Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Betroffene Produkte Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Piktogramme 1.3.2 Anweisungen im Text 1.3.3 Aufkleber 1.3.4 Abkürzungen Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise 2.1.1 Sicherheitshinweise 2.1.2 Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Transport und Lagerung Annahme des Produkts Handhabung Lagerung Produktbeschreibung...
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7.4.2 Pumpe für den Versand vorbereiten Außerbetriebnahme Stillsetzen für längere Zeit Wiederinbetriebnahme Entsorgung Störungen Anlaufproblem Pumpe funktioniert nicht richtig Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Zubehör Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines 12.2 Technische Eigenschaften 12.2.1Umgebungsbedingungen 12.2.2Eigenschaften des Stickstoffgases 12.2.3Eigenschaften der Stromversorgung 12.3 Abmessungen...
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Tab. 2: Konfiguration der Anfangsparameter der seriellen Schnittstelle Tab. 3: Bedeutung der Kontrollleuchten Tab. 4: Unterschiedlichen Gasballast-Modelle Tab. 5: ACP 28 – Technische Eigenschaften Tab. 6: ACP 40 – Technische Eigenschaften Tab. 7: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 8: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
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Positionen der Sicherheitsaufkleber Abb. 2: ACP 28 - 40 - Version CV mit einphasigem Frequenzumrichter Abb. 3: ACP 28 - 40 - Versionen SD - SH - G - CP - LG mit einphasigem Frequen- zumrichter Abb. 4: Verdrahtung der Logikeingänge Abb.
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
Zu dieser Anleitung 1.3 Konventionen 1.3.1 Piktogramme Im Dokument verwendete Piktogramme kennzeichnen nützliche Informationen. Hinweis Tipp 1.3.2 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau. Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet. Einzelner Handlungsschritt Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit.
Zu dieser Anleitung Dieser Aufkleber zeigt an, dass das Produkt aufgrund seines hohen Ge- WARNUNG wichts nicht per Hand gehandhabt und stets geeignete Handhabungsgerä- Schwere Lasten te eingesetzt werden sollten. Kann Muskelzerrungen oder Rückenverletzungen verursachen. Zum Ein/Ausbau Hebevorrichtungen oder angepasste Hebetechniken verwenden. Dieser Aufkleber warnt Benutzer, dass Sie Gefahr laufen, verletzt zu wer- WARNUNG den, wenn ihre Hände mit einer heißen Oberfläche in Berührung kommen:...
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
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Sicherheit WARNUNG Gefahr eines Stromschlags aufgrund von nicht konformen elektrischen Anlagen Dieses Produkt verwendet Netzspannung für seine Stromversorgung. Nicht konforme elektrische An- lagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer ge- fährden. ► Nur qualifizierte Techniker, die mit den relevanten Sicherheitsvorschriften - elektrische Sicherheit und EMV - vertraut sind, dürfen Arbeiten an der elektrischen Anlage durchführen.
Sicherheit WARNUNG Quetsch- und/oder Schnittgefahr bei Kontakt mit beweglichen Teilen Der Ansaugflansch der Pumpe ist groß genug, um Körperteile (Finger oder Hand) in die Pumpe ein- zuführen, so dass die Gefahr von Quetschungen aufgrund des Kontakts mit den beweglichen Teilen besteht.
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Sicherheit Dieses Produkt ist nicht für die Beförderung von Personen oder Lasten bestimmt und darf nicht als Sitz- gelegenheit, Trittleiter oder Ähnliches verwendet werden. 14/58...
Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Annahme des Produkts Lieferbedingungen ● Vergewissern Sie sich, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. ● Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. ►...
Pumpe über kürzere Strecken (siehe Kapitel “Abmessungen”, Seite 52) 3.3 Lagerung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer Originaltransportverpackung. Neue Pumpe lagern 1. Die Schutzummantelung nicht entfernen. 2. Belassen Sie die Schutzvorrichtung für Einlass, Auslass und Spülung immer an ihrem Platz.
Rückströmung von Fluor kritisch ist, vor allem in solchen Anlagen, die NEG (Non- Evaporable Getter Pumpe) Ionenpumpen verwenden. Die verwendeten Schmiermittel und Dichtmittel enthalten keine Fluorverbindungen. Bitte kontaktieren Sie Pfeiffer Vacuum für weitergehende Informationen zu speziellen Anwendungen. 17/58...
Installation 5 Installation 5.1 Installation Die Pumpe muss in einer horizontalen Position auf ihren Füßen stehend betrieben werden, die Pum- penachse muss sich vertikal und der Pumpenauslass oben befinden. 1. Legen Sie den Aufstellungsort der Pumpe fest. 2. Heben Sie die Pumpe an ihren Ringen hoch. 3.
