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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Übersetzung des Originals ATH 1603 M - ATH 2303 M Magnetgelagerte Turbopumpe...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Betroffene Produkte 1.1.2 Mitgeltende Dokumente Konventionen 1.2.1 Piktogramme 1.2.2 Zielgruppe 1.2.3 Anweisungen im Text 1.2.4 Aufkleber 1.2.5 Abkürzungen Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise in Bezug auf entzündliche/pyrophore Materialien Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Transport und Lagerung Annahme des Produkts Handhabung der Pumpe... - Seite 4 7.4.1 Pumpe von der Anlage trennen 7.4.2 Entleeren des Wasserkreislaufs 7.4.3 Pumpe für den Versand vorbereiten Außerbetriebnahme Abschaltung für längere Zeit Wiederinbetriebnahme Entsorgung Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Zubehör Ersatzteile Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines 12.2 Technische Eigenschaften 12.3 Eigenschaften der Umgebung 12.4 Eigenschaften des Kühlwassers...
- Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Auf die Anlage ausgeübte Lasten Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch) Tab. 3: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 4: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 5: Eigenschaften der Umgebung Tab. 6: Eigenschaften des Kühlwassers Tab. 7: Eigenschaften des Stickstoffgases Tab.
- Seite 6 Beschreibung einer ATH 2303 M Pumpe Abb. 3: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage Abb. 4: Diagramm der auf die Anlage ausgeübten Lasten – ATH 1603 M Abb. 5: Diagramm der auf die Anlage ausgeübten Lasten – ATH 2303 M Abb. 6: Spülflussdiagramm...
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Seite 7: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes. -
Seite 8: Anweisungen Im Text
Zu dieser Anleitung Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu- um erhalten haben. 1.2.3 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau. Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet. -
Seite 9: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung Das Produkt wird mit einem Blatt Aufkleber geliefert, die andere Sprachversionen enthalten. Der Installateur muss diese Aufkleber an den am besten geeigneten und sicht- baren Stellen an der Pumpe anbringen, um den Betreiber vor potentiellen Risiken zu warnen. Dieser Aufkleber warnt Benutzer, dass sie Gefahr laufen, ver- letzt zu werden, wenn ihre Hände mit einer heißen Oberflä- che in Berührung kommen: Schutzhandschuhe müssen bei... -
Seite 10: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-... - Seite 11 ► Halten Sie die in dieser Anleitung beschriebene Installationsanleitung strikt ein. Pfeiffer Vacuum ist bei Nichteinhaltung der Installationsanleitung von der Gewährleistung und Haftung befreit. ► Verwenden Sie nur die von Pfeiffer Vacuum für den Anschluss der Anlage zugelassenen Origi- nalteile (siehe „Zubehör“).
- Seite 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr bei Kontakt mit unter Druck stehendem Stickstoff Das Produkt verwendet unter Druck stehenden Stickstoff als Spülgas. Nicht konforme Anlagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer gefährden. ► Installieren Sie ein Handventil im Kreislauf in einem Abstand von 3 m vom Produkt, so dass die Stickstoffzufuhr gesperrt werden kann.
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Seite 13: Sicherheitshinweise In Bezug Auf Entzündliche/Pyrophore Materialien
Sicherheit 2.3 Sicherheitshinweise in Bezug auf entzündliche/pyrophore Materialien Der Benutzer und/oder der Integrator ist/sind allein für die Sicherheit der Pumpenanlage, des Geräts und des Gasabsaugsystem verantwortlich. Der Benutzer und/oder der Integrator ist/sind für die Anwen- dung verantwortlich, die das Produkt verwendet. Das Pumpen pyrophorer oder entzündlicher Gase kann gefährlich sein. -
Seite 14: Sicherheitsmaßnahmen
● Die Turbomolekularpumpe muss mit einer geeigneten Vorpumpe kombiniert werden. ● Die Vakuumpumpe muss in der Industrieanlage integriert sein. ● Die Pumpe muss mit einer OBC- oder Magpower-Antriebselektronik von Pfeiffer Vacuum betrie- ben werden. Wenn die Pumpe in einer Industrieanlage integriert ist, wird sie zu einer Pumpenkomponente: Der Produktintegrator dieser Komponente muss dem Bediener alle Sicherheitsmaßnahmen, ins-... - Seite 15 Sicherheit ● Das Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die in dieser Betriebsanleitung nicht erwähnt wer- ● Das Verwenden der Pumpe in potentiell explosiven Umgebungen ● Das Verwenden der Vakuumpumpe zur Druckerzeugung ● Das Verwenden in Bereichen mit ionisierender Strahlung ● Das Verwenden in unzulässig hohen Magnetfeldern ●...
