Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TMH 261
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TMH 261
- Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Original-Betriebsanleitung Compact Turbo™ TurboDrag Pumpe TMH 261 TMU 261...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Anschlüsse an der Turbopumpe ......13 Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen 16 Fernbedienung anschließen . -
Seite 3: Zu Dieser Anleitung
Zu dieser Anleitung 1 Zu dieser Anleitung 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermit- telt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Be- schreibung erfolgt nach den geltenden EU-Richtlinien. -
Seite 4: Anweisung Im Text
Zu dieser Anleitung Piktogramm Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang Definitionen mit einer Gefahrenquelle, deren Missachtung zu schwer- wiegenden Unfällen führen kann. Warnung vor der mit dem Symbol dargestellten Gefahr. Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit ei- ner Gefahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwie- genden Unfällen führen kann. -
Seite 5: Sicherheit
HINWEIS Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausge- stattet werden. Installation, Betrieb und Instandhaltung von Anschlussgeräten sind detailliert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben. Informationen zu Betriebsanleitungen von Komponenten siehe Kapitel "Zubehör". -
Seite 6: Nicht Bestimmungsgemäße Verwendung
Kräfte auf die Pumpe einwirken • Anschluss an Netzteile mit Erdung eines Pols der Gleichspannung • Die Verwendung von Zubehör- oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt oder durch Pfeiffer Vacuum autorisiert wurde. 3 Transport und Lagerung 3.1 Transport Transportbehältnis der Vakuumpumpen wiederverwenden. -
Seite 7: Produktbeschreibung
Die Pumpen TMH/U 261 bilden mit der Antriebselektronik TC 600 eine Einheit. Zur Spannungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden (z.B. TPS oder DCU). Die Verwendung von anderen als den bestimmungsgemäß zugelassenen Netzteilen ist nur nach Absprache mit Pfeiffer Vacuum gestattet (Spe- zifikation der Netzteile auf Anfrage). -
Seite 8: Einsatzbereich
Antriebselektronik TC 600 Flutschraube 20a Vorvakuumflansch Remotestecker Abb. 2: Ansicht CompactTurbo™ TMH 261 HINWEIS Anschlusshinweise beachten! Turbopumpen mit TC 600 sind ab Werk für den "Remote-Betrieb" ausgelegt. Vor Betrieb mit DCU, HPU oder PC muss der 15-polige D-Sub Stecker (Remoteste- cker) von der TC 600 entfernt werden. -
Seite 9: Installation
• Die für den Einsatzbereich genannten Umgebungsbedingungen. • Die Temperatur des Hochvakuumflanschs darf 120 °C nicht überschreiten. • Die Bodenbefestigung der Pumpe ist nur nach Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum zulässig. • Das Einsetzen der Pumpen in Anlagen, von denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kräfte auf die Pumpe einwirken, ist nicht zulässig. -
Seite 10: Einbaulagen
Installation Splitterschutz oder Die Installation eines Pfeiffer Vacuum Zentrierrings mit Splitterschutz oder Schutz- gitter im Hochvakuumflansch schützt die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Schutzgitter verwen- Rezipienten. Dadurch wird das Saugvermögen der Pumpe reduziert. Reduziertes Saugvermögen in % Splitterschutz DN 100 Schutzgitter DN 100 Dämpfungskörper... -
Seite 11: Installation Von Iso-K Flansch Mit Iso-K Flansch
Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. installieren Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch dürfen ausschließlich die im Folgenden aufgeführten Bauteile verwendet werden. Die Bauteile für die In- stallation der Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Die Mindestfestigkeit von 170 N/mm des Flanschmaterials beachten. HINWEIS Mögliche Beschädigung der Pumpe... -
Seite 12: Installation Von Cf- Flanschen
Installation Installation von CF- Flanschen HINWEIS Erhaltung der Dichtfähigkeit Folgende Hinweise beachten, um die Dichtfähigkeit zu erhalten: Die Dichtung nur mit Handschuhen anfassen. Auf unbeschädigte Dichtlippen achten. Die Verbindungsarten für die Installation CF- mit CF-Flansch sind "Stiftschraube und Sackloch" sowie "6kt-Schraube und Durchsteckbohrung". Folgende Elemente werden benötigt: •... -
