M
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Übersetzung des Originals ATP 1603 M Magnetgelagerte Turbopumpe...
- Seite 2 Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
- Seite 3 Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Betroffene Produkte Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text 1.3.2 Piktogramme 1.3.3 Aufkleber 1.3.4 Abkürzungen Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise in Bezug auf entzündliche/pyrophore Materialien Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Transport und Lagerung Annahme des Produkts Handhabung der Pumpe Lagerung...
- Seite 4 7.4.1 Pumpe von der Anlage trennen 7.4.2 Entleeren des Wasserkreislaufs 7.4.3 Pumpe für den Versand vorbereiten Außerbetriebnahme Abschalten für längere Zeit Wiederinbetriebnahme Entsorgung Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Zubehöre Ersatzteile Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines 12.2 Technische Eigenschaften 12.3 Eigenschaften der Umgebung 12.4 Eigenschaften des Kühlwassers...
- Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Auf die Anlage ausgeübte Lasten Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch) Tab. 3: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 4: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 5: Eigenschaften der Umgebung Tab. 6: Eigenschaften des Kühlwassers Tab. 7: Eigenschaften des Stickstoffgases Tab.
- Seite 6 Abb. 3: Betriebspositionen Abb. 4: Horizontale Installation der Pumpe Abb. 5: Installation des Pumpeneinlasses nach oben weisend Abb. 6: Spülflussdiagramm Abb. 7: Abmessungen ATP 1603 M mit OBC Abb. 8: Abmessungen des Magnetventils Spülung Abb. 9: Abmessungen des Einlassventils 6/56...
- Seite 7 Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
- Seite 8 Zu dieser Anleitung Hinweis Tipp 1.3.3 Aufkleber PURGE Anschluss des Spülkreises PUMP EXHAUST Pumpenauslass WATER MAX Pr 7 bar/101 psi Max. Druck des Wasserkreislaufs WATER Anschluss Wasserkreislauf Anschluss Funktionserdung Verriegeln des Anschlusses vor dem Verwenden der Pumpe. Erst trennen, wenn die Pumpe gestoppt hat LOCK Drehrichtung des Pumpenrotors Typenschild (Beispiel)
- Seite 9 Zu dieser Anleitung Dieser Aufkleber warnt Benutzer, dass sie Gefahr laufen, ver- letzt zu werden, wenn ihre Hände mit einer heißen Oberflä- che in Berührung kommen: Schutzhandschuhe müssen bei Arbeiten an der Pumpe stets getragen werden. Dieser Aufkleber warnt den Benutzer vor gepumpten Pro- zessgasen, die gefährlich oder giftig sein und zu Verletzun- gen oder zum Tod führen können.
- Seite 10 Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
- Seite 11 ► Halten Sie die in dieser Anleitung beschriebene Installationsanleitung strikt ein. Pfeiffer Vacuum ist bei Nichteinhaltung der Installationsanleitung von der Gewährleistung und Haftung befreit. ► Verwenden Sie nur die von Pfeiffer Vacuum für den Anschluss der Anlage zugelassenen Origi- nalteile (siehe „Zubehör“).
- Seite 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr bei Kontakt mit unter Druck stehendem Stickstoff Das Produkt verwendet unter Druck stehenden Stickstoff als Spülgas. Nicht konforme Anlagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer gefährden. ► Installieren Sie ein Handventil im Kreislauf in einem Abstand von 3 m vom Produkt, so dass die Stickstoffzufuhr gesperrt werden kann.
- Seite 13 Sicherheit 2.3 Sicherheitshinweise in Bezug auf entzündliche/pyrophore Materialien Der Benutzer und/oder der Integrator ist/sind allein für die Sicherheit der Pumpenanlage, des Geräts und des Gasabsaugsystem verantwortlich. Der Benutzer und/oder der Integrator ist/sind für die Anwen- dung verantwortlich, die das Produkt verwendet. Das Pumpen pyrophorer oder entzündlicher Gase kann gefährlich sein.