Installation 4. Nehmen Sie die Blindflansche ab, die für das Abdichten von Einlass und Auslass verwendet wer- den. 5. Bewahren Sie die Blindflansche, Schrauben und Unterlegscheiben für einen Transport der Pumpe auf. 6. Achten Sie darauf, dass keine Schrauben, Unterlegscheiben oder andere Gegenstände in den Pumpeneinlass gelangen.
Installation Version CV Der Pumpenauslass ist mit einem externen, entleerbaren Schalldämpfer zum Auslass von kondensier- ten Flüssigkeiten ausgestattet. 1. Installieren Sie den Schalldämpfer in einer horizontalen Position, um zu verhindern, dass konden- sierte Flüssigkeiten in die Pumpe zurücklaufen. – Beachten Sie die Position auf dem Schild. 2.
Installation Die Auswirkung der Kontinuität der Stickstoffeinspritzung auf den Prozess Wenn eine Unterbrechung am Stickstofffluss ein schweres Risiko für den Prozess darstellt, wird empfohlen, die Stickstoffzufuhr mit einem externen System zu kontrollieren, das in der Lage ist, einzuspringen, wenn der Stickstoffkreis ausfällt. Version G und Version CV Ein Spülgaskreis schützt die Niederdruck- und Hochdruck-Kugellager und verdünnt die Spuren von kor- rosiven Gasen.
Installation HINWEIS Gefahr von elektromagnetischen Störungen Spannungen und Strom können zu einer Vielzahl von elektromagnetischen Feldern und Störsignalen führen. Anlagen, die nicht die EMV-Vorschriften erfüllen, können andere Geräte und die Umgebung im Allgemeinen stören. ► In störanfälligen Umgebungen abgeschirmte Leitungen und Anschlüsse für die Schnittstellen ver- wenden.
Installation Anzeige des Betriebs im lokalen Modus Die Pumpe ist nicht mit einer Anzeige für den Betrieb im lokalen Modus ausgestattet. ● Wenn die Pumpe weder in die Anlage integriert noch von ihr kontrolliert wird, muss der Betreiber einer Vorrichtung für die Anzeige des Betriebs im lokalen Modus einrichten. 5.4.2 Netzanschluss ►...
Installation 5.5.2 Drehzahl-Einstellung Kontakt Pumpendrehzahl 2500 3000 3900 4800 1) Entspricht der am mitgelieferten Gegenstecker eingestellten Drehzahl. Tab. 1: Pumpendrehzahl Einfluss der Drehzahl auf die Pumpenleistung Die Pumpenleistungen sind garantiert für eine Nenndrehzahl von 80 Hz. Die Änderung der Drehzahl beeinflusst die Pumpgeschwindigkeit und den Enddruck der Pumpe. Bei niedriger Drehzahl ist der Kunde selbst dafür verantwortlich, entsprechend der Pumpe und seines Verfahrens die richtige Drehzahl zu finden.
Installation Die Anfangsparameter der seriellen Schnittstelle können vom angeschlossenen Computer aus gemäß der Liste der Befehle geändert werden (siehe Kapitel „Liste der Befehle“). Beschreibung Sollzahl Serienschnittstelle RS-485 Übertragungsgeschwindigkeit 9600 Baud Datenwortlänge 8 Bit Parität keine (keine Parität) Stopp-Bit Echo Nein Tab.
Installation Kopfzeichen In der Werkseinstellung wird der Dezimalcode 035 für das Zeichen # verwendet. Adresse Der Pumpe zugeordnete Nummer mit 3 Zeichen in ACSCII. Reihenfolge Über die serielle Schnittstelle gesendeter Befehl mit 3 Zeichen. Parameter Anzahl der Zeichen in Abhängigkeit vom Befehl. Endzeichen Dies ist das Endzeichen der Nachricht.
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Installation Reihen- Parame- Beschreibung Details Min. Max. folge keine Suche nach dem Befehl: #adrIDN<CR> Pumpentyp und der Antwort: #adr,VPttttt-Vx,zz oder #adr,Errx Software-Version. (x=0/1/2/3/4) ● ttttt: Pumpenmodell (ACP28, ACP40) ● x: Software-Version ● zz: Software-Ausgabe Beispiel: Befehl: #adrIDN<CR> Antwort: #004,VPACP28-V1.12 Pumpe 004 ist eine ACP28, und die Software-Version lautet V1.12.
