Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Varianten 1.1.2 Mitgeltende Dokumente Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Piktogramme 1.3.2 Anweisungen im Text 1.3.3 Aufkleber Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise 2.1.1 Sicherheitshinweise 2.1.2 Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Transport und Lagerung Annahme des Produkts Handhabung Lagerung Produktbeschreibung Produktidentifizierung 4.1.1 Lieferumfang...
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Störungen Störung und Fehleranzeige Die Pumpe läuft nicht an Die Pumpe ist in Betrieb, eine Kontrollleuchte leuchtet Die Pumpe stellt den Betrieb ein Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Zubehör Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines 12.2 Technische Eigenschaften 12.2.1Eigenschaften der Umgebung 12.2.2Eigenschaften des Kühlwassers...
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Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 2: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 3: Eigenschaften der Umgebung Tab. 4: Eigenschaften des Kühlwassers Tab. 5: Kühlbedingungen Tab. 6: Eigenschaften des Stickstoffgases Tab. 7: Schutz des elektrischen Netzes Tab. 8: Sicherungsnennwert des Schutzschalters und Größe des Kabelquerschnitts Tab.
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Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Positionen der Sicherheitsaufkleber Abb. 2: Befestigung des Hebebandes Abb. 3: Installation des entfernbaren Griffs Abb. 4: Die Mensch-Maschinen-Schnittstelle Abb. 5: Betriebsposition Abb. 6: Stapeln zweier Pumpen Abb. 7: Verkabelung des 16-poligen Fernsteuerungssteckers Abb. 8: Verkabelung des 19-poligen Fernsteuerungssteckers Abb.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
Zu dieser Anleitung Einzelner Handlungsschritt Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit. ► Dies ist ein einzelner Handlungsschritt. Abfolge von mehreren Handlungsschritten Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten. 1. Handlungsschritt 1 2. Handlungsschritt 2 3.
Zu dieser Anleitung Dieser Aufkleber zeigt an, dass die Stromversorgung vor dem Anschließen und/oder Trennen der Pumpe abgeschaltet werden muss. The main power supply must be switched off before connecting and/or disconnecting the pump. Dieser Aufkleber zeigt an, dass das Produkt entsprechend der Qualitäts- kontrolle beim werkseitigen Verlassen zertifiziert wurde.
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
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Sicherheit GEFAHR Quetschgefahr aufgrund des Bruchs der Hebevorrichtungen Die Halterungen sind nicht dafür ausgelegt, zwei gestapelte Pumpen zu heben. Sie können durch das Gewicht der beiden Pumpen brechen oder losgerissen werden. ► Heben Sie unter keinen Umständen zwei gestapelte Pumpen mit den Hebebeschlägen. WARNUNG Gefahr eines Stromschlags aufgrund von nicht konformen elektrischen Anlagen Dieses Produkt verwendet Netzspannung für seine Stromversorgung.
Sicherheit WARNUNG Verbrennungsgefahr bei Kontakt mit heißen Oberflächen Die Temperatur der Komponente bleibt auch nach dem Abschalten der Pumpe erhöht. Es besteht das Risiko von Verbrennungen bei Kontakt mit heißen Oberflächen, vor allem am Pumpenauslass. ► Vor Arbeiten warten Sie, bis das Produkt vollständig abgekühlt ist. ►...
Sicherheit 2.3 Vorhersehbarer Fehlgebrauch Bei Fehlgebrauch des Produkts erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleistungsanspruch. Als Fehlge- brauch gilt jede, auch unabsichtliche Verwendung, die dem Zweck des Produktes zuwider läuft. Diese beinhalten u.a.: ● das Pumpen von Flüssigkeiten ● das Pumpen von Staubpartikeln ●...
Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Annahme des Produkts Lieferbedingungen ● Vergewissern Sie sich, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. ● Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. ►...
Transport und Lagerung Abb. 2: Befestigung des Hebebandes 1 Band Sicherheitshaken (Anz: 3) 2 Hebebeschlag (Anz: 3) Heben der Pumpe an ihren Ringen Bei Handhabung der Pumpe muss eine dem Gewicht des Produkts angemessene Hebevorrich- tung verwendet werden. Das Gewicht und der Schwerpunkt hängen vom Modell ab (siehe Kapi- tel “Abmessungen”, Seite 45).