- Seite 14 ● Die Turbomolekularpumpe muss mit einer geeigneten Vorpumpe kombiniert werden. ● Die Vakuumpumpe muss in der Industrieanlage integriert sein. ● Die Pumpe muss mit einer OBC-Antriebselektronik von Pfeiffer Vacuum betrieben werden. Wenn die Pumpe in einer Industrieanlage integriert ist, wird sie zu einer Pumpenkomponente: Der Produktintegrator dieser Komponente muss dem Bediener alle Sicherheitsmaßnahmen, ins-...
- Seite 15 Sicherheit ● Verwenden der Vakuumpumpe zur Druckerzeugung ● Verwenden in Bereichen mit ionisierender Strahlung ● Verwenden in unzulässig hohen Magnetfeldern ● Verwenden von Vorrichtungen in Systemen, in denen schlagartige Belastungen oder Schwingun- gen oder periodisch auftretende Kräfte die Vorrichtungen beeinträchtigen 15/56...
- Seite 16 Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Annahme des Produkts Lieferbedingungen ● Vergewissern Sie sich, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. ● Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. ►...
- Seite 17 Transport und Lagerung Heben der Pumpe an ihren Ringen 1 Band Hebering Heben der Pumpe mit nach oben weisendem Einlass Bei Handhabung der Pumpe muss eine dem Gewicht des Produkts angemessene Hebevorrich- tung verwendet werden. Das Gewicht und der Schwerpunkt variieren abhängig vom Modell (Siehe Kapitel „Abmessungen“).
- Seite 18 Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4.1 Produktidentifizierung Um das Produkt korrekt zu identifizieren, wenn Sie mit unserem Servicecenter sprechen, halten Sie stets die Informationen bereit, die auf dem Typenschild stehen (siehe Kapitel „Aufkleber“). 4.1.1 Lieferumfang ● 1 Magnetgelagerte Turbopumpe ● 1 Splitterschutzfilter (im Ansaugflansch der Pumpe) ●...
- Seite 19 Produktbeschreibung 4.2 Die Mensch-Maschinen-Schnittstelle 1 Splitterschutzfilter Pumpenauslass (Pump exhaust) 2 Ansaugflansch (Hochvakuumflansch) Neutralgasspülung (Purge) 3 Elektrischer Anschlussstecker Funktionserdung 4 Wasseranschluss IN/OUT 19/56...
- Seite 20 ► Halten Sie die in dieser Anleitung beschriebene Installationsanleitung strikt ein. Pfeiffer Vacuum ist bei Nichteinhaltung der Installationsanleitung von der Gewährleistung und Haftung befreit. ► Verwenden Sie nur die von Pfeiffer Vacuum für den Anschluss der Anlage zugelassenen Origi- nalteile (siehe „Zubehör“).
- Seite 21 Installation 5.1.1 Installationsvorschriften Turbo Abb. 1: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage 1 Vakuumkammer Rahmen 2 Anlage Sicherer Verankerungspunkt Beschreibung eines plötzlichen Blockierungsszenarios Die kinetische Energie des Rotors muss von der Anlage absorbiert werden, wenn die Pumpe plötzlich blockiert. Die maximal resultierenden Lasten wurden auf einem Prüfstand gemessen, indem die schlimmstmögliche Blockierung der Turbopumpe mit einem Aufteilen des Rotors in zwei Teile simuliert wurde, wobei sich die Pumpe mit Nenndrehzahl drehte.
- Seite 22 Installation Zeit ms Abb. 2: Diagramm der auf die Anlage ausgeübten Lasten 1 Turbopumpe Pendelschieber Eigenschaften Einheit ATP 1603 M Nenndrehzahl 37000 Energie Drehmoment (C) Max. kN·m < 25 Dauer ms Verzögerung ms Biegemoment (B) Max. kN·m < 10 Dauer ms Verzögerung ms...
- Seite 23 Installation Art des Ansaugflansches DN200 ISO-F DN200 CF-F Anziehdrehmoment je Schrau- N·m Antriebsdrehmoment 161500 266000 Länge der Schrauben 1) Die Art, Anzahl, der Grad und das Anziehdrehmoment der Schrauben sind ausschließlich und obligatorisch. Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch) Der Hersteller empfiehlt die Verwendung eines Satz Schrauben, die für diesen Zweck entwickelt wur- den (Zubehör).