Seite 13: Anschlüsse An Der Turbopumpe
FV PUMP Abb. 5: Anschlussbezeichnungen an Turbopumpen mit Antriebselektronik TC 600 Vorvakuumseite an- Empfehlung: Als Vorvakuumpumpe eine trockenverdichtende Membranpumpe oder Drehschieberpumpen aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen. Die Vor- schließen vakuumpumpe muss einen Vakuumdruck von ≤ 5 mbar erzeugen. WARNUNG Gesundheitsschäden durch giftige Gase... -
Seite 14: Gehäuseheizung
Installation Elektrischer Anschluss Steuerleitung des Flutventils gemäß der Betriebsanleitung des Zubehörs an- schließen. Den Flutmodus des Flutventils über DCU, HPU oder Schnittstelle RS485 auswäh- len. Gehäuseheizung Um den Enddruck schneller zu erreichen, können Turbopumpe und Rezipient aus- geheizt werden. Das Verwenden einer Gehäuseheizung ist nur bei Pumpen mit Hochvakuumflansch in Edelstahlausführung zulässig. -
Seite 15: Antriebselektronik An Netzteil Anschließen
Einheit. Für die Spannungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile Netzteil anschließen verwendet werden (z.B.TPS 200 oder DCU 200). Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit Pfeiffer Vacuum und Abgleich mit der gültigen Spezifikation (Spe- zifikation der Netzteile auf Anfrage). WARNUNG Gefahr des elektrischem Schlags Bei Defekt können die mit dem Netzteil verbundenen Teile unter Spannung stehen. -
Seite 16: Pfeiffer Vacuum Anzeige- Und Bediengeräte Oder Pc Anschließen
Installation 5.5 Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC anschließen HINWEIS Anschlusshinweise beachten! Turbopumpen mit TC 600 sind ab Werk für den "Remote-Betrieb" ausgelegt. Vor Betrieb mit DCU, HPU oder PC muss der 15-polige D-Sub Stecker (Remoteste- cker) von der TC 600 entfernt werden. -
Seite 17: Vernetzung Über Den Anschluss Rs485
Installation Vernetzung über den TIC 001/ Anschluss RS485 USB/RS485-converter RS 485 VORSICHT Gefahr eines elektrischen Schlags Die Isolationsmaßnahmen des Bussystems sind nur für die Verwendung von Sicher- heitskleinspannungen ausgelegt. Nur geeignete Geräte an das Bussystem anschließen. Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS485 aufzubauen. Alle Geräte mit D+ (pin 5 / RS485) und D- (pin 7 / RS485) am Bus anschließen. - Seite 18 Installation Pinbelegung und Bezugsspannung Funktion des An- Pin Funktion schluss "Remote" +24 V Bezugsspannung für alle Remote Ein- und Ausgänge Masse (Ground) Bezugsmasse für alle Remote Ein- und Ausgänge Eingänge Pin Funktion Offen (low) Geschlossen (high) Fluten Freigabe Fluten gesperrt Fluten freigegeben Motor ein: Turbopumpe wird Motor Turbopumpe...
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Seite 19: Anschlussplan Tc
Installation 5.7 Anschlussplan TC TC 600 TC 750 n.c. +24 VDC* / max. 200 mA (Versorgungsspannung DCU) n.c. n.c. RS 485 RS 485+/ (DO/RI) GND* (Masseanschluss, DCU) RS 485- / (DO/RI) n.c. +24 VDC*/max. 50 mA Flutfreigabe Motor TMP Kontaktstrom: Pumpstand max. -
Seite 20: Betrieb
Folgende Betriebsarten sind möglich: • Betrieb ohne Bedieneinheit • Betrieb über Fernbedienung • Betrieb über RS485 mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät oder PC 6.2 Inbetriebnahme Folgende Einstellungen sind werkseitig fest in der TC 600 programmiert. • Anlaufzeit: 15 min •... -
Seite 21: Funktionsbeschreibung
Stromversorgung mit Schalter S1 am Netzteil oder am DCU 200 einschalten. DCU oder HPU Einstellungen sind über die RS485 der TC 600 mit DCU, HPU oder PC möglich. Für den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät folgende Dokumente beachten: • Betriebsanleitung DCU •... - Seite 22 Betrieb • Einstellungen sind über die RS485 der TC 600 mit DCU, HPU oder PC möglich. Motor Turbopumpe Bei eingeschaltetem Pumpstand und erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest (Dauer ca. 10 Sekunden) wird die Turbopumpe in Betrieb gesetzt. Während des Be- triebes kann die Turbopumpe bei weiterhin eingeschaltetem Pumpstand abge- schaltet und wieder eingeschaltet werden.
- Seite 23 Das Pumpen von Gasen mit der Molekülmasse ≥ 40 im falschem Gas Mode kann zur Zerstörung der Pumpe führen. Auf korrekt eingestellten Gas Mode achten. Vor Einsatz von Gasen mit größeren Molekülmassen Pfeiffer Vacuum kontaktieren. Hochlauf D-C = Gas mode «0»...