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Seite 16: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Annahme des Produkts Lieferbedingungen ● Vergewissern Sie sich, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. ● Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. ►... -
Seite 17: Lagerung
Transport und Lagerung Nur Pumpe Pumpe mit OBC 1. Band 2. Hebering Heben der Pumpe an ihren Ringen Bei Handhabung der Pumpe muss eine dem Gewicht des Produkts angemessene Hebevorrich- tung verwendet werden. Das Gewicht und der Schwerpunkt variieren abhängig vom Modell (Siehe Kapitel „Abmessungen“). -
Seite 18: Produktbeschreibung
Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4.1 Produktidentifizierung Um das Produkt korrekt zu identifizieren, wenn Sie mit unserem Servicecenter sprechen, halten Sie stets die Informationen bereit, die auf dem Typenschild stehen (siehe Kapitel „Aufkleber“). 4.1.1 Lieferumfang ● 1 Magnetgelagerte Turbopumpe ● 1 Splitterschutzfilter (im Ansaugflansch der Pumpe) ●... -
Seite 19: Die Mensch-Maschinen-Schnittstelle
Produktbeschreibung 4.2 Die Mensch-Maschinen-Schnittstelle Abb. 1: Beschreibung einer ATH 1603 M Pumpe 1 Splitterschutzfilter Wasseranschluss IN/OUT 2 Ansaugflansch (Hochvakuumflansch) Anschluss an die Stromversorgung 3 Neutralgasspülung (Purge) Funktionserdung 4 Pumpenasslass (Pump exhaust) Abb. 2: Beschreibung einer ATH 2303 M Pumpe 1 Splitterschutzfilter... -
Seite 20: Installation
► Halten Sie die in dieser Anleitung beschriebene Installationsanleitung strikt ein. Pfeiffer Vacuum ist bei Nichteinhaltung der Installationsanleitung von der Gewährleistung und Haftung befreit. ► Verwenden Sie nur die von Pfeiffer Vacuum für den Anschluss der Anlage zugelassenen Origi- nalteile (siehe „Zubehör“). -
Seite 21: Installationsvorschriften
Installation 5.1.1 Installationsvorschriften Turbo Abb. 3: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage 1 Vakuumkammer Rahmen 2 Anlage Sicherer Verankerungspunkt Beschreibung eines plötzlichen Blockierungsszenarios Die kinetische Energie des Rotors muss von der Anlage absorbiert werden, wenn die Pumpe plötzlich blockiert. Die maximal resultierenden Lasten wurden auf einem Prüfstand gemessen, indem die schlimmstmögliche Blockierung der Turbopumpe mit einem Aufteilen des Rotors in zwei Teile simuliert wurde, wobei sich die Pumpe mit Nenndrehzahl drehte. -
Seite 22: Tab. 1: Auf Die Anlage Ausgeübte Lasten
Installation Zeit ms Abb. 4: Diagramm der auf die Anlage ausgeübten Lasten – ATH 1603 M Time ms Abb. 5: Diagramm der auf die Anlage ausgeübten Lasten – ATH 2303 M 1 Turbopumpe Pendelschieber Eigenschaften Einheit ATH 1603 M ATH 2303 M... -
Seite 23: Sichern Von Anlage Und Rahmen
Installation 5.1.2 Sichern von Anlage und Rahmen Befestigung der Pumpe an der Anlage Die durch eine plötzliche Blockierung verursachte Maximallast muss von den Befestigungselementen der Pumpe absorbiert werden. ► Die Gestaltung und Sicherung des Rahmens der Pumpe muss der Maximallast standhalten. ►... -