► Der Pumpeneinlass, Pumpenauslass und die Spül-Blindflansche müssen bis zur Installation der Pumpe in ihrer Position verbleiben. ► Entfernen Sie die Blindflansche erst, wenn die Pumpe an der Anlage angeschlossen ist. Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer Originaltransportverpackung. Neue Pumpe lagern ► Die Schutzummantelung nicht entfernen.
Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4.1 Produktidentifizierung Um das Produkt korrekt zu identifizieren, wenn Sie mit unserem Servicecenter sprechen, halten Sie stets die Informationen bereit, die auf dem Typenschild stehen (siehe Kapitel „Aufkleber“). 4.1.1 Lieferumfang ● 1 Vakuumpumpe ● 2 Wasseranschlüsse ● 1 mit einer Anschlussbuchse ausgestattetes Netzkabel ●...
Installation 5 Installation 5.1 Einrichten der Pumpe Exh. Exh. Abb. 5: Betriebsposition Bohrungen für das Anbringen der Pumpe an einen Rahmen Exh. Auslassflansch IN Ansaugflansch Das Produkt muss in horizontaler Lage, auf seinen Füßen stehend verwendet werden. 1. Legen Sie den Aufstellungsort der Pumpe fest. 2.
Installation Abb. 6: Stapeln zweier Pumpen 1 Sicherungsfuß (Pumpe A) Sicherungsfuß (Pumpe B) 2 Obere Halterung (Pumpe B) Obere Pumpe 3 Schraube Untere Pumpe 4 Untere Halterung (Pumpe A) Verfahren für das Stapeln zweier Pumpen Das Stapeln ist möglich, wenn sich der Ansaugflansch in horizontaler Position befindet (siehe „Ändern der Position des Ansaugflanschs“) (siehe Kapitel “Anschluss an eine Anlage”, Seite 22) Das Produkt ist mit Beschlägen ausgestattet, um das Stapeln zweier Pumpen zu vereinfachen.
Installation Bei zwei aufeinander gestapelten Pumpen ist nur die untere Pumpe am Boden mit erdbebensicheren Beschlägen verankert. 1 Position der Befestigungsschrauben (mit- Position des Befestigungszubehörs (vom Kunden geliefert) bereitzustellen) Installation der Beschläge Bringen Sie die Pumpe in ihre Position für den Betrieb. 1.
Installation Die Auswirkung der Kontinuität der Kühlung auf den Prozess Wenn eine Unterbrechung am Wasserkreislauf ein schweres Risiko für den Prozess dar- stellt, wird empfohlen, die Pumpenkühlung mit einem externen System zu kontrollieren, das in der Lage ist, einzuspringen, wenn der Wasserkreislauf ausfällt. Um Korrosion und Verstopfung des Wasserkreislaufs zu begrenzen, empfehlen wir den Einsatz von enthärtetem oder nicht aggressivem Wasser mit den erforderlichen Eigenschaften.
Installation 6. Montieren Sie den Blindflansch auf der Rückseite der Pumpe. 7. Führen Sie eine Dichtheitsprüfung durch: – Die Leckrate muss bei ≤ 10 mbar l/s liegen 8. Montieren Sie die Platte auf der Rückseite der Pumpe. – Anziehdrehmoment: 2 Nm Gehen Sie zum Platzieren des Ansaugflansches in einer horizontalen Position in umgekehrter Reihen- folge vor.
Installation 5.2 Prüfen Sie, dass die Anlage dicht ist Wenn das Produkt das Werk verlässt, wird die Dichtigkeit des Produkts unter normalen Betriebsbedin- gungen garantiert. Der Betreiber hat für die Aufrechterhaltung der Dichtigkeit zu sorgen, insbesondere beim Pumpen von gefährlichen Gasen. Wenden Sie sich für weiterführende Informationen über die Dichtigkeitsprüfungen an unser Servicecenter.
Installation Kontakt Funktion S1 (A-B) Pumpe Start/ Wird eine Spannung von 15 bis 24 VDC angelegt, ist die Pumpe in Stopp Betrieb. Ist keine Spannung angelegt (0 VDC), ist die Pumpe nicht in Be- trieb. A2 (R-S) Schaltpunkt Schaltpunkt Drehfrequenz (Eingang 0/10 VDC). Drehfre- ●...