- Seite 24 Installation Positionieren der Pumpe 1. Handhaben der Pumpe (siehe Kapitel „Handhabung der Pumpe“). 2. Befestigen und sichern Sie die Befestigungen der Turbomolekularpumpe, um die Sicherheit des Bedieners und die Betriebssicherheit zu garantieren (siehe Kapitel „Installationsvorschriften“). 3. Bringen Sie die Sicherheitsaufkleber in der Sprache des Betreibers an den am besten geeigneten und sichtbaren Stellen an der Pumpe an, um den Betreiber vor folgenden potentiellen Risiken zu warnen.
- Seite 25 Installation Abb. 5: Installation des Pumpeneinlasses nach oben weisend 1 Hubtisch (Beispiel) Installation des Pumpeneinlasses nach oben weisend Bei Handhabung der Pumpe muss eine dem Gewicht des Produkts angemessene Hebevorrich- tung verwendet werden. Das Gewicht und der Schwerpunkt variieren abhängig vom Modell (Siehe Kapitel „Technische Daten“...
- Seite 26 Installation Allgemeine Anweisungen für die Installation der Pumpe in eine Anlage in Übereinstimmung mit den besten Praktiken der Branche (Industrie) Die Anschlüsse am Ein- und Auslass dürfen keine übermäßige Belastung auf den Pumpenleitung aus- üben, was zu Lecks führen könnte. 1.
- Seite 27 Installation 5.3.2 Auslass der Pumpe WARNUNG Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit der Pumpe verwendet werden. Prozess- gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen können.
- Seite 28 Installation WARNUNG Verletzungsgefahr bei Kontakt mit unter Druck stehendem Wasser Das Produkt verwendet unter Druck stehendes Wasser als Kühlflüssigkeit. Nicht konforme Anlagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer gefährden. ► Installieren Sie ein Handventil im Kreislauf in einem Abstand von 3 m vom Produkt, so dass die Wasserzufuhr gesperrt werden kann.
- Seite 29 Installation Stellen Sie einen Kühlwasserkreislauf und einen Hahn zum Anpassen des Durchsatzes bereit. 1. Schließen Sie den Wassereinlasskreis an den Anschluss WATER IN und den Wasserauslass an den Anschluss WATER OUT des Entleerungskreises der Pumpe an. 2. Überprüfen Sie, dass im Wasserkreislauf oder an den Anschlüssen zum Wasserkreislauf keine Lecks vorhanden sind.
- Seite 30 Installation Durchfluss (SCCM) Absolut Ansaugdr uck ( h Pa 1000 1100 1200 1300 1400 1500 Abb. 6: Spülflussdiagramm 1 Durchflussreduzierung – 50 sccm Spülgasvorrichtung 50 sccm Der Betrieb dieser Spülung erfolgt durchgehend. Die Spülreduzierung garantiert einen Durchfluss von 50 ؘsccm bei einem Druck von 1,1 · 10 hPa.
- Seite 31 Installation Die Pumpen kann bei angehaltener Pumpe geschlossen werden, um eine Dichtheitsprüfung an der An- lage durchzuführen. 1. Entfernen Sie den Staubfilter vom Magnetventil. 2. Schließen Sie stattdessen die Inertgasleitung an. 3. Verkleben Sie den Anschluss mit öl- und wasserfestem Kleber oder wickeln Sie PTFE-Dichtband um das Gewinde.
- Seite 32 Installation 5.8 Anschluss an die Stromversorgung WARNUNG Gefahr eines Stromschlags aufgrund von nicht konformen elektrischen Anlagen Dieses Produkt verwendet Netzspannung für seine Stromversorgung. Nicht konforme elektrische An- lagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer ge- fährden.
- Seite 33 Installation ► Korrigieren Sie die Ursache der Störung. ► Schalten Sie den Strom wieder ein. – Netzschalter der Antriebselektronik auf I. 5.8.1 Schutz der elektrischen Installation Schutz mittels Schutzschalter Der Stromkreis, der für die Stromversorgung der Pumpe verwendet wird, muss mit einem Schutzschal- ter der Klasse D gemäß...