Seite 24: Anschluss An Die Pumpleitung
Installation 1. Handhaben der Pumpe (siehe Kapitel „Handhabung der Pumpe“). 2. Befestigen und sichern Sie die Befestigungen der Turbomolekularpumpe, um die Sicherheit des Bedieners und die Betriebssicherheit zu garantieren (siehe Kapitel „Installationsvorschriften“). 5.3 Anschluss an die Pumpleitung In der Pumpe vorhandene pyrophore, entzündliche oder giftige Stoffe können zu zusätzlichen Risiken führen, die der Bediener für die gesamte Pumpenanlage bewerten und entsprechend beseitigen muss. -
Seite 25: Einlass Der Pumpe
Installation 7. Die O-Ringe unter den Blindflanschen sind nicht mit allen Anwendungen kompatibel. Benutzer oder Produktintegratoren sind für die Installation von O-Ringen verantwortlich, die mit der Anwendung kompatibel sind. 8. Nehmen Sie die Blindflansche ab, die für das Abdichten von Einlass und Auslass verwendet wer- den. -
Seite 26: Anschluss Des Wasserkreislaufs
Installation 5.4 Anschluss des Wasserkreislaufs Um Korrosion und Verstopfung des Wasserkreislaufs zu begrenzen, empfehlen wir den Verwen- den von enthärtetem oder nicht aggressivem Wasser mit den erforderlichen Eigenschaften (siehe Kapi- tel „Wassereigenschaften“). Wenn die Eigenschaften für die Feststoffverschmutzung nicht eingehalten werden können, installieren Sie einen Filter am Wassereinlass. HINWEIS Der Kühlwasserkreislauf kann beschädigt werden, wenn eine ungeregelte Netzspeisung ver- wendet wird... -
Seite 27: Anschluss Der Pumpe An Den Wasserkreislauf
Installation Verfahren für die Montage eines einzigen Klemmringanschlusses Zum Anschließen von flexiblen Schläuchen zwischen Pumpe und Antriebselektronik (zum Beispiel) ver- wendete Anschlüsse. 1. Führen Sie den flexiblen Schlauch ein, bis er fest am Anschluss sitzt. 2. Setzen Sie die Mutter von Hand ein. 3. -
Seite 28: Anschluss Stickstoffkreis
Installation 1. Stellen Sie einen Kühlwasserkreislauf und einen Hahn zum Anpassen des Durchsatzes bereit. 2. Schließen Sie den Wassereinlasskreis an den Anschluss WATER IN und den Wasserauslass an den Anschluss WATER OUT des Entleerungskreises der Pumpe an. 3. Überprüfen Sie, dass im Wasserkreislauf oder an den Anschlüssen zum Wasserkreislauf keine Lecks vorhanden sind. -
Seite 29: Abb. 6: Spülflussdiagramm
Installation Durchfluss (SCCM) Absolut Ansaugdr uck ( h Pa 1000 1100 1200 1300 1400 1500 Abb. 6: Spülflussdiagramm 1 Durchflussreduzierung – 50 sccm Spülgasvorrichtung 50 sccm Der Betrieb dieser Spülung erfolgt durchgehend. Die Spülreduzierung garantiert einen Durchfluss von 50 ؘsccm bei einem Druck von 1,1 · 10 hPa. -
Seite 30: Anschluss Des Magnetventils Des Lufteinlasses
Installation Die Pumpen kann bei angehaltener Pumpe geschlossen werden, um eine Dichtheitsprüfung an der An- lage durchzuführen. 1. Entfernen Sie den Staubfilter vom Magnetventil. 2. Schließen Sie stattdessen die Inertgasleitung an. 3. Verkleben Sie den Anschluss mit öl- und wasserfestem Kleber oder wickeln Sie PTFE-Dichtband um das Gewinde. -
Seite 31: Anschluss An Die Stromversorgung