Installation HINWEIS Gefahr von elektromagnetischen Störungen Spannungen und Strom können zu einer Vielzahl von elektromagnetischen Feldern und Störsignalen führen. Anlagen, die nicht die EMV-Vorschriften erfüllen, können andere Geräte und die Umgebung im Allgemeinen stören. ► In störanfälligen Umgebungen abgeschirmte Leitungen und Anschlüsse für die Schnittstellen ver- wenden.
Installation Abb. 9: Anschluss an die Stromversorgung Verriegeln des Niederspannungssteckers 1 Buchse Befestigungsflansch 2 Klemmring Schraube 1. Entfernen Sie den Befestigungsflansch von der Buchse. 2. Ziehen Sie den Klemmring der Buchse auf der Steckdose fest. 3. Montieren Sie den Befestigungsflansch mit den 2 Befestigungsschrauben. Verriegeln des Hochspannungssteckers 1 Steckdose 2 Verriegelung...
Betrieb 6 Betrieb 6.1 Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden WARNUNG Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit dem Produkt verwendet werden. Prozess- gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen können.
Betrieb ● LOCAL Die Pumpe wird durch den auf der Vorderseite angebrachten Schutzschalter ON/OFF gesteuert. Der Pumpenbetrieb erfolgt unabhängig von der Ausrüstung, in die sie integriert ist. ● REMOTE Die Pumpe wird durch das Öffnen und Schließen der verschiedenen potentialfreien Kontakte fern- gesteuert.
Betrieb Einstellung der Drehzahl 1. Legen Sie eine Direktspannung von 0 bis 10 V an den Analogeingabe A2 des Fernsteuerungsste- ckers zum Anpassen der Pumpendrehzahl an: ● Die Drehzahl fällt vom Maximalwert (0 V) auf den Mindestwert (10 V). Speed Maxi Mini Voltage...
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Betrieb Meldung Status der Kontrollleuchte Betriebsstatus Kontrollleuchten Die Pumpe ist nicht in Betrieb Pumpe in Grüne Kontroll- Die Pumpe ist in Betrieb Betrieb leuchte leuchtet Grüne und gelbe Temperaturwarnung der ersten Stufe an der Pumpe: Sie läuft auf 1. Warnung Kontrollleuchten maximaler Drehzahl weiter.
Wartung 7 Wartung 7.1 Sicherheitshinweise zur Wartung Sicherheitshinweise in Bezug auf korrosive Gase treffen nicht auf die für das Schleusen- oder Transfer- kammerpumpen gedachten Pumpen zu. Bei einem unbeabsichtigten Vorhandensein von korrosiven Gasen müssen die Bediener die nachfolgenden Vorsichtsmaßnahmen beim Trennen der Pumpe von der Anlage und bei Arbeiten am Produkt beachten.
Normalerweise fallen vor der Generalüberholung in unserem Servicecenter keine Wartungsar- beiten an. Die Wartungsintervalle hängen vom verwendeten Prozess und Gerät ab. Wenden Sie sich an unser Servicecenter (siehe Kapitel “Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum”, Seite 39). Kontaktinformationen Produktrevisionen müssen von einem Personal ausgeführt werden, das vom Hersteller diesbezüglich geschult wurde.
Machen Sie sich mit dem Verfahren der Service-Anforderung vertraut und füllen Sie die Kontaminati- onserklärung aus, wenn Produkte an unser Servicecenter zurückgesendet werden (siehe Kapitel “Ser- vicelösungen von Pfeiffer Vacuum”, Seite 39). 7.4.1 Pumpe von der Anlage trennen Erinnerung an die Risiken und Sicherheitsmaßnahmen ●...
Wartung Verfahren zur Entleerung des Wasserkreislaufs 1. Schließen Sie den Ablassschlauch an den Anschluss WATER OUT an und geben Sie das andere Ende in den Behälter. 2. Schließen Sie den Einlassschlauch an den Anschluss WATER IN an und das andere Ende an den Druckluftkreislauf.
