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Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 Betriebsanleitung

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BETRIEBSANLEITUNG
OPERATING INSTRUCTIONS
HIPACE 300
Turbopumpe
Turbopump
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HIPACE 300

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 300

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 300 Turbopumpe Turbopump...

  • Seite 2: Disclaimer Of Liability

    Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    5.2.9 CF-Flansch an CF-F befestigen Vorvakuumseite anschließen Zubehör anschließen Elektrische Versorgung anschließen 5.5.1 Turbopumpe erden 5.5.2 Elektrischen Anschluss herstellen Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät 3/108...
  • Seite 4 Drehzahlvorgabe bestätigen Außerbetriebnahme Stillsetzen für längere Zeit Wiederinbetriebnahme Recycling und Entsorgung Allgemeine Entsorgungshinweise Turbopumpe entsorgen Störungen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile HiPace 300 Zubehör 13.1 Zubehörinformationen 13.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines 14.2 Technische Daten 14.3 Medienberührende Werkstoffe 14.4 Abmessungen...
  • Seite 5 Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 10: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 11: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 12: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 300 Tab. 13: Zubehör Tab. 14: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 15: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
  • Seite 6 Abb. 20: Demontage der Antriebselektronik TC 110 Abb. 21: Ersatzteile HiPace 300 Abb. 22: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-K Abb. 23: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-F Abb. 24: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 CF-F...

  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.

  • Seite 8: Piktogramme

    1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar HiPace 300 der Vakuumpumpe. Mod. PM P03 9 Typenschild der Antriebselektronik - - - - - - - -...

  • Seite 9: Abkürzungen

    Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Display Control Unit (Anzeige- und Bediengerät von Pfeiffer Vacuum). Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-...

  • Seite 10: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
  • Seite 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo- pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern.
  • Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...

  • Seite 14: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...

  • Seite 15: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...

  • Seite 16: Vorhersehbarer Fehlgebrauch

    Sicherheit 2.6 Vorhersehbarer Fehlgebrauch Bei Fehlgebrauch des Produkts erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als Fehlge- brauch gilt jede, auch unabsichtliche Verwendung, die dem Zweck des Produkts zuwider läuft, insbe- sondere: ● Herstellen der Spannungsversorgung ohne ordnungsgemäße Installation ● Installieren mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial ●...

  • Seite 17: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile. Abb. 2: Aufbau HiPace 300 1 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss LED-Betriebsanzeige 2 Flutschraube Sperrgasanschluss 3 Erdungsanschluss Kühlwasserblockblende 4 Pumpengehäuse, Edelstahl Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss...

  • Seite 18: Produkt Identifizieren

    Produktbeschreibung 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.

  • Seite 19: Transport Und Lagerung

    ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.

  • Seite 20: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.

  • Seite 21: Hochvakuumseite Anschließen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 300 2000 Nm...

  • Seite 22: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Abb. 3: Beispiel: Sicherheitsverbindungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für Gasart...

  • Seite 23: Einbaulagen

    4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.2.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich.

  • Seite 24: Abb. 6: Flanschverbindung Iso-K Mit Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh

    Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.

  • Seite 25: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.

  • Seite 26: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.

  • Seite 27: Abb. 13: Flanschverbindung Cf-F, Siftschraube Und Gewindebohrung

    Installation Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.

  • Seite 28: Vorvakuumseite Anschließen

    In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B. Relaisbox oder Verbindungskabel). Abb. 15: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 300 1 Vorvakuumanschluss der Turbopumpe Vakuumkomponenten DN 16 ISO-KF 2 Zentrierring Vorpumpe (z.B.

  • Seite 29: Zubehör Anschließen

    ► Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. ► Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse und Steuerleitungen. ► Verwenden Sie das Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät DCU 002 oder ein DCU mit integ- riertem Netzteil.

  • Seite 30: Turbopumpe Erden

    ► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.5.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 17: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1.

  • Seite 31: Abb. 18: Verbindung Der Antriebselektronik Mit Einem Netzteil

    Installation RS-485 Accessory (optional) (optional) DC out TPS / D C U Abb. 18: Verbindung der Antriebselektronik mit einem Netzteil Für die Spannungsversorgung der Antriebselektronik TC 110 stehen original Netzteile (z.B. TPS 110 oder DCU 110) und Verbindungskabel zur Verfügung. Typ des Verbindungskabels Funktion Verbindungskabel mit Schnittstelle...

  • Seite 32: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.