Installation 5.8 Anschluss an die Stromversorgung WARNUNG Gefahr eines Stromschlags aufgrund von nicht konformen elektrischen Anlagen Dieses Produkt verwendet Netzspannung für seine Stromversorgung. Nicht konforme elektrische An- lagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer ge- fährden. -
Seite 32: Schutz Der Elektrischen Installation
Installation ► Korrigieren Sie die Ursache der Störung. ► Schalten Sie den Strom wieder ein. – Netzschalter der Antriebselektronik auf I. 5.8.1 Schutz der elektrischen Installation Schutz mittels Schutzschalter Der Stromkreis, der für die Stromversorgung der Pumpe verwendet wird, muss mit einem Schutzschal- ter der Klasse D gemäß... -
Seite 33: Betrieb
Betrieb 6 Betrieb 6.1 Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden WARNUNG Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit der Pumpe verwendet werden. Prozess- gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen können. -
Seite 34: Inbetriebnahme Der Pumpe
Betrieb 6.2 Inbetriebnahme der Pumpe 6.2.1 Einschalten ► Stellen Sie den Netzschalter der Antriebselektronik auf I: Die Antriebselektronik schaltet sich ein. 6.2.2 Start der Pumpe Die folgenden Schritte beschreiben den Verwenden der Pumpe ungeachtet der Steuerschnittstelle: ● Verwenden per HHR. ● Verwenden per REMOTE-Steuerung. ●... -
Seite 35: Abschaltung Der Pumpe
Betrieb 6.3 Abschaltung der Pumpe 6.3.1 Abschaltung der Pumpe HINWEIS Risiko der Beschädigung der Pumpe durch Erzeugung eines Lichtbogens Die Pumpe und ihre Antriebselektronik dürfen nicht vom elektrischen Netz abgeschaltet werden, be- vor der Rotor vollständig stillsteht und die Antriebselektronik vom Netz getrennt wurde: ein Lichtbo- gen wird erzeugt, wenn der Kreis unterbrochen wird, so dass interne Komponenten beschädigt wer- den können. -
Seite 36: Ausschalten
Betrieb Wenn die Stromversorgung wieder hergestellt wird, bevor die Mindestdrehzahl erreicht wird, nimmt die Pumpe ihre anfängliche Geschwindigkeit ohne jede Unterbrechung wieder auf. Der Zähler der Kugella- ger zählt nicht herunter. Andernfalls, wenn die Mindestdrehzahl erreicht wird, bevor die Stromversorgung wieder hergestellt wird: ●... -
Seite 37: Wartung
Wartung 7 Wartung 7.1 Sicherheitshinweise zur Wartung GEFAHR Gefahr für die Gesundheit aufgrund von Restspuren der Prozessgase in der Pumpe Prozessgase sind toxisch und gesundheitsschädlich. Sie können zu Vergiftungen und Tod führen. Vor Tennen der Pumpe müssen alle Reste von Prozessgasen entfernt werden. ►... -
Seite 38: Wartungsintervall
Warnung ausgelöst: Die Hilfslager müssen unbedingt ausgetauscht werden. Wenn es zu weiteren Landungen kommt, geht der Zähler weiter nach unten bis auf 0 %. Diese Lager müssen von einem Pfeiffer Vacuum Servicecenter ausgetauscht werden. Rotor der Pumpe Die Lebensdauer des Pumpenrotors ändert sich mit den Betriebsbedingungen und den Anwendungen. -
Seite 39: Kontaktinformationen