- Seite 34 Betrieb 6 Betrieb 6.1 Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden WARNUNG Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit der Pumpe verwendet werden. Prozess- gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen können.
- Seite 35 Betrieb 6.2 Inbetriebnahme der Pumpe 6.2.1 Einschalten ► Stellen Sie den Netzschalter der Antriebselektronik auf I: Die Antriebselektronik schaltet sich ein. 6.2.2 Start der Pumpe Die folgenden Schritte beschreiben den Verwenden der Pumpe ungeachtet der Steuerschnittstelle: ● Verwenden per HHR. ● Verwenden per REMOTE-Steuerung. ●...
- Seite 36 Betrieb 6.3 Abschalten der Pumpe 6.3.1 Abschalten der Pumpe HINWEIS Risiko der Beschädigung der Pumpe durch Erzeugung eines Lichtbogens Die Pumpe und ihre Antriebselektronik dürfen nicht vom elektrischen Netz abgeschaltet werden, be- vor der Rotor vollständig stillsteht und die Antriebselektronik vom Netz getrennt wurde: ein Lichtbo- gen wird erzeugt, wenn der Kreis unterbrochen wird, so dass interne Komponenten beschädigt wer- den können.
- Seite 37 Betrieb Wenn die Stromversorgung wieder hergestellt wird, bevor die Mindestdrehzahl erreicht wird, nimmt die Pumpe ihre anfängliche Geschwindigkeit ohne jede Unterbrechung wieder auf. Der Zähler der Kugella- ger zählt nicht herunter. Andernfalls, wenn die Mindestdrehzahl erreicht wird, bevor die Stromversorgung wieder hergestellt wird: ●...
- Seite 38 Wartung 7 Wartung 7.1 Sicherheitshinweise zur Wartung GEFAHR Gefahr für die Gesundheit aufgrund von Restspuren der Prozessgase in der Pumpe Prozessgase sind toxisch und gesundheitsschädlich. Sie können zu Vergiftungen und Tod führen. Vor Tennen der Pumpe müssen alle Reste von Prozessgasen entfernt werden. ►...
- Seite 39 Warnung ausgelöst: Die Hilfslager müssen unbedingt ausgetauscht werden. Wenn es zu weiteren Landungen kommt, geht der Zähler weiter nach unten bis auf 0 %. Diese Lager müssen von einem Pfeiffer Vacuum Servicecenter ausgetauscht werden. Rotor der Pumpe Die Lebensdauer des Pumpenrotors ändert sich mit den Betriebsbedingungen und den Anwendungen.
- Seite 40 6. Installieren einer neuen Pumpe (siehe Kapitel „Installation“). Machen Sie sich mit dem Verfahren der Service-Anforderung vertraut und füllen Sie die Kontaminati- onserklärung aus, wenn Produkte an unser Servicecenter zurückgesendet werden (siehe Kapitel “Ser- vicelösungen von Pfeiffer Vacuum”, Seite 45). 40/56...
- Seite 41 Wartung 7.4.1 Pumpe von der Anlage trennen Erinnerung an die Risiken und Sicherheitsmaßnahmen ● Beachten Sie die Sicherheitshinweise für Wartungsarbeiten. ● Befolgen Sie die speziellen Sicherheitshinweise gemäß den lokalen Gesetzen; diese Informationen werden von der Abteilung für Gesundheitsschutz und Arbeitssicherheit des Kunden bereitgestellt. Verfahren für das Trennen 1.
- Seite 42 Wartung dem über Anschlusszubehör verfügen, damit die Pumpe dicht versiegelt werden kann (siehe „Zube- hör“). 30’ 10’ A Vollständiges Spülen Druckbeaufschlagen der Pumpe B Spülen von Spülung/Einlass Vollständiges Spülen 1. Installieren Sie den mit dem Injektor ausgestatteten Blindflansch an den Anschluss „PURGE“. 2.