  • Seite 33: Betrieb Ohne Bedieneinheit

    Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes ermöglicht die Steuerung der Turbo- pumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Hinweise für den Betrieb mit Anzeige- und Bediengerät 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräten die dazuge- hörende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center.

  • Seite 34: Turbopumpe Einschalten

    ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. Symbol LED Status...

  • Seite 35: Temperaturüberwachung

    Gefahr von unkontrollierbaren Druckanstiegen. Mechanische Schäden an der Turbopumpe bis zum Ausfall sind die Folge. ► Halten Sie die vorgeschriebene maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit von 15 hPa/s ein. ► Vermeiden Sie manuelles und unkontrolliertes Fluten von sehr kleinen Volumina. ► Verwenden Sie ggf. ein Flutventil aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 35/108...

  • Seite 36: Tab. 9: Werkseinstellungen Für Verzögertes Fluten Bei Turbopumpen

    Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.

  • Seite 37: Wartung

    6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle.

  • Seite 38: Betriebsmittelspeicher Demontieren

    Wartung 7.3 Betriebsmittelspeicher demontieren Benötigte Werkzeuge ● Innensechskantschlüssel, SW 3 ● Pinzette ● O-Ring Picker Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Sauberes, fusselfreies Tuch ● Laborhandschuhe Abb. 19: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Innensechskantschraube Betriebsmittelspeicher 2 Verschlussdeckel Kapillarstab (9×) 3 O-Ring Spritzspitze Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2.

  • Seite 39: Drehzahlvorgabe Bestätigen

    4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 39/108...

  • Seite 40: Außerbetriebnahme

    1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.

  • Seite 41: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Seite 42: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...

  • Seite 43: Tab. 11: Störungsbehebung Bei Turbopumpen

    ● Reduzieren Sie die Prozessgasbelastung. ● Rotor schwergängig, ● Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Geräuschentwick- Lager defekt lung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Sollwert Hochlaufzeit ● Verlängern Sie den Sollwert der Hochlaufzeit [P:700] zu niedrig eingestellt über ein Anzeige- und Bediengerät.

  • Seite 44: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 45 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Seite 46: Ersatzteile Hipace

    Ersatzteile HiPace 300 12 Ersatzteile HiPace 300 Abb. 21: Ersatzteile HiPace 300 Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 110 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher siehe Typenschild inkl. Kapillarstäbe und O-Ring Tab. 12: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 300 46/108...

  • Seite 47: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Anzeigegeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.

  • Seite 48: Tab. 13: Zubehör

    TCS 13, Adapter für TC 110/120 mit Schnittstelle RS-485, 2 Zubehörports und PM 061 856 -U Verschraubungsset Wasserkühlung für HiPace 300 mit Steckverschraubung 8 mm PM 016 624 -T Verbindungskabel mit Schnittstelle RS-485 und 3 Zubehörports von TC 110/120 PM 061 512 -T zu Netzteil Verbindungskabel für HiPace mit TC 110/120...

  • Seite 49: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 50 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung erweitert HiPace® 300 mit TC HiPace® 300 mit HiPace® 300 mit TC TC 110 Kompressionsverhältnis für N > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 Saugvermögen für Ar 255 l/s 255 l/s 255 l/s Saugvermögen für H 220 l/s...

  • Seite 51: Medienberührende Werkstoffe

    Kohlefaserverstärkte Kunststoffe Epoxidharz Nickel Filz Betriebsmittel (Esteröl) Oxidkeramik, ggf. Tab. 17: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 14.4 Abmessungen Maße in mm DN 100 ISO-K 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Abb. 22: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-K 51/108...

  • Seite 52: Abb. 23: Abmessungen Hipace 300 | Tc 110 | Dn 100 Iso-F

    DN 100 ISO-F 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Abb. 23: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F 18.3 DN 16 ISO-KF Abb. 24: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 CF-F...

  • Seite 53: Eg Konformitätserklärung

    ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...

  • Seite 54: Uk Konformitätserklärung

    ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 55 Connecting accessories Connecting the electrical supply 5.5.1 Earthing the turbopump 5.5.2 Establishing the electric connection Operation Commissioning Operating modes 6.2.1 Operation without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "X3" 6.2.3 Operation via Pfeiffer Vacuum display and control unit 55/108...
  • Seite 56 Decommissioning Shutting down for longer periods Recommissioning Recycling and disposal General disposal information Dispose of turbopumps Malfunctions Service solutions by Pfeiffer Vacuum Spare parts HiPace 300 Accessories 13.1 Accessory information 13.2 Ordering accessories Technical data and dimensions 14.1 General 14.2 Technical data 14.3 Substances in contact with the media...