Wiederaufbereitung an den Hersteller zurückgeschickt werden. Der Hersteller muss nur Geräte zurücknehmen, die vollständig und unverändert sind, die Pfeiffer Vacu- um SAS Originalersatzteile verwendet haben, von Pfeiffer Vacuum verkauft wurden und alle Baugrup- pen und Unterbraugruppen enthalten. Diese Verpflichtung erstreckt sich nicht auf die Kosten für den Versand an eine Aufarbeitungsanlage oder erbrachte Leistungen, die dem Kunden in Rechnung gestellt werden.
Störungen 9 Störungen 9.1 Störung und Fehleranzeige Wenn Probleme auftreten, werden die Benutzer informiert durch: ● Die betreffende Kontrollleuchte leuchtet auf: gelb für Warnungen, rot für Alarme. ● Die Fehlerkontakte auf dem Fernsteuerungsstecker werden ausgelöst. ● Pumpenabschaltung, obwohl der Befehl „OFF“ nicht aktiviert wurde. ●...
Störungen Symptom Ursache Lösung Die Temperatur des Funkti- Wasserproblem Prüfen Sie die Versorgung des Wasserkreises. onsblocks ist zu hoch Überprüfen Sie, dass die Wasserrohre nicht verstopft sind, oder überprüfen Sie auf Lecks. Überprüfen Sie, dass der Wasserfluss bei > 200 l/h liegt. Überprüfen Sie die Pumpenbedingungen.
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
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6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
Technische Daten und Abmessungen 12 Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von ölfreien, kompakten, mehrstufigen Pfeiffer Vacuum Wälzkolben- pumpen für leichte Anwendungen: ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● ISO 21360; 2007: „Vakuumtechnik – Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Va- kuumpumpen –...
Technische Daten und Abmessungen Technische Daten Einheiten A 200 L dB(A) < 58 Schalldruckpegel (Maximalwert) 1) Für ein größeres Volumen kontaktieren Sie uns bitte 2) Diese Pumpe ist für das Pumpen eines Volumens von 1 m in einem 20-minütigen Kreislauf zertifiziert. Für ein größeres Volumen oder eine höhere Zyklusfrequenz kontaktieren Sie uns bitte.
Technische Daten und Abmessungen 12.2.5 Eigenschaften der Stromversorgung Ausschaltvermögen des Hauptschalters bei Kurzschluss 10 kA Differentialschutzschalter GFI (oder RCD) Typ B, kompatibel mit TT-Netzen 300 mA für TN- und I-Netze angemessene Schutzmaßnahmen ergreifen Tab. 7: Schutz des elektrischen Netzes Netzspannung Leistung Größe des Leiterquerschnitts 200–230 V 50/60 Hz 15 A...
Technische Daten und Abmessungen Exh. 190,5 Abb. 11: Abmessungen der Pumpe mit Einlass in vertikaler Position Schwerpunkt (mm) Gewichtsverteilung* 22 N 24 N 29 N 28 N *Laut dem Standard Semi S2-200 Abschnitt 19 Tab. 9: Lastenverteilung: Bei einer einzigen Pumpe 46/62...
Technische Daten und Abmessungen Abmessungen gestapelter Pumpen Exh. Exh. Schwerpunkt (mm) Gewichtsverteilung * 44 N 48 N 58 N 56 N *Laut dem Standard Semi S2-200 Abschnitt 19 Tab. 10: Lastenverteilung: 2 gestapelte Pumpen 47/62...
Technische Daten und Abmessungen Abb. 12: Abmessungen der mit erdbebensicheren Beschlägen ausgestatteten Pumpe Lastenverteilung auf den erdbebensicheren Beschlägen * Bei einer einzigen Pumpe 69 N -129 -272 N -183 -237 -258 -580 N -454 * Laut dem Standard Semi S2-200 Abschnitt 19 48/62...
Technische Daten und Abmessungen Lastenverteilung auf den erdbebensicheren Beschlägen * Bei 2 gestapelten Pumpen 334 N -300 -368 -356 N -642 -391 -511 -1845 N 1008 -1381 * Laut dem Standard Semi S2-200 Abschnitt 19 Tab. 11: Lastenverteilung auf den erdbebensicheren Beschlägen 49/62...
Anhang 13 Anhang 13.1 Installation der seriellen Schnittstelle RS-232/RS-485 HINWEIS Gefahr von elektromagnetischen Störungen Spannungen und Strom können zu einer Vielzahl von elektromagnetischen Feldern und Störsignalen führen. Anlagen, die nicht die EMV-Vorschriften erfüllen, können andere Geräte und die Umgebung im Allgemeinen stören. ►...