- Seite 43 Ansammlung von Prozessgasen im abgeschalteten Gerät Alle Prozesspumpen wurden für den Dauerbetrieb in Pumpanwendungen mit Prozessgasen entwi- ckelt und sollten nicht gestoppt werden. Pfeiffer Vacuum lehnt jegliche Gewährleistungen für die Kon- densation von Abfallprodukten, die Ansammlung von Pulver oder die Korrosion innerhalb der Pumpe für Prozesspumpen ab, die für längere Zeit abgeschaltet werden.
- Seite 44 Außerbetriebnahme Unsere Produkte enthalten verschiedene Werkstoffe, die recycelt werden können: Stahl, Edelstahl, Alu- minium, Nickel, Kupfer, fluorierte Elastomere, PTFE, FEP und Elektronikbaugruppen. Besondere Vor- sichtsmaßnahmen sind erforderlich bei: ● Fluorierten Elastomeren, die sich zersetzen können, wenn sie hohen Temperaturen ausgesetzt sind.
- Seite 45 Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
- Seite 46 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
- Seite 47 Zubehöre 10 Zubehöre Zubehör Funktion Beschreibung Abmessung Bestellnr. Absperrventil Dieses Ventil wird verwendet, um Handventil siehe Herstellerkatalog das Vakuum in der Pumpe zu er- halten und in der Pumpleitung zu isolieren. Kupferdichtung für Diese Dichtung stellt die luftdichte DN 200 CF-F 303293 CF-F-Ansaugflansch Verbindung zwischen dem CF-F-...
- Seite 48 Ersatzteile 11 Ersatzteile Beschreibung Bestellnr. Kommentare Staubfilter 106229 für Spülventil und Lufteinlassventil 24 V DC Spule 038066 für Spülventil und Lufteinlassventil 48/56...
- Seite 49 Technische Daten und Abmessungen 12 Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbomolekularpumpen: ► Vorgaben des PNEUROP Komitees PN5. ► ISO 21360; 2007: „Vakuumtechnik – Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Va- kuumpumpen – Allgemeine Beschreibung“...
- Seite 50 Technische Daten und Abmessungen Technische Daten Einheiten ATP 1603 M Einlassdruck max. 4 · 10 2.7 · 10 Vorvakuum max, am Auslass Enddruck < 1 · 10 Nenndrehzahl 37000 (616) (Hz) Stand-by-Drehzahl 15000 (250) (Hz) Ausheiztemperatur °C Leckrate hPa l/s 5 ·...
- Seite 51 < 0.1 ppm v Absoluter Druck 1 · 10 to 1.5 · 10 Tab. 7: Eigenschaften des Stickstoffgases 12.6 Elektrische Eigenschaften Eigenschaften des dreiphasigen Motors ATP 1603 M Spannung zwischen den Phasen 44 Vrms Netzfrequenz 1234 Hz Phasenstrom 10 A Tab. 8: Elektrische Eigenschaften der Pumpe Ausschaltvermögen des Hauptschalters bei Kurzschluss...
- Seite 52 DN 16 ISO-KF Purge 74.9 1/4 NPT Female 1/4 NPT Female 52.1 Abb. 7: Abmessungen ATP 1603 M mit OBC Schwerpunkt CPC-Erdungsanschluss Abstandsgleiche Löcher Ø d2 auf Ø d1 Heberinge (Anz.: 2) ATP 1603 M - Abmessungen (mm) Pumpe + OBC...
- Seite 53 Technische Daten und Abmessungen 83.8 Abb. 8: Abmessungen des Magnetventils Spülung 1 Anschluss an Pumpe Mögliche Drehung Abb. 9: Abmessungen des Einlassventils 1 1/8‘‘ NPT Anschlussbuchse 53/56...
- Seite 54 EN 61000-3-3 : 2014/A1 : 2019 EN 61000-6-4 : 2019 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum SAS...
- Seite 55 EN 61000-3-3 : 2014/A1 : 2019 EN 61000-6-4 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Varen- nes Nicolas, Pfeiffer Vacuum SAS (eine vereinfachte Aktiengesellschaft nach französischem Recht), 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex. Unterschrift:...