  • Seite 57: List Of Tables

    Factory settings for delayed venting in turbopumps Tbl. 10: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Tbl. 11: Troubleshooting turbopumps Tbl. 12: Overview of the spare parts available for the HiPace 300 Tbl. 13: Accessories Tbl. 14: Conversion table: Pressure units Tbl. 15: Conversion table: Units for gas throughput Tbl.

  • Seite 58: List Of Figures

    Removal of electronic drive unit TC 110 Fig. 21: Spare parts HiPace 300 Fig. 22: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-K Fig. 23: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-F Fig. 24: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 CF-F...

  • Seite 59: About This Manual

    Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity This operating instructions is a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions de- scribe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in this op- erating instructions refers to the product's current development status.

  • Seite 60: Pictographs

    This section describes all the stickers on the product along with their meaning. Rating plate The rating plate of the turbopump is located on the lower part D-35614 Asslar HiPace 300 of the vacuum pump. Mod. PM P03 9 Rating plate of the electronic drive unit...

  • Seite 61: Abbreviations

    Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current Display Control Unit (Pfeiffer Vacuum display and control unit). Nominal diameter as size description Rotation speed value of a vacuum pump (frequency, in rpm or Hz) Handheld Programming Unit.

  • Seite 62: Safety

    Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
  • Seite 63 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ► Make sure that the power supply pack meets the requirements for double isolation between mains input voltage and output voltage, in accordance with IEC 61010-1 IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
  • Seite 64 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
  • Seite 65 Safety Risks during maintenance, decommissioning and disposal WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the tur- bopump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.

  • Seite 66: Safety Precautions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.

  • Seite 67: Limits Of Use Of The Product

    Safety ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ► Never fill or operate the unit with cleaning agents or cleaning agent residues. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ►...
  • Seite 68 Safety ● Pumping explosive media ● Pumping of corrosive media ● Pumping of condensing vapors ● Pumping of fluids ● Pumping of dust ● Operating with impermissible high gas throughput ● Operating with impermissible high fore-vacuum pressure ● Operation with excessive irradiated heat output ●...

  • Seite 69: Product Description

    Product description 3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit with the electronic drive unit. Pfeiffer Vacuum power supply packs provide the voltage supply. Fig. 2: HiPace 300 design 1 Protective cover for the high vacuum connection LED operating mode display...

  • Seite 70: Identifying The Product

    ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.

  • Seite 71: Transportation And Storage

    ► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits.

  • Seite 72: Installation

    Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond.

  • Seite 73: Considering Earthquake Protection

    ● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump.

  • Seite 74: Using A Splinter Shield Or Protective Screen

    Safety connections, customer-side 5.2.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the Turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed is reduced according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.

  • Seite 75: Mounting Orientations

    Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.
  • Seite 76 Flange connection ISO-K with ISO-F, hexagon head screw and tapped hole Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Place the collar flange over the high vacuum flange of the turbopump.

  • Seite 77: Attaching Iso-F Flange To Iso-F

    Flange connection ISO-K with ISO-F, stud screw and through hole Connection of the stud screw and through hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Place the collar flange over the high vacuum flange of the turbopump.

  • Seite 78: Attaching Cf Flange To Cf-F

    Connection of the stud screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Screw in the stud screws with the shorter end in the tapped holes on the counter flange.
  • Seite 79 Connection of the stud screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Screw in the required number of stud screws with the shorter end in the holes on the counter flange.

  • Seite 80: Connecting The Fore-Vacuum Side

    Use the turbopump only in combination with a suitable backing pump that can deliver up to the required maximum fore-vacuum pressure. To achieve the fore-vacuum pressure, use a suitable vacuum pump or a pumping station from the Pfeiffer Vacuum range. In this case, the backing pump is also controlled directly via the turbopump electronic drive unit interfaces (e.g., relay box or connection cable).

  • Seite 81: Connecting Accessories

    ► Observe the installation instructions in the operating instructions for the relevant accessory. ► Note the existing configuration of existing connections and control lines. ► Use the Pfeiffer Vacuum display and control unit DCU 002, or a DCU with integrated power supply pack.