6. Installieren einer neuen Pumpe (siehe Kapitel „Installation“). Machen Sie sich mit dem Verfahren der Service-Anforderung vertraut und füllen Sie die Kontaminati- onserklärung aus, wenn Produkte an unser Servicecenter zurückgesendet werden (siehe Kapitel “Ser- vicelösungen von Pfeiffer Vacuum”, Seite 45). 39/60... -
Seite 40: Pumpe Von Der Anlage Trennen
Wartung 7.4.1 Pumpe von der Anlage trennen Erinnerung an die Risiken und Sicherheitsmaßnahmen ● Beachten Sie die Sicherheitshinweise für Wartungsarbeiten. ● Befolgen Sie die speziellen Sicherheitshinweise gemäß den lokalen Gesetzen; diese Informationen werden von der Abteilung für Gesundheitsschutz und Arbeitssicherheit des Kunden bereitgestellt. Verfahren für das Trennen 1. - Seite 41 Wartung dem über Anschlusszubehör verfügen, damit die Pumpe dicht versiegelt werden kann (siehe „Zube- hör“). Vollständiges Spülen 1. Installieren Sie den mit dem Injektor ausgestatteten Blindflansch an den Anschluss Purge. 2. Schließen Sie den Stickstoffkreislauf an den für diesen Zweck be- reitgestellten Gasanschluss an.
- Seite 42 Wartung Kennzeichnen der Pumpe 1. Bringen Sie diesen Aufkleber am Pro- dukt an, um die Benutzer zu warnen, dass die Pumpe mit unsicheren Produk- ten in Kontakt war. Exposure may result in severe injury or death. Preventive maintenance must be done by trained 2.
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Seite 43: Außerbetriebnahme
Ansammlung von Prozessgasen im abgeschalteten Gerät Alle Prozesspumpen wurden für den Dauerbetrieb in Pumpanwendungen mit Prozessgasen entwi- ckelt und sollten nicht gestoppt werden. Pfeiffer Vacuum lehnt jegliche Gewährleistungen für die Kon- densation von Abfallprodukten, die Ansammlung von Pulver oder die Korrosion innerhalb der Pumpe für Prozesspumpen ab, die für längere Zeit abgeschaltet werden. - Seite 44 Außerbetriebnahme Unsere Produkte enthalten verschiedene Werkstoffe, die recycelt werden können: Stahl, Edelstahl, Messing, Aluminium, Nickel, Kupfer, fluorierte Elastomere, PTFE, FEP und Elektronikbaugruppen. Be- sondere Vorsichtsmaßnahmen sind erforderlich bei: ● Fluorierten Elastomeren, die sich zersetzen können, wenn sie hohen Temperaturen ausgesetzt sind, ●...
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Seite 45: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität. - Seite 46 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
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Seite 47: Zubehör
Zubehör 10 Zubehör Zubehör Funktion Beschreibung Abmessung Bestellnr. Absperrventil Dieses Ventil wird verwendet, um Handventil siehe Herstellerkatalog das Vakuum in der Pumpe zu er- halten und in der Pumpleitung zu isolieren. Kupferdichtung DN 200 CF-F 303293 für CF-F-An- (Anz. 5) saugflansch DN 250 CF-F 303294 (Anz. - Seite 48 Zubehör Zubehör Funktion Beschreibung Abmessung Bestellnr. Spülfluss-Redu- Diese Vorrichtung wird zur Redu- Adapter DN16 ISO-KF 066752S ziervorrichtung zierung der Spülgasdurchsatzes auf 50 sccm in einigen Anwen- dungen. Lufteinlassventil Das Lufteinlassventil wird zum 24 V DC (NC) 11 slm 114280 Verlangsamen der Pumpe ver- wendet.