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Anhang Konfiguration der Anfangsparameter der Schnittstelle Beschreibung Sollwert Serienschnittstelle RS-232 Übertragungsgeschwindigkeit 9600 Baud Datenwortlänge 8 Bit Parität keine (keine Parität) Stopp-Bit Echo Nein RS-232/RS-485 – 9-polig, Stecker Kontaktstift Belegung Datenempfang (RS-232) Datenversand (RS-232) RS-485: V- RS-485: V+ Das Berrutzer muss sicherstellen, dass äußere Abschirmungen vorhanden sind, damit die Normen be- züglich EMV und elektrischer Sicherheit erfüllt werden.
Anhang V(+) RS-485 communication V(-) 13.3 Konfiguration des Kommunikationsprotokolls RS-232 Um die Steuerung und Überwachung der Pumpe beim Ausführen der Verkabelung zu ermöglichen: 1. Legen Sie den Schutzschalter auf ON: Die auf der RS-232/RS-485-Platte angebrachte grüne LED leuchtet auf. 2. Senden Sie über die serielle Schnittstelle einen Befehl: Dieser Befehl hat keinen Vorrang über den Betrieb im Fernsteuerungsmodus über den SPI-Anschluss.
Anhang 13.4 Liste der Befehle des Kommunikationsprotokolls RS-232 ADR: Der Pumpe zugeordnete Nummer in der seriellen Schnittstelle Parameter Einstellgrenze Änderbar, wenn Pumpe ausgeschaltet ist. 000-255 adr = Adresse der Pumpe vor der Änderung aaa = neue Adresse ECH: Autorisierung zum Zurücksenden aller auf der seriellen Schnittstelle empfangenen Zei- chen Beschreibung Aktiviert, wenn ECHON...
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44 = Nachrichtenendekennzeichen SET: Einstellung der Betriebsparameter der Pumpe Beispiel: # adrSETXXYZZZZ<CR> Parameter Einstellgrenze XX= 07 Revisionsintervall: A 100 L/A 200 L/A 180 L. 0 = Zeit x 100 0010-0420 ZZZZ = Wert Beispiel: 0010 entspricht 1000 Stunden SYS: Pumpe Start/Stopp...
1-3 = Adresse 4 = Trennzeichen 5-9 = Betriebszeit 10 = Trennzeichen 11-15 = Wartungszeit erreicht (A 100 L/A 200 L/A 180 L) 16-45 = Trennzeichen 46 = Nachrichtenendekennzeichen 13.5 Konfiguration des Kommunikationsprotokolls RS-485 Die Befehle entsprechend denen der seriellen Schnittstelle RS-232: Liste der Befehle (siehe Kapi- tel “Liste der Befehle des Kommunikationsprotokolls RS-232”, Seite 53)
Anhang Kopfzeichen In der Werkseinstellung wird der Dezimalcode 035 für das Zeichen # verwendet Adresse Der Pumpe zugeordnete Nummer mit 3 Zeichen Reihenfolge Über die serielle Schnittstelle gesendeter Befehl, mit 3 Zeichen Parameter Anzahl der Zeichen in Abhängigkeit vom Befehl Endzeichen Dies ist das Endzeichen der Nachricht.
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Anhang Rei- Beschreibung Funktionen hen- folge C: Status der Para- meter von Bit 3 Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt D: Status der Para- meter von Bit 4 Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt E: Status der Para- meter von Bit 5 Belegt Belegt...
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Anhang Rei- Beschreibung Funktionen hen- folge b: Alarm Bit 1 Belegt (Frei) Belegt Belegt Belegt (Frei) (Frei) c: Warnung Bit 2 Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt d: Alarm Bit 2 Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Belegt Variator Alarm e: Warnung Bit 3 Belegt...
Der Verantwortliche für die technische Beschreibung ist Herr Frédéric Rouveyre, Pfeiffer Va- cuum SAS (eine vereinfachte Aktiengesellschaft nach französischem Recht), 98, avenue de Brogny B.P.2069, 74009 Annecy cedex, Frankreich. Mehrstufige Wälzkolbenpumpe, kompakt A 200 L Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: NF EN 1012-2: 2009 NF EN 61010-1: 2011...