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Installation Rei- Para- Beschrei- Funktionen hen- meter bung folge keine Pumpensta- Beispiel: #adr,xxxxxx yyyyyy,zzzzzz,sssss,iiii,www,ppp,vvv,ttttt<CR> ● sssss = Drehzahl (min ● ppp = Temperatur des Frequen- ● iiii = Motorleistung (W) zumrichters (°C) ● vvv = Entblockernummer der ● www = gesichert (standardmäßig 000) Pumpe ●...
● Ölstand nicht verändern. ● Das Öl aus der Pumpe nicht ablassen: Dieser Vorgang wird bei einer Revision in unse- ren Servicecentern durchgeführt. Sicherheitsdatenblätter Auf Wunsch erhalten Sie die Sicherheitsdatenblätter für Betriebsmittel bei Pfeiffer Vacuum, oder unter Pfeiffer Vacuum Download Center.
Betrieb Vor jedem Einschalten der Pumpe: 1. Überprüfen Sie, dass der Pumpeneinlass ordnungsgemäß an den Pumpenleitungen angeschlos- sen ist. 2. Überprüfen Sie, dass die Auslassleitungen nicht verstopft sind und dass alle Ventile des Abgas- systems offen sind. 3. Die Pumpe an die Netzversorgung anschließen. 4.
Betrieb Art des angesaugten Gases Zu ergreifende Durchzuführende Maß- Mindest-ACP-Konfiguration je nach oder Dampfs Vorsichtsmaß- nahmen/Überwachungen Versionen nahmen SD/SH Entzündli- Außerhalb der ● Das angesaugte Gas Spülgas- Spülgasan- ches oder Entzündbarkeits- im Vorfeld oder in der anschluss schluss ge- explosives zone des Pro- Pumpe verdünnen, geöffnet...
Betrieb 6.3.1 Betrieb im lokalen Modus Im lokalen Modus arbeitet die Pumpe nur, wenn der Gegenstecker am Fernsteueranschluss ange- bracht ist. Dieser Gegenstecker wird mit der Pumpe mitgeliefert. Abb. 7: Gegenstecker mit Strap für den Betrieb im lokalen Modus Starten der Pumpe Die Anzeige auf dem Stundenzähler zeigt das Pumpenmodell und die Betriebszeit der Pumpe in Stun- den.
Betrieb Einfluss der Drehzahl auf die Pumpenleistung Die Pumpenleistungen sind garantiert für eine Nenndrehzahl von 80 Hz. Die Änderung der Drehzahl beeinflusst die Pumpgeschwindigkeit und den Enddruck der Pumpe. Bei niedriger Drehzahl ist der Kunde selbst dafür verantwortlich, entsprechend der Pumpe und seines Verfahrens die richtige Drehzahl zu finden.
Betrieb Herunterfahren der Pumpe 1. Die Pumpe von System trennen (Absperrventil am geschlossenen Ansaugstutzen) und 1 Stunde lang mit geöffnetem Gasballast oder Gasspülung laufen lassen. 2. Den Befehl ‚ACPOF‘ über die serielle Schnittstelle senden: die Pumpe stoppt. Wiederanlaufen nach einer Notabschaltung (unter Einsatz der Anlage) Die Notabschaltung wird über die Anlage gesteuert, in der die Pumpe integriert ist.
Betrieb ● Die Pumpe von System trennen (Absperrventil am Ansaugstutzen geschlossen) und 1 Stunde lang mit geöffnetem Gasballast laufen lassen. ● Dann das Absperrventil öffnen: Die Pumpe läuft unter optimalen Bedingungen, wodurch das Risi- ko einer Kondensation im Pumpeninnern reduziert wird. Empfehlungen Um zu gewährleisten, dass kondensierbare Gase korrekt vom Auslass entfernt werden, empfehlen wir nicht, eine ES25S anzuschließen.
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Betrieb Start Um kondensierbare Dämpfe oder feuchte Luft besser ansaugen zu können, muss eine warme Pumpe verwendet und eine Versorgung mit Stickstoff mit den erforderlichen Eigenschaften sichergestellt wer- den (siehe Kapitel „Eigenschaften des Stickstoffgases“). Gehen Sie folgt vor: 1. Die Pumpe von System trennen (Absperrventil am Ansaugstutzen geschlossen) und 1 Stunde lang mit geöffnetem Gasballast laufen lassen.
Wartung 7 Wartung 7.1 Sicherheitshinweise zur Wartung GEFAHR Gefahr für die Gesundheit aufgrund von Restspuren der Prozessgase in der Pumpe Prozessgase sind toxisch und gesundheitsschädlich. Sie können zu Vergiftungen und Tod führen. Vor Tennen der Pumpe müssen alle Reste von Prozessgasen entfernt werden. ►...