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Seite 49: Ersatzteile
Ersatzteile 11 Ersatzteile Beschreibung Bestellnr. Kommentare 24 V DC Spule 038066 für Spülventil und Lufteinlassventil Staubfilter 106229 auf Lufteinlassventil 49/60... -
Seite 50: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 12 Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbomolekularpumpen: ► Vorgaben des PNEUROP Komitees PN5. ► ISO 21360; 2007: „Vakuumtechnik – Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Va- kuumpumpen – Allgemeine Beschreibung“... -
Seite 51: Eigenschaften Der Umgebung
Technische Daten und Abmessungen Technische Daten Einheiten ATH 1603 M ATH 2303 M Maximaler Gas- sccm 4000 4000 4000 4000 durchsatz mit Was- sccm 1200 1200 1500 1500 serfluss 60 l/h sccm > 4000 > 4000 > 4000 > 4000 sccm >... -
Seite 52: Eigenschaften Des Kühlwassers
Technische Daten und Abmessungen Maximale relative Feuchtigkeit max. 80 % mit T ≤ 31 °C, bis max. 50 % mit T ≤ 40 °C Verschmutzungsgrad Schutz gegen transiente Überspannungen Kategorie II 1) Transiente Überspannungen bis zu Niveaus der Überspannungskategorie II. Temporäre Überspannung in den Versor- gungsnetzen. -
Seite 53: Elektrische Eigenschaften
Tab. 9: Elektrische Eigenschaften des Kundennetzwerks 12.7 Abmessungen und Gewicht 122.5 1/4 NPT M4x8 Exh. Female DN 40 ISO-KF DN 16 ISO-KF Abb. 7: Abmessungen ATH 1603 M Schwerpunkt 5 M10-Löcher für die Handhabung Abstandsgleiche Löcher Ø d2 auf Ø d1 53/60... -
Seite 54: Abb. 8: Abmessungen Von Ath 1603 M Mit Obc
Female (OUT) 1/4 NPT Female 34.6 (IN) 49.6 Abb. 8: Abmessungen von ATH 1603 M mit OBC Schwerpunkt Ansicht lauf F Abstandsgleiche Löcher Ø d2 auf Ø d1 Heberinge (Anz.: 2) Abmessungen ATH 1603 M (mm) Pumpe Pum- + OBC... -
Seite 55: Abb. 9: Abmessungen Ath 2303 M
Technische Daten und Abmessungen Ansaugflansch nur ATH 1603 M ATH 1603 M mit OBC Gewicht (kg) Gewicht (kg) DN 250 ISO-F DN 250 ISO-K DN 250CF-F DN 200 ISO-F DN 200 ISO-K DN 200 CF-F 1/4 NPT Female 85.5 49.5°... -
Seite 56: Abb. 10: Abmessungen Von Ath 2303 M Mit Obc
Technische Daten und Abmessungen 268 maxi 155.4 195 maxi 125 maxi 85.7 17.9 Exh. 49.6 DN 40 ISO KF 1/4 NPT Exh. Abb. 10: Abmessungen von ATH 2303 M mit OBC Schwerpunkt Abstandsgleiche Löcher Ø d2 auf Ø d1 Abmessungen ATH 2303 M (mm) Nur Pumpe Pumpe + OBC Ansaugflansch... -
Seite 57: Abb. 11: Abmessungen Des Magnetventils Spülung
Technische Daten und Abmessungen 83.8 Abb. 11: Abmessungen des Magnetventils Spülung 1 Anschluss an Pumpe Mögliche Drehung Abb. 12: Abmessungen des Einlassventils 1 1/8‘‘ NPT Anschlussbuchse 57/60... -
Seite 58: Konformitätserklärung
Der Verantwortliche für die technische Beschreibung ist Herr Nicolas Varennes, Pfeiffer Va- cuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P.2069, 74009 Annecy cedex, Frankreich. Magnetgelagerte Turbomolekularpumpen ATH 1603 M ATH 2303 M An eine Antriebselektronik vom Typ OBC V4 oder Magpower angeschlossene Pumpe. - Seite 59 59/60...