  • Seite 82: Earthing The Turbopump

    ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. 5.5.1 Earthing the turbopump Pfeiffer Vacuum recommends connecting a suitable grounding cable to discharge applicative interfer- ences. Fig. 17:...
  • Seite 83 Installation RS-485 Accessory (optional) (optional) DC out TPS / D C U Fig. 18: Connecting the electronic drive unit to a power supply pack Original power supply packs (e.g. TPS 110 or DCU 110) and connection cable are available for elec- tronic drive unit TC 110 voltage supply.

  • Seite 84: Operation

    Simultaneous loading by means of high drive power (gas throughput, fore-vacuum pressure), high heat radiation, or strong magnetic fields results in uncontrolled heating of the rotor and can destroy the vacuum pump. ► Consult Pfeiffer Vacuum before combining varying loads on the vacuum pump. Lower limit val- ues apply. NOTICE...

  • Seite 85: Operating Modes

    Notes on operation without control unit 1. Only use the approved Pfeiffer Vacuum connection cables with bridges on the "X3" connection on the electronic drive unit. 2. Only switch on the power supply of the turbopump immediately before operation.

  • Seite 86: Switching On The Turbopump

    6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum display and control unit or a PC.

  • Seite 87: Temperature Monitoring

    Operation Symbol LED status Display Meaning Yellow No warning On, constant Warning No error, no warning On, constant Error, malfunction Tbl. 8: Behavior and meaning of the LEDs on the electronic drive unit 6.4.2 Temperature monitoring If threshold values are exceeded, output signals from temperature sensors bring the turbopump to a safe condition.
  • Seite 88 General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.

  • Seite 89: Maintenance

    5. Change the operating fluid reservoir at least every 4 years. 6. Have Pfeiffer Vacuum Service replace the rotor bearing of the turbopump at least every 4 years. 7. Consult with Pfeiffer Vacuum Service about shorter maintenance intervals for extreme loads or im- pure processes.

  • Seite 90: Removing Electronic Drive Unit

    Maintenance Required consumables ● Clean, lint-free cloth ● Laboratory gloves Fig. 19: Removing the operating fluid reservoir 1 Allen head screw Operating fluid reservoir 2 Screw cap Capillary rod (9×) 3 O-ring Injection tip Removing the operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2.

  • Seite 91: Confirming The Speed Specification

    5. Set the parameter [P:777] to the required value of the nominal rotation speed in Hertz. Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units.

  • Seite 92: Decommissioning

    2. Clean the turbopump externally with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing.

  • Seite 93: Recycling And Disposal

    9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron –...

  • Seite 94: Malfunctions

    ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
  • Seite 95 ● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ● Extend the run-up time setpoint [P:700] via a dis- adjusted too low play and control unit.

  • Seite 96: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum

    We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Seite 97 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.

  • Seite 98: Spare Parts Hipace

    Electronic drive unit TC refer to the rating plate depending on the connec- tion panel Operating fluid reservoir refer to the rating plate incl. capillary rods and O- ring Tbl. 12: Overview of the spare parts available for the HiPace 300 98/108...

  • Seite 99: Accessories

    Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and display units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Display and operating units are used to check and adjust operating parameters.
  • Seite 100 TCS 13, adapter for TC 110/120 with interface RS-485, 2 accessory ports and cou- PM 061 856 -U pling set Water cooling for HiPace 300 with push-in fitting 8 mm PM 016 624 -T Connection cable with RS-485 interface and 3 accessory ports for TC110/120 to...

  • Seite 101: Technical Data And Dimensions

    Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
  • Seite 102 Technical data and dimensions Type designation extended HiPace® 300 with HiPace® 300 with HiPace® 300 with TC 110 TC 110 TC 110 Compression ratio for N > 1 · 10 > 1 · 10 > 1 · 10 Pumping speed for Ar 255 l/s 255 l/s 255 l/s...

  • Seite 103: Substances In Contact With The Media

    Oxide ceramic, as required Tbl. 17: Materials that make contact with the process media 14.4 Dimensions Dimensions in mm DN 100 ISO-K 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Fig. 22: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-K 103/108...
  • Seite 104 DN 100 ISO-F 18.3 DN 16 ISO-KF M8 (5x) Fig. 23: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F 18.3 DN 16 ISO-KF Fig. 24: Dimensions HiPace 300 | TC 110 | DN 100 CF-F...

  • Seite 105: Ec Declaration Of Conformity

    DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...

  • Seite 106: Uk Declaration Of Conformity

    ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Seite 107 107/108...

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