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Installation
5.3.2 Auslass der Pumpe
Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden
Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit der Pumpe verwendet werden. Prozess-
gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht
ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen
können.
► Wenden Sie die entsprechenden Sicherheitshinweise gemäß den lokalen Vorschriften an. Diese
► Schließen Sie den Auslass der Turbomolekularpumpe an eine mit den Prozessgasen kom-
► Prüfen Sie regelmäßig, dass keine Lecks am Anschluss zwischen der Pumpe und den Absaug-
► Verbinden Sie die Turbomolekularpumpe mit einer genehmigten Vorpumpe an (siehe Kapitel
► Installieren Sie ein Absperrventil (NC) zwischen die Turbomolekularpumpe und die Vorpumpe.
5.4 Anschluss des Wasserkreislaufs
Um Korrosion und Verstopfung des Wasserkreislaufs zu begrenzen, empfehlen wir den Verwen-
den von enthärtetem oder nicht aggressivem Wasser mit den erforderlichen Eigenschaften (siehe Kapi-
tel „Wassereigenschaften"). Wenn die Eigenschaften für die Feststoffverschmutzung nicht eingehalten
werden können, installieren Sie einen Filter am Wassereinlass.
Der Kühlwasserkreislauf kann beschädigt werden, wenn eine ungeregelte Netzspeisung ver-
wendet wird
Das Verwenden von ungeregelten Wasserleitungen kann zum Verstopfen des Wasserkreislaufs
führen aufgrund von Verkalkung. Dies könnte die Komplettreinigung und Generalüberholung des
Wasserkreislaufs nach sich ziehen.
Des Weiteren kann das Vorhanensein von Mikroorganismen wie Algen und biologischen Sub-
stanzen wie Bakterien zu Kühlproblemen in der Pumpe führen.
► Schließen Sie den Kuhlwasserkreislauf an eine geregelte Wasserversorgung an.
► Ergreifen Sie geeignete Maßnahmen, um das Wachstum solcher unerwünschter Mikroorganis-
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WARNUNG
Informationen sind in der Abteilung für Arbeitssicherheit des Betreibers erhältlich.
patible Vorpumpe an: Der Auslass der Vorpumpe ist an das Absaugsystem für gefährliche Ga-
se der Anlage angeschlossen
rohren bestehen.
„Technische Daten").
men zu verhindern.
Die Auswirkung der Kontinuität der Kühlung auf den Prozess
Wenn eine Unterbrechung am Wasserkreislauf ein schweres Risiko für den Prozess dar-
stellt, wird empfohlen, die Pumpenkühlung mit einem externen System zu kontrollieren, das
in der Lage ist, einzuspringen, wenn der Wasserkreislauf ausfällt.
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