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Seite 24: Überwachung Des Betriebszustands
Grundsätzliche Hinweise für das schnelle Fluten Fluten eines Rezipienten in zwei Schritten. Details zu individuellen Lösungen bei Pfeiffer Vacuum erfragen. Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max. 15 mbar/s für 20 s. – Der Ventilquerschnitt für die Flutrate von 15 mbar/s muss auf die Größe des... -
Seite 25: Wartung / Austausch
Wartung / Austausch – Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil TVF 005 verwenden. Anschließend mit einem zusätzlichen, beliebig großen Flutventil fluten. 7 Wartung / Austausch WARNUNG Kontamination von Teilen und Betriebsmittel durch gepumpte Medien möglich Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen. - Seite 26 Wartung / Austausch HINWEIS Betriebsmittelfüllung Der Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel TL 011 befüllt. Kein zusätzliches Betriebsmittel einfüllen. Standardvariante Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen. Vakuumpumpe ggf. aus der Anlage ausbauen. Flanschöffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschließen. Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch stellen. Verschlussdeckel an der Unterseite der Turbopumpe mit Spezialwerkzeug E he- rausschrauben.
- Seite 27 HINWEIS Filzscheibe im Schmiermittelspeicher Paket Die Filzscheibe im Betriebsmittelspeicher Paket ist nur für besondere Servicearbeiten notwendig und durch den Pfeiffer Vacuum Service auszutauschen. Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen, fusselfreien Tuch entfernen. Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden! Neue Porexstäbe (8 Stück) mit Hilfe einer Pinzette einsetzen.
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Seite 28: Antriebselektronik Austauschen
Wartung / Austausch 7.3 Antriebselektronik austauschen WARNUNG Gefahr des elektrischen Schlags Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Turbopumpe Span- nungen > 50 V . Es besteht die Gefahr eines elektrischen Schlags beim Berühren eff. offener Kontakte an stromführenden Teilen. Antriebselektronik niemals bei bestehender Netzverbindung oder laufendem Rotor von der Pumpe trennen. -
Seite 29: Außerbetriebnahme
Wartungshinweise beachten und Pfeiffer Vacuum Service verständigen. Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit überprüfen. Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen. Ggf. Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen. Ggf. Lagerwechsel durchführen lassen. Dabei die Gesamtlaufzeit beachten. Betriebsmittelspeicher wechseln. -
Seite 30: Störungen
HPU möglich – Erdschluss der Versorgungsspan- Rote LED an der TC 600 blinkt Netzteilspannung überprüfen nung Netzteilspannung auf Erdschluss überprü- – Netzausfall Netzanschluss des Netzteils überprüfen Steht kein Pfeiffer Vacuum Bediengerät zur Verfügung bitte den Pfeiffer Vacuum Service ver- ständigen. -
Seite 31: Service
Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Geräte werden grundsätz- lich nicht angenommen. "Schadstoffe" sind Stoffe und Verbindungen entsprechend der Gefahrstoff-Verordnung in der derzeit gültigen Fassung. Bei kontaminierten Pumpen oder bei Fehlen der Unbedenklichkeitserklärung führt Pfeiffer Vacuum kostenpflichtig eine Dekontamination durch. Einsendung kontaminierter Pumpen oder Geräte Pumpe durch Spülen mit Stickstoff oder trockener Luft neutralisieren. -
Seite 32: Ersatzteile Tmh/U 261
Ersatzteile TMH/U 261 11 Ersatzteile TMH/U 261 Pos. Benennung Größe Bestellnummer Bemerkungen Stück Bestellmenge Verschlussdeckel M40 x 1 PM 003 619 A Schmiermittelspeicher PM 063 265 -T incl. O-Ring incl. 8 x Porexstab (7a), O- Schmiermittelspeicher ("Y") PM 063 266 -T Ring, Filzscheibe Antriebselektronik TC 600 PM C01 720... -
Seite 33: Zubehör
Dämpfungskörper DN 100 CF-F PM 006 488 -X PWM-Box Drehzahlreglung 10 - 30 V DC PM 051 028 -U PM 0563 BN Pfeiffer Vacuum Protokoll RS232/RS485 PM 0488 BN Schnittstellenprotokoll TIC 001 Schnittstellenkonverter RS232 in RS485 PM 051 054 -T... -
Seite 34: Technische Daten
Technische Daten 13 Technische Daten Größe TMH 261 P TMU 261 P TMH 261 YP TMU 261 YP Anschlussflansch (Eingang) DN 100 ISO-K DN 100 CF-F Anschlussflansch (Ausgang) DN 25 ISO-KF / G 1/4" DN 25 ISO-KF / G 1/4"... -
Seite 35: Maßbilder
DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF G1/8" G1/8" 104.2 104.2 Ø138.5 Ø138.5 DN 100 ISO-K Ø119 DN 100 CF-F Ø119 Abb. 12: TMH 261 P / YP, DN 100 ISO-K Abb. 13: TMU 261 P / YP, DN 100 CF-F... -
Seite 36: Konformitätserklärung
Zusätzlich entspricht das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen der EG-Richtlinie "Elektromagnetische Verträglichkeit" 2004/108/EG . Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. TMH 261 / TMU 261 Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale... - Seite 37 Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...