► Entfernen Sie den Staub von den Lüftungsöffnungen mit einem Tuch. Verwenden Sie kein Druck- luftpistole. Reinigung des Ansaugfilters Die ACP 28 und ACP 40 Modelle sind am Ansaugflansch mit einem Filter ausgestattet. Die Sauberkeit dieses Filters regelmäßig überprüfen. 1. Trennen Sie den Ansaugstutzen der Pumpe von der Pumpenleitung und entfernen Sie den Spitz- filter.
Wartung 1 Spitzfilter Entleerung des externen Schalldämpfers (Version CV) Die Häufigkeit der Wartung hängt von der Menge der angesaugten kondensierbaren Dämpfe und somit von der Anwendung ab, in der die Pumpe betrieben wurde. Es wird empfohlen: ● entweder die Sättigung des Schalldämpfers regelmäßig zu überprüfen und bei Bedarf zu entlee- ren.
Machen Sie sich mit dem Verfahren der Service-Anforderung vertraut und füllen Sie die Kontaminati- onserklärung aus, wenn Produkte an unser Servicecenter zurückgesendet werden (siehe Kapitel “Ser- vicelösungen von Pfeiffer Vacuum”, Seite 46). 7.4.1 Pumpe von der Anlage trennen Erinnerung an die Risiken und Sicherheitsmaßnahmen ●...
Wiederaufbereitung an den Hersteller zurückgeschickt werden. Der Hersteller muss nur Geräte zurücknehmen, die vollständig und unverändert sind, die Pfeiffer Vacu- um SAS Originalersatzteile verwendet haben, von Pfeiffer Vacuum verkauft wurden und alle Baugrup- pen und Unterbaugruppen enthalten. Diese Verpflichtung erstreckt sich nicht auf die Kosten für den Versand an eine Aufarbeitungsanlage oder erbrachte Leistungen, die dem Kunden in Rechnung gestellt werden.
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Außerbetriebnahme ● Fluorierten Elastomeren, die sich zersetzen können, wenn sie hohen Temperaturen ausgesetzt sind, ● potentiell kontaminierten Komponenten, die in Kontakt mit Produkten aus den Prozessen gewe- sen sind. 43/58...
Störungen 9 Störungen 9.1 Anlaufproblem Beachten Sie die Sicherheitshinweise für Wartungsarbeiten. Symptom Ursache Lösung Die Pumpe läuft nicht an und der Lüfter Schalter ● Prüfen Sie, dass der Schalter auf der Positi- dreht sich nicht. on I steht. Die rote Kontrollleuchte leuchtet. Die Spannung der ●...
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Störungen Symptom Ursache Lösung Falscher Enddruck Gasballast ● Überprüfen, ob der Gasballast offen ist. Warnung: Wenn die An- wendung dies erfordert, muss der Gasballast zulasten des Grenzdrucks offen bleiben! Spülung (falls vorhan- ● Bei Verwendung der Spülung: den Anschluss des Spülgaskrei- den) ses an die Pumpe überprüfen.
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
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6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
Zubehör 11 Zubehör Für die Installation der verschiedenen Zubehörteile beziehen Sie sich auf die Betriebsanleitung für Zubehör. Zubehör Pumpenversionen Beschreibung Funktion Pumpenmodell Bestellnr. Abmessung Ansaugfilter Stoppt Partikel und Staub mit einem IPF 25 111649 Durchmesser größer als 25 Mikrome- DN 25 ISO-KF ter.
Technische Daten und Abmessungen 12 Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von ölfreien, kompakten, mehrstufigen Pfeiffer Vacuum Wälzkolben- pumpen: ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● ISO 21360; 2007: „Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Va- kuumpumpen - Allgemeine Beschreibung“...
Technische Daten und Abmessungen Verwendung in Innenräumen Betriebshöhe bis zu 2000 m Schutzart IP 20 Betriebsumgebungstemperatur 12 – 40 °C Lagertemperatur -10 – +60 °C Maximale relative Feuchtigkeit 80 % max. mit T ≤ 31 °C, bei 50 % max. mit T ≤ 40 °C Schutz gegen transiente Überspannungen Kategorie II Verschmutzungsgrad...
Technische Daten und Abmessungen 12.3 Abmessungen Abmessungen in mm Exh. Abb. 8: Abmessungen ACP 28 - 40 Versionen SD - SH - LG - G ACP 28-40 Einphasig Dreiphasig 1) F = 306,7 für Version LG 2) P = 1/4 BSPP Spülungsanschluss für Version G...